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2013 Fiscal Year Research-status Report

物体の偏光指紋の構築及びその応用

Research Project

Project/Area Number 24560043
Research InstitutionUniversity of Yamanashi

Principal Investigator

金 蓮花  山梨大学, 医学工学総合研究部, 准教授 (40384656)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 近藤 英一  山梨大学, 医学工学総合研究部, 教授 (70304871)
Keywords光計測 / 偏光計測 / 光散乱 / 散乱モデル
Research Abstract

本研究は,物体表面による散乱光の完全な情報を迅速・コンパクトに取得・表現できる「偏光指紋」の構築することを目的としたものである.
試料表面による散乱光は半球に広がり,各方向での散乱光の高精度な偏光情報の取得は,正確な「偏光指紋」の構築および解析モデルの確立に不可欠である.そのため広いダイナミックレンジの散乱角に対応できる計測装置の開発を行った.
本計測装置を用いて計測された偏光情報は,本研究で新たに提案した3次元座標系に従いプロットされ,試料の偏光指紋とした.試料の表面構造によりその偏光指紋は大きく異なると予想される.これまでは等方性の表面粗さをもつガラス・鉄の表面による偏光指紋を構築した.また偏光指紋から,試料の解析モデルの確立を試みた.ガラスの解析モデルでは,減衰係数を考慮しなければならないことが分かった.鉄の解析モデルでは,試料表面の一層構造および二層構造モデルを用いた.両モデルとも鉄の偏光指紋を一定程度で説明できた.さらに正確なモデルの確立が必要であることが分かった.

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.

Reason

平成25年度は,Out-of-plane散乱光の高度な偏光情報を測定するため,初年度(24年度)のIn-plane計測だけ可能だった計測装置を改造し,鉄の表面における散乱光の広いダイナミック散乱角レンジで偏光計測および解析を中心に行った.また,解析に必要な3次元座標系を新たに提案した.本座標系を用いて試料の偏光指紋を表すために,横散乱角と縦散乱角を新たに定義した.これらの散乱角を用いた偏光計測結果から,鉄の表面(等方性)による散乱光の偏光特性は入射角と横散乱角に依存せず,横散乱角だけに依存することを発見した.この現象を裏つけるため,試料表面を一層構造、二層構造として見なし数値解析を行った.両モデルともこの現象を一定程度で説明することができた. 以上,「偏光指紋」の構築と解析がほぼ所定の目標を達成した.

Strategy for Future Research Activity

初年度と昨年度は、In-planeとOut-of-plane散乱光の偏光情報の取得および解析を主に行った.また偏光解析を行うため,新たな座標系の提案を行った.本年度は,その座標系を用いて,様々な試料の偏光指紋の構築を試みる.試料の表面構造(等方性か異方性)により,同じ物質であってもその偏光指紋は大きく異なる.3次元に広がる散乱光の偏光指紋を正確に取得することはより正確な解析モデルの確立につながる.各応用分野における試料を種類及びその状態に細かく分類し,試料ごとの偏光指紋のデータベースの構築を行う.これらのデータベースを用いて解析を行い,応用分野に対応するより正確なモデルの確立を試みる.

Expenditure Plans for the Next FY Research Funding

散乱試料の作製の依頼を予定していたが、無料で手に入れることができ、次年度使用額が生じた.
論文掲載費の一部と散乱試料の購入

  • Research Products

    (12 results)

All 2014 2013 Other

All Journal Article (3 results) (of which Peer Reviewed: 3 results) Presentation (7 results) Remarks (1 results) Patent(Industrial Property Rights) (1 results)

  • [Journal Article] Correction of large birefringent effect of windows for in-situ ellipsometry measurements2014

    • Author(s)
      L. Jin and E. Kondoh
    • Journal Title

      Optics Letters

      Volume: 39 Pages: 1549-1552

    • DOI

      10.1364/OL.39.001549

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Supercritical fluid deposition of copper into mesoporous silicon2013

    • Author(s)
      L. Jin, E. Kondoh, T. Oya, B. Gelloz
    • Journal Title

      Thin Solid Films

      Volume: 545 Pages: 357-360

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2013.08.034

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Electro-Optic Coefficient r51 of LiNbO3 Crystal Obtained from Measurement of Retardation Induced by Square of Electric Field2013

    • Author(s)
      K. Takizawa, K. Haraguchi, L. Jin, and S. Suzuki
    • Journal Title

      Jpn. J. Appl. Phys.

      Volume: 52 Pages: 058001-2

    • DOI

      10.7567/JJAP.52.058001

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] その場エリプソ計測における観測窓の影響の補正2014

    • Author(s)
      金蓮花,近藤英一
    • Organizer
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      青山学院大学
    • Year and Date
      20140317-20140320
  • [Presentation] ラフな鉄表面による散乱光の偏光特性および光学モデリング2014

    • Author(s)
      山口晃司,近藤英一,ジェローズ ベルナール,金蓮花
    • Organizer
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      青山学院大学
    • Year and Date
      20140317-20140320
  • [Presentation] Cu埋め込みされたマイクロポーラスシリコンの電気特性2014

    • Author(s)
      大矢敏史,近藤英一,ジェローズ ベルナール,金蓮花
    • Organizer
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      青山学院大学
    • Year and Date
      20140317-20140320
  • [Presentation] HWA処理によるポーラスシリコン上のナノロッド形成の試み2014

    • Author(s)
      由井寛之,ジェローズ ベルナール,金蓮花
    • Organizer
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      青山学院大学
    • Year and Date
      20140317-20140320
  • [Presentation] Photo-assisted metal fill to nanopores using a supercritical fluid along with in-situ spectroscopic ellipsometric observation2013

    • Author(s)
      E. Kondoh, Y. Tamegai, M. Watanabe, and L. Jin
    • Organizer
      39th International Conference on Micro and Nano Engineering
    • Place of Presentation
      London, England
    • Year and Date
      20130917-20130918
  • [Presentation] Scattering light pattern of rough surface2013

    • Author(s)
      Yamaguchi,A. Muhammad,B. Gelloz,E. Kondoh, and L. Jin
    • Organizer
      The 6th International Conference on Spectroscopic Ellipsometry
    • Place of Presentation
      Kyoto, Japan
    • Year and Date
      20130526-20130531
  • [Presentation] In-Situ imaging ellipsometer using a LiNbO3 electrooptic crystal2013

    • Author(s)
      Y. Wakako, K. Takizawa, E. Kondoh, and L. Jin
    • Organizer
      The 6th International Conference on Spectroscopic Ellipsometry
    • Place of Presentation
      Kyoto, Japan
    • Year and Date
      20130526-20130531
  • [Remarks] 山梨大学 研究者総覧

    • URL

      http://erdb.yamanashi.ac.jp/rdb/A_DispDetail.Scholar?fid=0&id=0A0A3CE32AB61572

  • [Patent(Industrial Property Rights)] 光学特性の測定方法及び光学特性の測定装置2014

    • Inventor(s)
      金 蓮花,近藤英一
    • Industrial Property Rights Holder
      山梨大学
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Industrial Property Number
      特願2014-016281
    • Filing Date
      2014-01-31

URL: 

Published: 2015-05-28  

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