2012 Fiscal Year Annual Research Report
マイクロマシン構造を用いた光導波型センサの開発及び設計支援等データベースの構築
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22560322
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| Research Institution | Niigata University |
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Principal Investigator |
大河 正志 新潟大学, 自然科学系, 教授 (90213644)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
佐藤 孝 新潟大学, 自然科学系, 教授 (10143752)
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| Project Period (FY) |
2010-04-01 – 2013-03-31
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| Keywords | 光導波型センサ / 光集積回路 / マイクロマシン / 光導波路 / ＭＯＥＭＳ / 設計 |
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| Research Abstract |
本研究は，光導波型センサの設計指針，実用性を明らかにすると共に，それらの研究成果を基に設計や作製を支援するデータベースを開発することを目的としており，【SUB1】「センサ特性の微細機械構造サイズ依存性の考察」と【SUB2】「設計・作製支援等データベースの構築」の2つのサブプロジェクトからなる。各サブプロジェクトにおける平成24年度の研究成果は次のとおりである。
【SUB1】実験的な見地から，光導波型加速度センサにおける位相感度のダイヤフラム辺長，おもり辺長依存性について考察を行った。ダイヤフラム厚を50um，おもりサイズを5mm×5mm×300umとして，ダイヤフラム辺長の異なるセンサを3種類（7.1mm角，8.7mm角，10mm角）作製し，位相感度を測定したところ位相感度がダイヤフラム辺長に比例する結果が得られた。また，ダイヤフラムを10mm×10mm×50umとし，おもり辺長の異なるセンサを作製し，位相感度を測定したところ位相感度がダイヤフラム辺長にほぼ比例する結果が得られた。さらに，光導波型マイクロホンにおけるダンピングについても実験的考察を進め，エアーダンピングにおける空気層厚と減衰比の関係を明らかにしたが，理論値との相違が見られ，実験条件も含め検討の余地が残った。
【SUB2】光導波型圧力センサおよび流量センサに関して，光導波路設計支援およびダイヤフラム設計支援のためのWEB型アプリケーションを作成した。平成24年度は，サーバーの負担を軽減するため，センサ仕様に関する入力値（例えば，導波路各層の屈折率，センサ感度，周波数帯域）から設計値を算出する数式を用意し，JavaScriptを使って，クライアント側で数値計算処理を行うこととした。仕様（入力値）から設計値を提示するという所期の目標は達成できたが，入力値の条件に制限があり，自由度の拡大が望まれる。
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| Current Status of Research Progress |
Reason
24年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Strategy for Future Research Activity |
24年度が最終年度であるため、記入しない。
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Research Products
(6 results)
