2016 Fiscal Year Annual Research Report
Development of process performance for diamond wafers and cutting / grinding tools by ultraviolet irradiation polishing
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26289020
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| Research Institution | Kumamoto University |
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Principal Investigator |
峠 睦 熊本大学, 先進マグネシウム国際研究センター, 教授 (00107731)
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| Project Period (FY) |
2014-04-01 – 2017-03-31
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| Keywords | 紫外光励起研磨 / ダイヤモンドウェハ / ダイヤモンド製切削工具 / PCD / 鋭利化 / ダイヤモンド砥石 / 精密ツルーイング / 超硬 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
本研究は紫外光励起研磨法の研磨メカニズムをより詳細に解明すると共に，得られた成果を2インチサイズのダイヤモンドウェハを実現すること，また，工具への応用展開としてダイヤモンド製切削工具，砥石，金型および薄刃ブレードの性能を飛躍的に高度化できる4つの新しい紫外光励起活用技術（UV-sharpening，UV-truing，UV-machining，UV-thinning）を開発し，加工現場へ普及させることを目的としている．
2インチサイズのダイヤモンドウェハの紫外光励起研磨では研磨メカニズムを明確に解明でき，研磨雰囲気としての窒素ガス（100％まで）により窒素放電が活発となって削除率（研磨レート）がきわめて増加する効果や逆に酸素雰囲気（100％まで）では窒素放電の発生が抑制されるため研磨面性状が改善されること（0.3 nmRa以下）を見出した．これらにより，2インチサイズのダイヤモンドウェハ全面の鏡面研磨加工に成功した．これらの成果は精密工学会誌に投稿して掲載され，平成26年度精密工学会論文賞を受賞することができた．
工具への応用展開としては，PCD製切削工具，小径軸付電着ダイヤモンド砥石，薄刃PCD製ブレードの紫外光励起活用技術を開発でき，それぞれの成果を砥粒加工学会誌に３報に分けて投稿して掲載された．これらの過程で開発することができたPCD製切削工具の鋭利化，高度化技術，ダイヤモンド砥石の精密ツルーイングとしてのUVツルーイング技術，薄刃PCD製ブレードは今後の技術立国を支える有力な加工技術とすることができたと評価している．
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| Research Progress Status |
28年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Strategy for Future Research Activity |
28年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Causes of Carryover |
28年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Expenditure Plan for Carryover Budget |
28年度が最終年度であるため、記入しない。
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