2010 Fiscal Year Annual Research Report
圧電トランス型プラズマリアクタの電気特性解析法の開発
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21760216
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| Research Institution | The University of Tokushima |
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Principal Investigator |
寺西 研二 徳島大学, 大学院・ソシオテクノサイエンス研究部, 助教 (80435403)
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| Keywords | プラズマリアクタ / 圧電トランス / 誘電体バリア放電 / 表面電位分布 / 放電電力 |
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| Research Abstract |
本年度は圧電トランス(PT)表面電位分布測定時に生じる問題の解決を行うと共に、これまで行ってきた分割電極を用いない測定法により得られた放電電力の補正について検討した。本研究代表者が以前に提案したPT表面電位分布測定法では、PT表面と各分割背後電極との間に形成される合成容量が場所に依らず一定であると仮定して表面電位や放電電力空間分布を決定した。しかし、PT先端部分ではその縁効果により電界歪むため、見かけ上の合成容量が他の部分より小さくなりPT先端部分の表面電位が低く検出される問題があった。そこで、PTと同一形状の金属電極を用いて予め各位置における合成容量を測定し、この値を用いてPT表面電位と放電電力を再評価した。その結果、PT先端部分において表面電位や放電電力が低く検出される問題を解決でき、比較的低い電圧でPTを駆動した際には、表面電位分布はほぼ理論曲線と一致することが分かった。これらの成果は2010年7月にSerbiaで開催された20th European Conference on the Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases (ESCAMPIG2010)ならびに同年9月に愛媛で開催された電気関係学会四国支部において発表した。更に、従来の分割電極を用いないで得られた放電電力の補正法を考案し、その妥当性について検討した。具体的には、分割電極を用いて測定した放電電力空間分布と分割電極を用いないで得られた放電電力に補正を施した値を比較した。その結果、両者はほぼ一致する結果となり、補正の妥当性を確認することができた。
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