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2010 Fiscal Year Annual Research Report

完全水溶液プロセスによる低欠陥酸化物薄膜の作製とその太陽電池応用

Research Project

Project/Area Number 22550164
Research InstitutionOsaka Prefecture University

Principal Investigator

芦田 淳  大阪府立大学, 工学研究科, 准教授 (60231908)

Keywords電気化学成長 / 非化学量論性欠陥 / 酸化亜鉛 / 酸化銅 / 太陽電池 / 光励起発光 / 連続膜 / 酸化物半導体
Research Abstract

平成22年度はまず、電気化学堆積法による酸化亜鉛(ZnO)薄膜の連続膜化に取り組んだ。欠陥評価のためには連続膜が望ましいが、電気化学堆積法による薄膜は粒が独立して成長しやすく連続膜にはなりにくい。本研究では、この非連続膜成長の原因が成長のごく初期段階における水酸化亜鉛(Zn(OH)_2)のナノ結晶の生成と、それを核としたZnOの結晶成長であることを明らかにした。さらにこの知見を元に電気化学成長のプロセスを見直すことでZn(OH)_2の抑制を回避することに成功し、再現性良く連続膜を作製することを可能にした。Cu_2Oの連続膜化については現在検討中である。欠陥の評価においては、電気化学製膜では基板が導電性であるためにホール測定が出来ないため、キャリア輸送特性からの検討が困難である。そこで光学的評価手法の一つである光励起発光(PL)法による評価システムの構築を行った。評価装置は、23年度以降に予定している電気化学成長その場観察を考慮した構造とした。ZnO連続膜からのPLスペクトルにはバンド端発光の他に中心波長600nm付近のブロードな発光が確認された。これは水素が関与した欠陥に起因するものと考えている。またピーク分離の結果、当初は抑制されていることを期待していた酸素欠損に起因すると考えられる550nm近傍を中心とする発光も認められた。このような非化学量論的欠陥の生成量が、成長環境(電解液)のpHによって変化する可能性があると考え、現在その検証実験を進めている。また、イオン濃度と電界電流のバランスにより電子供給、もしくはイオン供給が律速する成長とした場合の欠陥形成への影響についても検証を進めている。低温測定については測定を開始した段階である。

  • Research Products

    (12 results)

All 2011 2010

All Journal Article (3 results) (of which Peer Reviewed: 3 results) Presentation (9 results)

  • [Journal Article] Initial growth process in the electrochemical deposition of ZnO2011

    • Author(s)
      Atsushi Ashida
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 50(印刷中)

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Surface preparation of ZnO single-crystal substrate for the epitaxial growth of ZnO thin films2011

    • Author(s)
      T.Nakamura
    • Journal Title

      Journal of Crystal Growth

      Volume: 318 Pages: 516-518

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] 定電流電気化学堆積法による酸化亜鉛薄膜の作製2010

    • Author(s)
      芦田 淳,藤村紀文
    • Journal Title

      材料

      Volume: 59 Pages: 681-685

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Zn極性及びO極性ホモエピタキシャルZnO薄膜の表面構造2011

    • Author(s)
      中村立
    • Organizer
      第58回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      神奈川工科大学、厚木市
    • Year and Date
      2011-03-26
  • [Presentation] 成長初期層制御による電気化学堆積ZnO連続薄膜の作製2011

    • Author(s)
      能津直哉
    • Organizer
      第58回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      神奈川工科大学、厚木市
    • Year and Date
      2011-03-25
  • [Presentation] 電気化学的手法によるZnOロッドの作製とその形態制御2011

    • Author(s)
      近藤雄祐
    • Organizer
      第58回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      神奈川工科大学、厚木市
    • Year and Date
      2011-03-25
  • [Presentation] 成長初期層制御した平坦化電気化学堆積ZnO薄膜2010

    • Author(s)
      能津直哉
    • Organizer
      日本材料学会平成22年度第2回半導体エレクトロニクス部門研究会
    • Place of Presentation
      大阪府立大学、堺市
    • Year and Date
      2010-11-20
  • [Presentation] ZnO Thin Films Grown by Electrochemical Deposition Method with Pulsed Electrolytic Current and Its Electrical Conductivity2010

    • Author(s)
      Atsushi Ashida
    • Organizer
      3rd International Congress on Ceramics
    • Place of Presentation
      大阪国際会議場(大阪市)
    • Year and Date
      2010-11-15
  • [Presentation] ZnO crystal growth on micro electrode by electrochemical deposition method2010

    • Author(s)
      Yusuke Kondo
    • Organizer
      3rd International Congress on Ceramics
    • Place of Presentation
      大阪国際会議場(大阪市)
    • Year and Date
      2010-11-15
  • [Presentation] Initial growth process in the electrochemical deposition of ZnO2010

    • Author(s)
      A.Ashida
    • Organizer
      17th International Conference on Ternary and Multinary Compounds
    • Place of Presentation
      Ramada and Crescent Beach Hotel, Baku, Azerbaijan
    • Year and Date
      2010-09-28
  • [Presentation] 電気化学堆積法による微細電極上ZnO成長II2010

    • Author(s)
      近藤雄祐
    • Organizer
      第67回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      長崎大学、長崎市
    • Year and Date
      2010-09-15
  • [Presentation] Surface Morphology of Homoepitaxial ZnO Thin Films Grown on Zn-polar ZnO Substrates2010

    • Author(s)
      T.Nakamura
    • Organizer
      the 16th International Conference on Crystal Growth in conjunction with the 14th Conference on Vapor Growth and Epitaxy
    • Place of Presentation
      Beijing International Convention Center, Beijing, China
    • Year and Date
      2010-08-10

URL: 

Published: 2012-07-19  

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