2011 Fiscal Year Annual Research Report
走査型電子顕微鏡を用いたマイクロ,ナノスケール流れの観察手法の開発
Project/Area Number |
23917020
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Research Institution | Ehime University |
Principal Investigator |
十河 基介 愛媛大学, 工学部等技術部, 技術専門職員
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Keywords | 走査型電子顕微鏡 |
Research Abstract |
研究目的 本研究では,光学顕微鏡で観察することができない,微小スケールの液体の流れを対象とし,走査型電子顕微鏡(以後SEM)を用いることによって,その流れを観察する手法の開発を目的とする 研究方法 高真空状態であるSEMのチャンバー内において液体が蒸発しないよう,蒸気圧が極めて低いイオン液体を使用する, 液体にトレーサーとして粒径φ3μmの微小粒子(以後トレーサー粒子)を混入し,トレーサー粒子の動きを観察することによって流れの観察を行う.流れの観察には反射電子像を用い,液体とトレーサー粒子のコントラストのはっきりとした画像を得るために金メッキされた微小粒子を混入した. 流路としては,製作,観察が容易な開水路をまず製作した.次に市販のカプセルを使用して薄膜越しの液体およびトレーサー粒子を観察した. 研究結果 製作した開水路を用いて実験を行った.トレーサー粒子の動きをAVI形式の動画で撮影し,トレーサー粒子の速度を測定することによって,液体の速度を測定することができた.この結果から開水路の流れの速度分布を得た. 市販のカプセルを用いて実験を行った.反射電子像による観察で,カプセル内の液体およびトレーサー粒子の観察することができた.
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