位置と測定フレームの同時測定による大型三次元ステージの性能向上に関する研究

2012 Fiscal Year Research-status Report

• Project/Area Number: 24560305
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• Research Institution: Tokyo Denki University
• Principal Investigator: 古谷 涼秋 東京電機大学, 工学部, 教授 (50219119)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 小崎 美勇 東京電機大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 (80550590)
• Project Period (FY): 2012-04-01 – 2015-03-31
• Keywords: 形状測定 / レーザー干渉計 / ステージ

Research Abstract

三軸ナノステージの軸のうち，XY軸に反射鏡を設置した．ステージ外からのレーザー光を反射鏡で反射するように，光軸や光学機器の調整を行った．
LabViewによって，XYZ軸の移動及びXYZ軸のスケールの読み取りが可能になった．
ステージの位置及びレーザー干渉計による位置測定の結果から，ステージの軸及び反射鏡の形状を分離した．今後は，分離して得られたステージの軸の形状及び反射鏡の形状の精度の正しさを確認する必要がある．

Current Status of Research Progress

2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.

Reason

XYZステージに反射鏡を設置し，２組のレーザー干渉計を構成し，XYステージの変位とその位置情報の取得，並びにレーザー干渉計による変位情報の取得という，本研究の基本情報の取得が可能となった．

Strategy for Future Research Activity

H24年度は，まずデータが取れるようにということで，データの取得を優先したが，H25年度は，レーザー干渉計から得られるデータの質の向上を目指す．反射鏡が，レーザー光軸に対して，傾斜していた場合も，データ処理によって傾斜を取り除くことは可能であるが，H25年度は，傾斜や位置に関しては理想的な状態に調整し，その条件下で，反射鏡の形状による位置測定誤差を検出し，ステージの軸の形状偏差及び反射鏡の形状偏差を分離することを目的とする．
位置決めの実験のためには，高精度の反射鏡を使った方がよいが，形状の分離を明らかにするために，形状精度の悪い反射鏡を使い，その結果を比較する．

Expenditure Plans for the Next FY Research Funding

レーザー干渉計によるデータ取得のための光学系の調整のための，光学部品（レンズ，鏡，プリズム，光学素子など）を購入する．
H24年度に取得したデータに基づく成果について，ASPEN(Asian Society for Precision Engineering)の国際会議（台湾で開催予定）で発表する．