2023 Fiscal Year Annual Research Report
異種材料集積化に向けた活性化透明極薄膜による大気中室温接合への挑戦
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21K18729
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| Research Institution | Kyushu University |
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Principal Investigator |
多喜川 良 九州大学, システム情報科学研究院, 准教授 (80706846)
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| Project Period (FY) |
2021-07-09 – 2024-03-31
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| Keywords | 低温集積技術 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
次世代情報社会で要求される小型・高機能・多機能光マイクロシステム実現に向けて、異種材料集積技術の重要性が高まっている。本研究では、将来の低コストかつ低温プロセスの異種材料集積技術の創出を目指し、従来のはんだ接合や金属バンプ接合とは異なる活性透明薄膜を利用した新しい大気下における低温接合技術の可能性探索を目的としている。
本年度は主に、昨年度の大気接合実験の結果を踏まえ、真空下における低温接合実験に立ち返り接合特性の比較・改善に努めた。透明薄膜の活性化前後の表面形状・構造、接合界面近傍の原子構造解析や接合強度測定試験等を通じ、接合界面状態の原子レベルでの理解を進めた。これらの結果から強固な接合界面形成のための多くの知見を得ることに成功した。その他、表面活性化接合法による各種スパッタ極薄膜の大気低温接合実験やプラズマ活性化を利用した親水接合実験も行い、基礎データ取得も行った。
以上より、本研究は将来の簡便な大気低温接合プロセス開発及び強固な接合界面形成に向けた基礎データ取得に繋がった。本年度は最終年度となるが今後も引き続き研究を推進し、得られた成果をまとめ学会発表や学術論文誌への投稿を行っていく予定である。
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