多機能型ダイヤモンドツールの開発とマイクロ・ナノスケール加工への応用に関する研究

2010 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 20360067
• Research Institution: University of Toyama
• Principal Investigator: 森田 昇 富山大学, 大学院・理工学研究部(工学), 教授 (30239660)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 山田 茂 富山大学, 大学院・理工学研究部(工学), 准教授 (00174714) ; 高野 登 富山大学, 大学院・理工学研究部(工学), 助手 (60251881)
• Keywords: 多機能型ダイヤモンド工具 / 極微細加工 / 集束イオンビーム / 選択成長

Research Abstract

本研究は、各種の極微細加工用の高精度多機能型ダイヤモンドツールの開発とマイクロ・ナノスケール加工への応用化を目的としている。
開発したダイヤモンドツールを用いた微細加工技術を確立し、MEMSでは不可能な低コスト、高生産性、高品質なデバイスの作製を目標とする。例えば、本研究で提案するシステムや製造技術を駆使した超小型部品から構成されるマイクロ体内ロボットは、医療分野で大きな活躍が期待できる。
また、本ツールの半導体分野への応用例では、従来の手法では困難であったLSI積層構造の薄層除去が可能となる。シャンク端面に複数のダイヤモンドチップを有するマイクロ研削ツールを試作し、薄層除去実験を行ったところ、数μm単位での除去が可能であった。今後、ナノメートルオーダーの除去を可能にするツールや加工機の作製について検討を行っていく。