2012 Fiscal Year Annual Research Report
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22360101
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| Research Institution | Tokyo Institute of Technology |
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Principal Investigator |
黒澤 実 東京工業大学, 総合理工学研究科(研究院), 准教授 (70170090)
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| Project Period (FY) |
2010-04-01 – 2013-03-31
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| Keywords | アクチュエータ / 機械要素 / 電気機器工学 / マイクロマシン / マイクロアクチュエータ / 超音波 / 圧電デバイス / レイリー波 |
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| Research Abstract |
コンパクトな弾性表面波モータを試作し，モータ特性の評価を行った。駆動周波数は9.61MHzで，ステータ基板としては，長さ80mm，幅13mm，厚さ1mmのニオブ酸リチウム１２８°回転Ｙ板，Ｘ伝搬を用いた。スライダについては，ステータの波動伝搬幅より僅かに狭い9 mmとし，長さは大型装置による動作実験の結果をふまえ4 mmの素子を用いた。モータ全体の高さを低く抑えるために，予圧を与えるばねとして，薄いステンレス板を用いた板ばねを用いた。また，予圧方向以外の剛性を高めて，大きな予圧印加を可能とするために，同じを板ばねを２枚用いた平行板ばねとした。このばねを用いることで，薄型で高い予圧を安定して印加できる構造とした。
モータの動作特性を，予圧と駆動電圧を変化させて測定した。無負荷速度としては 1.3m/s が得られ，コンパクトなモータとして最大速度の記録となった。このモータのスライダにはアルミナ膜を成膜したものと，していないものが用いられ，いずれの場合もこの最大速度を記録することができた。全体としてはだいたい大型の評価装置と同じ無負荷速度が，各駆動電圧値で得られており，予圧機構の安定化により，良い結果が得られることが明らかになった。
推力に関しても同様に評価を行った。アルミナ膜のあるなしにより，多少推力の結果が異なり，摩擦係数の違いによるものと思われるが，膜がない方が大きめの値となった。例えば，駆動電圧８０Ｖにおいては，膜有りが9.1 N であったのに対し，幕無しでは11 N が得られた。大型装置では，13 Nという記録があり，これに比べるとやや低下している。この原因は明らかではない。
推力については，デバイス質量約5.4g，装置全体でも205 gであるのに対し，推力11 Nを実現し，大推力アクチュエータであることを実証した。
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| Current Status of Research Progress |
Reason
24年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Strategy for Future Research Activity |
24年度が最終年度であるため、記入しない。
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Research Products
(8 results)
