2024 Fiscal Year Comments on the Screening Results
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24H00205
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Review Section |
Medium-sized Section 14:Plasma science and related fields
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| Research Institution | Kyushu University |
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Principal Investigator |
白谷 正治 九州大学, システム情報科学研究院, 教授 (90206293)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
布村 正太 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 上級主任研究員 (50415725)
鎌滝 晋礼 九州大学, システム情報科学研究院, 准教授 (60582658)
古閑 一憲 九州大学, システム情報科学研究院, 教授 (90315127)
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| Project Period (FY) |
2024-04-01 – 2029-03-31
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| Scientific Significance and Expected Research Achievements |
本研究で取り組む、プラズマ成膜プロセスにおける膜質のプラズマ条件やプラズマの内部パラメタ等に対する定量的な一般則の導出は、これまで経験的に行われたことを体系化し一般則として記述しようとするもので、学術的意義が高い。半導体製造をはじめとした、プラズマプロセスを用いる様々な産業分野に対する波及効果も高いと評価できる。
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