2010 Fiscal Year Annual Research Report
異元素分散による炭素系硬質膜の構造制御および吸着性制御
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20246034
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| Research Institution | The University of Tokyo |
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Principal Investigator |
加藤 孝久 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (60152716)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
崔 ジュン豪 東京大学, 大学院・工学系研究科, 准教授 (30392632)
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| Keywords | トライボロジー / 固体薄膜 / 潤滑 / 表面・界面物性 / DLC膜 / 吸着 / 分子シミュレーション / 有機膜 |
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| Research Abstract |
(1)異種元素分散による構造制御:プラズマ利用イオン注入成膜法を用いて,メタンを原料ガスとし,水素添加DLC膜を作成する際電圧が大きい程DLC膜がグラファイト結晶化するという結果を得た.また,FWHM(G)と硬さの間に強い相関があることがわかった.EELSにより測定したsp^3結合の割合とラマンパラメータ間の相関を見出した.ラマンGピーク位置とFWHM(G)のカーブの頂点に近付くにつれてsp^3結合の割合が増えることがわかった.
(2)異種元素分散による吸着性制御:シリコン添加DLC膜(si-DLC膜)上に有機シラン自己組織化単分子膜(Self-Assembled Monolayer, SAM)を形成し,その吸着過程,摩擦特性を原子問力顕微鏡を用いて調べた.浸積時間とともに島状の吸着したSAM分子の密度が増加し,最終的に直立した状態の単分子膜が得られた.SAM形成後の表面粗さはSi-DLC基板と同程度になった.シリコン含有量の増加に伴い吸着サイトが増えてSAMの形成速度が速くなるとともに,Si-DLC膜とSAMの界面が安定化して摩擦特性が向上した.
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