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2015 Fiscal Year Annual Research Report

SOI MOSFET単一フォトン検出器の高性能化に関する研究

Research Project

Project/Area Number 25286068
Research InstitutionShizuoka University

Principal Investigator

猪川 洋  静岡大学, 電子工学研究所, 教授 (50393757)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 佐藤 弘明  静岡大学, 電子工学研究所, 助教 (00380113)
小野 篤史  静岡大学, 電子工学研究所, 准教授 (20435639)
Project Period (FY) 2013-04-01 – 2016-03-31
Keywords単一フォトン検出器 / ホール寿命 / 最大カウントレート / ダークカウントレート / 単電子トランジスタ
Outline of Annual Research Achievements

①量子効率の向上:量子効率の向上と受光面積の増大のために、格子状の表面プラズモンアンテナを導入する検討を行った。このアンテナを使用するとアンテナ周辺の媒質の屈折率を高感度で測定できることが分かった。単一フォトン検出による屈折率計測につながるユニークな成果である。
②信号強度の増大:従来のMOSFET構造では、信号強度の増大と雑音の抑制を両立させ信号対雑音比、すなわちフォトンの入射によって生じる電荷に対する検出限界を向上させることが困難であるため、MOSFETに類似した工程で作製できるシリコン単電子トランジスタ、特に2重量子ドットや3重量子ドットのトランジスタを電荷検出器として利用することを考え、実験により検証した。
③ホール寿命と飽和ホール数の制御:光照射により単電子トランジスタの量子ドット中に生じるホール(もしくは分極)の寿命は短いため、高速動作(最大カウントレートの向上)に有利である。実際に高速動作のメリットを検証するためには、電流プリアンプの入力容量を減らす必要があり、単一フォトン検出器に近接してプリアンプを同一チップ上に集積することが残された課題である。
④高速信号読み出し回路:単一フォトン検出器の複雑な出力波形をリアルタイムで処理するディジタル信号ハードウェアについて継続して検討し、シミュレーションデータに加えて実験データも処理できることを確認した。

Research Progress Status

27年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

27年度が最終年度であるため、記入しない。

Causes of Carryover

27年度が最終年度であるため、記入しない。

Expenditure Plan for Carryover Budget

27年度が最終年度であるため、記入しない。

  • Research Products

    (8 results)

All 2016 2015 Other

All Journal Article (2 results) (of which Peer Reviewed: 2 results,  Open Access: 1 results) Presentation (3 results) (of which Int'l Joint Research: 2 results) Remarks (2 results) Patent(Industrial Property Rights) (1 results) (of which Overseas: 1 results)

  • [Journal Article] Identification of Double Quantum Dots in Nanowire Devices by Single-Gate Sweeps2016

    • Author(s)
      H. Inokawa and Y. Takahashi
    • Journal Title

      JJAP Conf. Proc.

      Volume: 4 Pages: 011201_1-5

    • DOI

      10.7567/JJAPCP.4.011201

    • Peer Reviewed / Open Access
  • [Journal Article] Fabrication and single-electron-transfer operation of a triple-dot single-electron transistor2015

    • Author(s)
      Mingyu Jo, Takafumi Uchida, Atsushi Tsurumaki-Fukuchi, Masashi Arita, Akira Fujiwara, Yukinori Ono, Katsuhiko Nishiguchi, Hiroshi Inokawa and Yasuo Takahashi
    • Journal Title

      J. Appl. Phys.

      Volume: 118(21) Pages: 214305_1-6

    • DOI

      10.1063/1.4936790

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Fabrication of Triple-Dot Single-Electron Transistor and its Turnstile Operation2015

    • Author(s)
      M. Jo, T. Uchida, A. Tsurumaki-Fukuchi, M. Arita, A. Fujiwara, Y. Ono, K. Nishiguchi, H. Inokawa and Y. Takahashi
    • Organizer
      28th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2015)
    • Place of Presentation
      Toyama International Conference Center, Toyama, Japan
    • Year and Date
      2015-11-10 – 2015-11-13
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Refractive Index Measurement toward Integrated Optical Biosensing by Silicon-On-Insulator Photodiode with Surface Plasmon Antenna2015

    • Author(s)
      H. Satoh, S. Iwata, D. Sugiyama, A. Ono, and H. Inokawa
    • Organizer
      The 14th International Conference on Global Research and Education (Inter-Academia 2015)
    • Place of Presentation
      Congress Center in Hamamatsu ACTCITY, Hamamatsu, Japan
    • Year and Date
      2015-09-28 – 2015-09-30
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 表面プラズモンアンテナ付SOIフォトダイオードを用いたショ糖水溶液の屈折率測定における性能評価2015

    • Author(s)
      佐藤 弘明、岩田 将平、小野 篤史、猪川 洋
    • Organizer
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      名古屋国際会議場(愛知県名古屋市)
    • Year and Date
      2015-09-13 – 2015-09-16
  • [Remarks] ナノシステム集積化分野

    • URL

      http://www.rie.shizuoka.ac.jp/?page_id=57

  • [Remarks] SOI MOSFETによる単一フォトン検出

    • URL

      http://www.oisc.shizuoka.ac.jp/cmsdesigner/dlfile.php?entryname=sangaku&entryid=00679&fileid=00000003&/zai15inokawa.pdf&disp=inline

  • [Patent(Industrial Property Rights)] 屈折率測定装置2016

    • Inventor(s)
      猪川洋、佐藤弘明、小野篤史
    • Industrial Property Rights Holder
      静岡大学
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Industrial Property Number
      PCT/JP2016/53981
    • Filing Date
      2016-02-10
    • Overseas

URL: 

Published: 2017-01-06  

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