2021 Fiscal Year Comments on the Screening Results

3次元センサ構造を作りこんだマイクロ集積化ワイヤ

Research Project

Project/Area Number	21K18158
Research Category	Grant-in-Aid for Challenging Research (Pioneering)
Allocation Type	Multi-year Fund
Review Section	Medium-sized Section 18:Mechanics of materials, production engineering, design engineering, and related fields
Research Institution	Nagoya University
Principal Investigator	Fukzuawa Kenji 名古屋大学, 工学研究科, 教授 (60324448)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	東直輝名古屋大学, 工学研究科, 助教 (50823283)
Project Period (FY)	2021-07-09 – 2024-03-31
Summary of the Research Project	複数の微小センサを組み合わせて集積するために厚さ10ミクロンのフレキシブルフィルム上に複数の微小なセンサを作りこみ，多機能センサデバイスを実現する研究である。複数の微小なセンサをハンドリングして組み立てることが難しいことから，微小なセンサをフィルム上に作りこんで，そのフィルムを巻き取ってセンサデバイスにするというアイデアは非常に斬新でユニークである。新しい3次元微細構造形成法の誕生が期待される。
Scientific Significance and Expected Research Achievements	スマートフォンに加速度センサや圧力センサが組み込まれているように，多様なセンサを集積した小型の多機能センサが求められている。微小なセンサを作成するMEMS技術は確立されているが，微小なセンサを組み合わせて集積する技術が確立されていない。このセンサの集積技術が確立されれば，物体内部を含めた多種多様な状態量をセンシングできるようになり，機械の故障診断や病気の予兆診断などへの波及効果が期待される。