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2009 Fiscal Year Annual Research Report

マイクロマシン技術を用いた超軽量・高角度分解能宇宙X線望遠鏡の開発

Research Project

Project/Area Number 20684006
Research InstitutionTokyo Metropolitan University

Principal Investigator

江副 祐一郎  Tokyo Metropolitan University, 大学院・理工学研究科, 助教 (90462663)

KeywordsX線天文学 / X線望遠鏡 / マイクロマシン技術
Research Abstract

本計画では、これまで世界最軽量であった日本のすざく衛星のX線望遠鏡を、重量で2桁軽量化しつつ、角度分解能は1桁向上した、「1000cm^2の有効面積と10秒角の分解能を備えたkgクラスの究極の軽量X線望還鏡」を目指す。鍵となるのが日本が得意とする様々なマイクロマシン技術である。我々は本計画以前に、シリコン結晶異方性エッチングを用いて製作した鏡面で軽量化の基本概念を実証してきた。本計画では、(1)シリコンドライエッチングによる軽量X線反射用の微細構造の製作、(2)X線LIGAを用いた軽量X線反射用の金属微細構造の製作、(3)磁気流体を用いたエッチング面の研磨、(4)アニールを用いたシリコンエッチング面の平滑化、(5)塑性変形もしくは弾性変形による高精度な変形の開発を行う。この方法で開発する望遠鏡は我々のオリジナルである。
昨年度、我々はドライエッチングとアニール、塑性変形を使った大開口効率(40%)の4インチシリコンX線光学系を試作し、可視光での結像実証に成功した。またニッケル)麻光学系の新たな製作プロセスを公安し、テストを開始した。成果は国内学会で4件の発表を行い、国際学会で5件の一般発表と1件の招待講演を行った。また5本の投稿論文を書き上げて、4本が受理された。また日米で2本の修士論文をまとめた。

  • Research Products

    (14 results)

All 2010 2009 Other

All Journal Article (4 results) (of which Peer Reviewed: 4 results) Presentation (10 results)

  • [Journal Article] Ultra light-weight and high-resolution X-ray mirrors using DRIE and X-ray LIGA techniques for Space X-ray Telescopes

    • Author(s)
      Y.Ezoe, et al.
    • Journal Title

      Microsystem Technologies (In press)

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Magnetic field assisted finishing for micro-pore X-ray focusing mirrors fabricated by deep reactive ion etching

    • Author(s)
      H.Yamaguchi, et al.
    • Journal Title

      CIRP Annual Manufacturing Technologies (In press)

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Simulation-based study of MEMS X-ray optics for Microanalysis

    • Author(s)
      Y.Ezoe, et al.
    • Journal Title

      IEEE Journal of Quantum Electronics (In press)

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Optical image analysis of the novel ultra-lightweight and high-resolution MEMS X-ray optics

    • Author(s)
      I.Mitsuishi, et al.
    • Journal Title

      IEEE Journal of Quantum Electronics (In press)

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] 超軽量・高角度分解能 新MEMS X線光学系の開発2010

    • Author(s)
      三石郁之, その他
    • Organizer
      宇宙科学シンポジウム
    • Place of Presentation
      JAXA宇宙研
    • Year and Date
      20100107-20100108
  • [Presentation] 将来衛星に向けた超軽量・高分解能 新MEMS X線光学系の基礎開発(2)2010

    • Author(s)
      高木うた子, その他
    • Organizer
      応用物理学会
    • Place of Presentation
      東海大学
    • Year and Date
      2010-03-19
  • [Presentation] 超軽量・高角度分解能 MEMS X線光学系の開発2010

    • Author(s)
      三石郁之, その他
    • Organizer
      応用物理学会
    • Place of Presentation
      JAXA宇宙研
    • Year and Date
      2010-03-10
  • [Presentation] 超軽量・高角度分解能 新MEMS X線光学系の開発2009

    • Author(s)
      三石郁之, その他
    • Organizer
      X線結像光学シンポジウム
    • Place of Presentation
      筑波
    • Year and Date
      20091106-20091107
  • [Presentation] Recent development of light-weight & high-resolution X-ray optics in Japan2009

    • Author(s)
      Y.Ezoe(招待講演)
    • Organizer
      International Workshop on Astronomical X-ray Optics
    • Place of Presentation
      チェコ プラハ
    • Year and Date
      2009-12-07
  • [Presentation] Micromachined Reflective X-ray Concentrator For Microanalysis2009

    • Author(s)
      Y.Ezoe, et al.
    • Organizer
      IEEE Optical MEMS
    • Place of Presentation
      アメリカ クリアウォーター
    • Year and Date
      2009-08-20
  • [Presentation] Optical image analysis of the novel ultra-lightweight and high-resolution MEMS X-ray optics2009

    • Author(s)
      I.Mitsuishi, et al.
    • Organizer
      IEEE Optical MEMS
    • Place of Presentation
      アメリカ クリアウォーター
    • Year and Date
      2009-08-20
  • [Presentation] Ultra light-weight and high-resolution X-ray mirrors using DRIE and X-ray LIGA techniques for Space X-ray Telescopes2009

    • Author(s)
      Y.Ezoe, et al.
    • Organizer
      IEEE HARMST
    • Place of Presentation
      カナダ サスカツーン
    • Year and Date
      2009-06-27
  • [Presentation] Magnetic field assisted finishing of ultra-lightweight and high-resolution MEMS X-ray micro-pore optics2009

    • Author(s)
      R.Riveros, et al.
    • Organizer
      SPIE
    • Place of Presentation
      チェコ プラハ
    • Year and Date
      2009-04-22
  • [Presentation] Novel ultra-lightweight and high-resolution MEMS X-ray optics2009

    • Author(s)
      I.Mitsuishi, et al
    • Organizer
      SPIE
    • Place of Presentation
      チェコ プラハ
    • Year and Date
      2009-04-20

URL: 

Published: 2011-06-16   Modified: 2016-04-21  

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