2008 Fiscal Year Annual Research Report
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20224007
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| Research Institution | Nara Institute of Science and Technology |
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Principal Investigator |
大門 寛 Nara Institute of Science and Technology, 物質創成科学研究科, 教授 (20126121)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
松井 文彦 奈良先端科学技術大学院大学, 物質創成科学研究科, 助教 (60324977)
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| Keywords | 表面・界面 / 光電子分光 / 表面分析 / 組成分析 / 構造解析 / 光電子角度分布 / 立体原子写真 / エネルギーバンド |
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| Research Abstract |
本研究計画では、新しく発明してJST-CRESTで5年間開発してきた立体光電子顕微鏡StereoPEEMや、その過程で新しく発明された楕円メッシュニ次元分析器を完成して、顕微鏡機能を使って試料の拡大像を観測し、微小領域だけからの二次元光電子分光を行ない、微小領域の電子状態と原子構造を立体的に観測することを目的とする。研究対象としては、表面新物質などをとりあげ、単一微小領域だけからの二次元光電子分光を行ない、微小物質特有の低次元・量子機能の電子状態と原子構造からの解明をめざす。
平成20年度においては、1.楕円メッシュの高精度作製法の開発、2.立体光電子顕微鏡StereoPEEMの開発の継続とテストデータの取得、3.楕円メッシュ二次元分析器の開発の継続とテストデータの取得、を行うことを目標として研究を実施した。
1.楕円メッシュの高精度作製法の開発
高める精度の内容は、「楕円全体の形の精度」、「微小穴の形」、「穴の小ささ」の3つあるが、本年度は「楕円全体の形の精度」を高めるため、3次元高精度加工機を購入し、その操作法を習熟した。テスト部品の試作では10μm程度の精度での加工に成功したので、今後も習熟を進め、定常的に10μm程度の精度で曲面を加工できるようにする。
2.立体光電子顕微鏡StereoPEEMの開発の継続とテストデータの取得
組み立てた初段レンズを装置に組み込み、収束X線源を取り付けてテストしている。X線を集光するミラーには多層膜を最適な膜厚でコートしてあるが、表面粗さが問題のようで反射率が小さすぎて試料上でのX線が弱すぎる。強くなるように検討している。
3.楕円メッシュ二次元分析器の開発の継続とテストデータの取得
装置の設計を行う実験補助者を雇い、真空槽の設計とレンズ部品の設計を進めた。ほぼ構想が完成している。
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Research Products
(74 results)
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[Presentation] SiC表面の元素選択的原子構造解析2008
Author(s)
西嘉山徳之, 松井文彦, 松本拓, 後藤謙太郎, 大門寛, 松下智裕
Organizer
放射光/表面電子顕微鏡とナノ精密材料科学シンポジウムー第4回放射光表面科学部会シンポジウム
Place of Presentation
北大
Year and Date
20081224-20081225
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[Presentation] Si反転層中のホールサブバンド分散」2008
Author(s)
武田さくら, 森田 誠, 大杉拓也, 谷川洋平, 大門 寛
Organizer
電子情報通信学会研究会「ゲート絶縁膜、容量膜、機能膜およびメモリ技術」兼 応用物理学会、シリコンテクノロジ分科会、第101回研究集会(招待講演)
Place of Presentation
東京大学(生産研 An棟)
Year and Date
2008-06-09
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