2014 Fiscal Year Annual Research Report
薄膜アクチュエータ用磁性材料の特性制御に関する研究
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24560859
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| Research Institution | Tokai University |
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Principal Investigator |
松村 義人 東海大学, 工学部, 教授 (60239085)
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2012-04-01 – 2015-03-31
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| Keywords | 薄膜アクチュエータ / プラズマ計測 / 過剰エネルギー / 過飽和固溶体 / イオン衝撃 / 熱応力 / 内部応力 / 特性制御 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
本研究計画は磁歪材料を中心とした薄膜アクチュエータ用材料の特性に及ぼす高エネルギー粒子衝撃の効果を明らかにすることにより、マイクロアクチュエータやセンサデバイスに最適化された薄膜用磁性材料を創り出そうというものである。
H26年度においては、”１．新規薄膜アクチュエータ用磁性材料の検討”に関しては、固溶度を持つFe-Ga系と非混和系であるFe-In系の薄膜を作製し、その際に前年度までのラングミュアプローブ、ファラデーカップを用いた測定系にマルチグリッド型静電アナライザー（MGA）を加えることにより、成膜中のプラズマ分析を行った。その結果プラズマ中における蒸着粒子の持つ高い過剰エネルギーにより、Fe-Ga系、Fe-In系いずれにおいてもFeのBCC構造を持つ過飽和固溶体薄膜を形成することを明らかにした。また、過剰エネルギーを増加させるに従い、溶解度限が大きくなることを明らかにした。”２．薄膜アクチュエータ用磁性材料の特性制御”においては、従来のラングミュアプローブ測定に前述のMGAによるスパッタガスイオンのエネルギー測定を加えることにより、ラングミュアプローブによるシース領域での加速エネルギーに加え、陽光柱内でのスパッタガスイオンの熱運動によるエネルギーの測定が行えるようになり、イオン衝撃パラメータPiの値をより正確に求めることができた。その結果、成膜中のイオン衝撃を精密に制御でき、作製された磁歪薄膜の内部応力の制御を熱応力と分離して制御できることを明らかにした。
以上の成果に関しては第２６回電磁力関連のダイナミクスシンポジウム（SEAD25）、や日本金属学会秋期講演大会等の国内学会において研究成果の発表を行った。さらにACTUATOR2014やCMSE 2014等の国際集会において発表を行い、日本金属学会誌やMaterials Transactionsなどの学術誌で公表した。
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[Journal Article] Ni薄膜に対するイオン衝撃の影響2014
Author(s)
豊田 椋一,宮田 俊平,橋本 真希,坂野 将太,飯島 貴朗,利根川 昭,松村 義人
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Journal Title
第26回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム(SEAD26)講演論文集
Volume: 1
Pages: 180-183
Acknowledgement Compliant
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[Presentation] Ar, Kr, Xe Ion Bombardment Effects on Magnetostrictive Characteristics for Sputtered Thin Films2014
Author(s)
Ryoichi TOYODA,Chonlawich NIYOMUWAITAYA,Soichiro TOYA,Shumpei MIYATA,Maki Hashimoto,Shota SAKANO,Ami KOHRI,Yoshihito Matsumura
Organizer
14th Int.Conf. on New Actuators (ACTUATOR2014)
Place of Presentation
MESSE BREMEN, Bremen, Germany
Year and Date
2014-06-23 – 2014-06-25
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[Presentation] Internal Stress Control for Thin Film Actuator2014
Author(s)
Ryoichi TOYODA,Soichiro TOYA,Shumpei MIYATA,Maki Hashimoto,Takaaki IIJIMA,Akira Tonegawa,Yoshihito Matsumura
Organizer
14th Int.Conf. on New Actuators (ACTUATOR2014)
Place of Presentation
MESSE BREMEN, Bremen, Germany
Year and Date
2014-06-23 – 2014-06-25
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[Presentation] イオンプレーティング法を用いたFe-Ga薄膜の作製2014
Author(s)
天野 真央,ニヨムワイタヤ チョンラウィット,酒井 彰崇,飯島 貴朗,利根川 昭,松村 義人
Organizer
第26回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム(SEAD26 in 盛岡)
Place of Presentation
盛岡市 アイーナ 岩手県民情報交流センター
Year and Date
2014-05-21 – 2014-05-23
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[Presentation] Ni薄膜に対するイオン衝撃の影響2014
Author(s)
豊田 椋一,宮田 俊平,橋本 真希,坂野 将太,飯島 貴朗,利根川 昭,松村 義人
Organizer
26回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム(SEAD26 in 盛岡)
Place of Presentation
盛岡市 アイーナ 岩手県民情報交流センター
Year and Date
2014-05-21 – 2014-05-23
