半導体化学気相成長の科学

2024 Fiscal Year Comments on the Screening Results

• Project/Area Number: 24H00432
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Section: 一般
• Review Section: Medium-sized Section 30:Applied physics and engineering and related fields
• Research Institution: Kyushu University
• Principal Investigator: 寒川 義裕 九州大学, 応用力学研究所, 教授 (90327320)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 草場 彰 九州大学, 応用力学研究所, 准教授 (70868926) ; 杉山 佳奈美 京都大学, 工学研究科, 助教 (70974377) ; 新田 州吾 三重大学, 研究基盤推進機構, 教授 (80774679)
• Project Period (FY): 2024-04-01 – 2028-03-31

Scientific Significance and Expected Research Achievements

本研究は、化学気相成長プロセスをそのまま丸ごと仮想空間に再現する技術を先進計測実験、機械学習などを取り入れることで更に深化させ、III-V族窒化物半導体の結晶成長や不純物混入機構を明らかにするものである。化学気相成長の科学といった学理の追求、更には高性能パワーエレクトロニクス用材料の実現への寄与が期待される。