酸化ガリウムの表面および界面処理技術の研究

2022 Fiscal Year Research-status Report

• Project/Area Number: 22K04047
• Research Institution: Kyushu Institute of Technology
• Principal Investigator: 新海 聡子 九州工業大学, 大学院情報工学研究院, 准教授 (90374785)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 松本 聡 九州工業大学, 大学院工学研究院, 教授 (10577282)
• Project Period (FY): 2022-04-01 – 2025-03-31
• Keywords: 酸化ガリウム / ドライエッチング / ウエットエッチング / トレンチ / コーナー

Outline of Annual Research Achievements

2022年度はドライエッチング後の酸化ガリウム（Ga2O3）試料に水酸化テトラメチルアンモニウム（TMAH）を用いてウエットエッチングを施し，表面平坦化に効果があるか走査電子顕微鏡（SEM）および走査プローブ顕微鏡（SPM）を用いて調べることを予定していた．しかしながら，走査プローブ顕微鏡（SPM）の故障により表面平坦性効果を評価することができなくなってしまったため，2023年度に実施予定であったトレンチ構造の作製を前倒しして行った．
はじめに，プラズマCVD（P-CVD）法で酸化ガリウム上にSiO2膜を堆積した．そして，リソグラフィーによるパターニングを施し，ドライエッチングを施すことでSiO2マスクを作製した．次に，Cl2ガスおよびBCl3ガスを用いた誘導結合プラズマ反応性イオンエッチング（ICP-RIE）にて酸化ガリウムにトレンチ構造を作製した．ドライエッチング条件はガス種，ICP電力，そしてBias電力を変化させた．その結果，酸化ガリウムはICP電力に大きく影響を受け，いずれのガスにおいても高いICP電力値ではサブトレンチ（マイクロトレンチ）が形成されることが明らかになった．サブトレンチが形成したトレンチではトレンチ底部で電解集中が発生する．そのため，ドライエッチングにてトレンチ構造を作製する段階で，ドライエッチングの条件を最適化させる必要があることがわかった．また，Cl2ガスはエッチングレートが遅く，選択比も悪いため，Cl2ガスで深いトレンチ構造を作製することは困難であることが明らかとなった．
今年度は走査プローブ顕微鏡（SPM）の使用が可能となったため，昨年度実施する予定であった表面平坦性効果を明らかにしながら，トレンチ形状の変化に及ぼすウエットエッチングの効果を明らかにする予定である．

Current Status of Research Progress

3: Progress in research has been slightly delayed.

Reason

走査プローブ顕微鏡（SPM）の故障により2022年度に予定していた表面平坦性効果を評価することができなくなってしまったため，研究計画の変更を余儀なくされた．

Strategy for Future Research Activity

現在は走査プローブ顕微鏡（SPM）の使用が可能となったため，2022年度に行うことができなかった研究計画を2023年度にスライドさせて実施する．なお，2023年度に実施予定であった研究内容を2022年度に前倒しして実施したため，2023年度以降は進捗状況の遅れを継承することなく，研究を進めることができる予定である．

Causes of Carryover

表面平坦化効果を評価するための走査プローブ顕微鏡（SPM）装置が故障してしまったため，研究計画を大幅に変更せざるを得ず，当該年度の予算消化にずれが生じた．現在は走査プローブ顕微鏡（SPM）装置の使用が可能となったため，繰り越した予算と共に実験を遂行する予定である．