2023 Fiscal Year Annual Research Report
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22K18752
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| Research Institution | Nagoya University |
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Principal Investigator |
松山 智至 名古屋大学, 工学研究科, 教授 (10423196)
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2022-06-30 – 2024-03-31
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| Keywords | X線顕微鏡 / 形状可変鏡 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
本研究では，次世代のX線分析・顕微鏡を実現するために必要となる高精度・高安定・良制御性を持つ形状可変鏡を開発することを目指している．最終的な目標はÅ精度の形状制御である．これを実現するために，単結晶圧電素子を用いた新規構造の形状可変鏡の提案・開発・高度化を進めた．
本年度は，①単結晶圧電素子の加工特性評価，②形状可変鏡の試作，③形状可変鏡を導入した結像光学系の構築，を実施した．
①②では，単結晶圧電素子を基板材料として結像光学系に用いる非球面X線鏡を作製し，その表面に対して干渉計を用いて形状誤差や表面粗さを評価した．この結果，単結晶シリコンと同等の表面粗さを得ることができることを確認した．これはX線鏡としは十分な性能であった．また，非球面形状を作製したところ，通常のシリコン基板と同様に数nmレベルの形状精度で作製することができた．
③では，作製した非球面形状可変鏡を結像光学系に導入し，安定性，リニアリティ，再現性などの性能を評価した．この結果，いずれの値もÅレベルの性能を有しており，提案した形状可変鏡は予想通りの性能を発揮したことを確認した．また，拡大結像顕微鏡を構築し，X線像を評価した．波面収差を補正する前後で像質は大きく改善し，新規形状可変鏡は収差を高精度に補正できることを示すことができた．
以上より，当初目標であった超高精度な形状可変鏡の作製手法の確立・実証と，その周辺技術の開発を進めることができた．
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