2012 Fiscal Year Annual Research Report
量子効果／弾性波複合機能集積体における空間周波数ロッキングとその応用
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22656080
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| Research Institution | University of Toyama |
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Principal Investigator |
前澤 宏一 富山大学, その他の研究科, 教授 (90301217)
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| Project Period (FY) |
2010-04-01 – 2013-03-31
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| Keywords | 共鳴トンネル / 弾性波 / 伝送線路 / 異種材料集積 / InP |
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| Research Abstract |
格子歪は伝導帯変形ポテンシャルを介して伝道帯端のエネルギーを変調する。この効果は通常非常に小さく、電子デバイスに与える影響は小さい。本提案では、音響波と素子の相互作用を強くするため、RTD を分布定数化した伝送線路を構成し、表面音響波を作用させることでその効果を増大させることを試みる。これにより、表面音響波によるダイナミックな周期構造と素子中を伝播する超高周波電気信号の結合という新しい効果が期待できる。
本年度は格子歪のデバイス特性への影響を直接測定するため、RTDを装荷した弾性振動子の作製を検討した。この弾性振動子はInGaAs/InAlAs層よりなる中空構造体で、InP基板を選択的にエッチングすることにより形成される。この支えの部分にRTDを形成し、振動子の変位によるRTD特性の変化を測定するのが目的である。これまで、選択エッチング技術を中心にプロセス検討を行い、振動子構造が作製できるようになった。今後、RTDを装荷した構造を作製し、RTD特性への格子歪の影響を詳細に測定する予定である。
一方、本研究課題の重要な一部である、異種材料集積化技術についても検討を進めた。ここで取り上げたのは、溶融金属バンプを用いたFluidic Self Assembly法である。微細化に有利で、毒性金属を含まない、Gaによる溶融バンプを用いる新しい技術を提案し、その可能性を調べた。ミクロンオーダーの低融点金属バンプの作製方法、RTDブロックの作製方法、FSAにおける様々な条件の検討を行い、かなりの歩留まりでブロックを配置することが可能になった。
今後、これらの要素技術を用いて、目標達成に向けて研究を進めていく。
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| Current Status of Research Progress |
Reason
24年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Strategy for Future Research Activity |
24年度が最終年度であるため、記入しない。
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