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2015 Fiscal Year Annual Research Report

コヒーレント軟X線を用いた高空間・高時間分解顕微干渉イメージングシステムの開発

Research Project

Project/Area Number 25286086
Research InstitutionThe University of Tokushima

Principal Investigator

富田 卓朗  徳島大学, ソシオテクノサイエンス研究部, 准教授 (90359547)

Project Period (FY) 2013-04-01 – 2016-03-31
Keywords軟X線レーザー / 顕微計測 / 時間分解測定 / フェムト秒レーザーアブレーション / シングルショット計測
Outline of Annual Research Achievements

前年度から引き続き、フェムト秒レーザーポンプ(波長795 nm、パルス時間幅80 fs)・ピコ秒軟X線レーザープローブの時間分解計測システムを用いた測定結果の解析を行った。特に、本年度では軟X線の干渉計測の結果を分析し、反射率計測に基づくシャドウグラフによって明らかになった入射レーザー光の空間強度分布と強い相関をもった、剥離薄膜形状が、数10 psから数100 psの早い時間領域でどのように形成されるかを明らかにした。
まず、ポンププローブ法の反射率計測によってフェムト秒レーザー光を金属薄膜(タングステン、金、白金)に照射することよって生じる剥離薄膜の観察を行った。試料の金属薄膜は表面の平坦性を確保するため、石英基板等に蒸着を行って作製した。フェムト秒レーザー照射後100ピコ秒から300ピコ秒程度の時間帯においてニュートンリング、50ナノ秒から300ナノ秒程度の時間帯において楕円形の低反射率部が観察できた。ニュートンリングはこの薄膜で反射した軟X線と試料表面つまり、加工された凹部の底面で反射した軟X線との干渉によって発生したと考えられる。この結果は、これまであらゆる状況下で観測されてきたニュートンリングの中で最も短波長の電磁波領域におけるニュートンリングの観察に成功したことになる。
干渉計測では19ピコ秒でフェムト秒レーザー照射部の中央付近が左方向にシフトし、71ピコ秒でそのシフト量が増加していることが明らかになった。その後、260ピコ秒では黒い円盤の淵付近で左側へ、中央付近で右側へシフトしていることがわかる。この干渉像を解析することによって、フェムト秒レーザー照射後、試料表面は一度膨張した後にへこんでいくことを見出した。この結果から反射率像によって得られた剥離薄膜の持続的な膨張とは対照的に試料表面は比較的早い時間帯からへこみはじめることが明らかになった。

Research Progress Status

27年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

27年度が最終年度であるため、記入しない。

Causes of Carryover

27年度が最終年度であるため、記入しない。

Expenditure Plan for Carryover Budget

27年度が最終年度であるため、記入しない。

  • Research Products

    (9 results)

All 2016 2015 Other

All Journal Article (2 results) (of which Peer Reviewed: 2 results,  Acknowledgement Compliant: 1 results) Presentation (6 results) (of which Int'l Joint Research: 1 results,  Invited: 1 results) Remarks (1 results)

  • [Journal Article] The Shape of The Exfoliated Surface during Femtosecond Laser Ablation2016

    • Author(s)
      N. Kakimoto, T. Eyama, R. Izutsu and T. Tomita
    • Journal Title

      Journal of Laser Micro/Nanoengineering

      Volume: 11 Pages: 91-94

    • DOI

      10.2961/jlmn.2016.01.0017

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Hydrodynamics driven by ultrashort laser pulse: simulations and the optical pump-X-ray probe experiment2015

    • Author(s)
      N. A. Inogamov, V. V. Zhakhovsky, N. Hasegawa, M. Nishikino, M. Yamagiwa, M. Ishino, M. B. Agranat, S. I. Ashitkov, A. Ya. Faenov, V. A. Khokhlov, D. K. Ilnitsky, Yu. V. Petrov, K. P. Migdal, T. A. Pikuz, S. Takayoshi, T. Eyama, N. Kakimoto, T. Tomita, M. Baba, Y. Minami, T. Suemoto and T. Kawachi
    • Journal Title

      APPLIED PHYSICS B-LASERS AND OPTICS

      Volume: 119 Pages: 413-419

    • DOI

      10.1007/s00340-015-6039-7

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] フェムト秒レーザー照射による SiC 上へのオーミック電極作製の可能性2015

    • Author(s)
      富田 卓朗
    • Organizer
      日本金属学会中四国支部 第54回材質制御研究会
    • Place of Presentation
      徳島大学 (徳島県徳島市)
    • Year and Date
      2015-09-25 – 2015-09-25
    • Invited
  • [Presentation] タングステンにおけるアブレーション過程のフルエンス依存性2015

    • Author(s)
      柿本 直也, 井筒 類, 富田 卓朗
    • Organizer
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      名古屋国際会議場 (愛知県名古屋市)
    • Year and Date
      2015-09-13 – 2015-09-16
  • [Presentation] 軟X線干渉計測を用いたタングステンにおけるアブレーション過程の観測2015

    • Author(s)
      柿本 直也, 井筒 類, 富田 卓朗
    • Organizer
      2015年度応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会
    • Place of Presentation
      徳島大学 (徳島県徳島市)
    • Year and Date
      2015-08-01 – 2015-08-01
  • [Presentation] 軟X線シャドウグラフを用いたタングステンにおけるアブレーション過程の観測2015

    • Author(s)
      井筒 類, 柿本 直也, 富田 卓朗
    • Organizer
      2015年度応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会
    • Place of Presentation
      徳島大学 (徳島県徳島市)
    • Year and Date
      2015-08-01 – 2015-08-01
  • [Presentation] SiC基板への回路描画を目指したフェムト秒レーザー改質2015

    • Author(s)
      板東 洋太, 直井 美貴, 富田 卓朗
    • Organizer
      2015年度応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会
    • Place of Presentation
      徳島大学 (徳島県徳島市)
    • Year and Date
      2015-08-01 – 2015-08-01
  • [Presentation] The Shape of The Exfoliated Surface during Femtosecond Laser Ablation2015

    • Author(s)
      Naoya Kakimoto, Takashi Eyama, Rui Izutsu and Takuro Tomita
    • Organizer
      The 7th International Congress on Laser Advanced Materials Processing
    • Place of Presentation
      KITAKYUSHU INTERNATIONAL CONFERENCE CENTER (福岡県北九州市)
    • Year and Date
      2015-05-26 – 2015-05-29
    • Int'l Joint Research
  • [Remarks] 徳島大学理工学部理工学科電気電子システムコース物性デバイス大講座

    • URL

      http://www.ee.tokushima-u.ac.jp/Research/aMDS/MDS_res.html

URL: 

Published: 2017-01-06  

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