2009 Fiscal Year Annual Research Report
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21360022
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| Research Institution | Kyoto University |
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Principal Investigator |
木村 健二 Kyoto University, 工学研究科, 教授 (50127073)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
鈴木 基史 京都大学, 工学研究科, 准教授 (00346040)
中嶋 薫 京都大学, 工学研究科, 助教 (80293885)
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| Keywords | ノイズ低減 / 高分解能RBS / 位置検出器 |
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| Research Abstract |
現有のイオン検出用の1次元位置検出器の前面に、極薄のマイラ膜を置き、分析管の内壁で散乱したHeイオンを除去するとともに、イオンのマイラ膜通過に伴ってマイラ膜から放出される2次電子を、新たに設置する2次電子用の検出器で検出できるような、検出器システムの設計を行った。市販の荷電粒子の軌道計算ソフトウエアであるSIMIONを用いて、検出器に入射したHeイオンと、マイラ膜から放出される2次電子の軌道シミュレーションを行うことにより、2次電子を100%の効率で2次電子用の検出器で検出できるように、検出器システムの電極の形状や、印加する電位を決定した。また、設計の際には、Heイオン軌道への影響が無視できるように注意した。基本設計に基づいて、電極等の部品の設計・製作を行い、検出器システムの組み立てを行った。一方、現有のスペクトロメーターの分析管にこの検出器システムが収まるように改造を行い、検出器システムを設置した。これらと並行して、マイラ膜中でのHeイオンの軌道シミュレーションもTRIMコードを用いて実施し、測定すべきHeイオンの検出位置に大きな影響を与えずに、分析管の内壁で散乱したHeイオンを除去するのに最適なマイラ膜の厚さについて検討した。その結果、マイラ膜の厚さとして0.5～1.5μmが適当であることが分かった。そこで、まず、0.5μmのマイラ膜を1次元位置検出器の前面に設置して、検出器システムによりHeイオンの検出とともに2次電子の検出が可能であることを確認した。これにより、ノイズ低減のための第1段階を達成することができた。
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