2014 Fiscal Year Annual Research Report
測定対象の構成元素と三次元微細形状計測の同時検出システムの開発
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25289066
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| Research Institution | Kansai University |
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Principal Investigator |
新井 泰彦 関西大学, システム理工学部, 教授 (80131415)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
青柳 誠司 関西大学, システム理工学部, 教授 (30202493)
多川 則男 関西大学, システム理工学部, 教授 (50298840)
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| Project Period (FY) |
2013-04-01 – 2017-03-31
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| Keywords | ナノマイクロメカトロニクス / 三次元形状計測 / 元素分析 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
申請段階での本年度の計画に対して、以下のような成果がもたらされている。
1)三次元形状計測と元素分析技術との融合に関する取組において、二つの技術によって得られた結果を一つの画像上に表示するソフトウェアを開発した。具体的には、第一段階として、金・銀・錫・アルミニュウム・鉛・銅が分布する平板の試料を作製し、この試料を用いて三次元形状計測を実施して平面であることを確認したうえで、元素分析技術により得られた分布との結合を一つの画像上に表示するソフトウェアを開発することにより実施した。この成果のもとに、炭素鋼の破断面における形状計測結果と元素分析結果とを融合した画像を作成した。その結果、破断面におけるマイクロ構造において、Mg元素の分布濃度の高い面において、破断が発生している可能性を確認することができた。本研究が目指す重要な成果が得られたものと考えている。
2)同時計測する場合の問題点の検討においては破断面の観察実験において、より具体的な問題を検討するためには、三次元形状計測における空間的な分解能が今後より必要であることがわかった。この改善に向けて、数マイクロメーターのピッチを持つ格子の作製が必要であることがわかった。今後、EB描書機を用いてダイレクトに格子をウエハ上に描画することによって、この問題の解決に当たる事としている。
いずれにしても、申請当初の計画に従った研究が進められているものと考えている。
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.
Reason
平成26年度の成果として示しているように、申請当初に計画した成果が得られている。
特に、本研究の基礎的な部分はおおむね形成されており、今後、本システムを用いた応用実験に入ることができる状況にいたっていることより、おおむね順調に研究は進行していると判断している。
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| Strategy for Future Research Activity |
現在までの成果は、申請段階に沿った成果が得られていることより、申請書に基づき、半導体，金属摩耗面の計測を対象に本研究で開発した三次元形状計測と元素分析技術との融合に関する取り組みの成果のもとで、一つの画像上に表示するソフトウェアの応用分野の拡大を図ることとしている。
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| Causes of Carryover |
本年度の助成金から2147円が次年度に繰り越されている。その内訳は旅費であり、年末に近い段階での海外での国際会議における参加費ならびに航空運賃のドル建て経費を円建て経費に換算した際に為替レートの変動に伴い生じたものである。年度末でもあり、無駄な経費としての使用ではなく、次年度に有効利用することを目して敢えて次年度繰越金とした。
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| Expenditure Plan for Carryover Budget |
本年度の研究計画に従い、補助金・助成金を物品費(ウエハ、薬品等の消耗品の購入)ならびに、成果の発信のための国際会議での報告を計画している。その際に、本年度の旅費に加えて繰越金の有効利用を計画している。
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