極限高純度めっきプロセスによるＣｕ配線ナノ構造制御と次世代ナノＬＳＩへの展開

2013 Fiscal Year Research Progress Assessment (Verification Result)

• Project/Area Number: 20226014
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (S)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Research Field: Structural/Functional materials
• Research Institution: Ibaraki University
• Principal Investigator: ONUKI Jin (OONUKI Jin) 茨城大学, 工学部, 教授 (70315612)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): MIMURA Koji 東北大学, 多元物質科学研究所, 准教授 (00091752) ; ISHIKAWA Nobuhiro 独立行政法人物質・材料研究機構, 主任研究員 (00370312) ; KONDO Kazuo 大阪府立大学, 工学研究科, 教授 (50250478) ; INAMI Takashi 茨城大学, 工学部, 講師 (20091853) ; CHONAN Yasunori 秋田県立大学, システム科学技術学部, 助教 (30363740) ; ITO Shinji 独立行政法人物質・材料研究機構, 主任研究員 (50370317) ; UCHIKOSHI Masahito 東北大学, 多元物質科学研究所, 助教 (60447191) ; OHTA Hiromichi 茨城大学, 工学部, 教授 (70168946) ; NAGANO Takatoshi 茨城大学, 工学部, 講師 (70343621) ; KIMURA Takashi 独立行政法人物質・材料研究機構, 主任研究員 (70370319) ; SASAJIMA Yasushi 茨城大学, 工学部, 教授 (80187137) ; AOYAMA Takashi 秋田県立大学, システム科学技術学部, 教授 (80363737) ; TASHIRO Suguru 茨城大学, 工学部, 講師 (90272111) ; 一色 実 東北大学, 多元物質科学研究所, 教授 (20111247)
• Project Period (FY): 2008 – 2012

Assessment Rating

Verification Result (Rating)

A