2020 Fiscal Year Annual Research Report
GHz帯横波斜入射の複素反射率測定による抗原抗体反応の高感度粘弾性計測
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19H02202
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| Research Institution | Waseda University |
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Principal Investigator |
柳谷 隆彦 早稲田大学, 理工学術院, 准教授 (10450652)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
高柳 真司 同志社大学, 生命医科学部, 助教 (00735326)
吉田 憲司 千葉大学, フロンティア医工学センター, 准教授 (10572985)
鈴木 雅視 山梨大学, 大学院総合研究部, 助教 (60763852)
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| Project Period (FY) |
2019-04-01 – 2022-03-31
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| Keywords | 圧電薄膜 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
本研究では、抗原抗体反応時の界面での粘弾性変化を用いて、反応を定量を目指すものである。ここで、UHF帯の高周波横波を用いた複素反射率測定法により、液体試料の粘弾性を評価する。液体試料の複素反射係数を測定することにより、横波に関する弾性定数および年度を決定する．先行研究では、測定周波数が数MHzにとどまっているのに対して、本研究では
c軸傾斜配向のScAlN薄膜を用いる。基板付きの擬似すべりモード共振子TSM-HBARを用いて，複素反射率測定をUHF帯において行うことを目的としている。
c軸傾斜反転構造のScAlN薄膜は成長基板をスパッタターゲットに対して、垂直に配置して、スパッタ粒子を斜めに入射させることで、成長させた。さらに反転構造を作るために、途中で基板を１８０度反転させながら、成膜を行った。ここでは、１２層反転層の形成を試みた。断面SEM測定からc軸が４５度程度傾斜してかつ反転した柱状構造が確認できた。さらに極点X線回折法により３次元的な結晶配向性を調査したところ、０００２面の極が仰角４５度付近に明瞭に観測されて、実際の結晶のc軸方向も４５度傾いていることもわかった。また、各層の傾斜角度のばらつきもさほど大きくなく、１２層を一度に測定しても、４５度付近に極が観測された。また動作周波数が数百MHz向けの数μｍの多層構造と数GHz向けの数百nmのものと両方を得ることができた。
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
1: Research has progressed more than it was originally planned.
Reason
今回、多層のc軸傾斜反転構造のScAlN薄膜を得ることができ、十分な結晶性と圧電性を得ることができた。
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| Strategy for Future Research Activity |
今後は、予定通り、複素反射率測定による抗原抗体反応の検出を目指す。
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Research Products
(69 results)
