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2015 Fiscal Year Annual Research Report

MEMS技術を用いた300GHz帯FW-TWTの開発

Research Project

Project/Area Number 26289101
Research InstitutionShizuoka University

Principal Investigator

三村 秀典  静岡大学, 電子工学研究所, 教授 (90144055)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 根尾 陽一郎  静岡大学, 電子工学研究所, 准教授 (50312674)
長尾 昌善  国立研究開発法人産業技術総合研究所, その他部局等, 研究員 (80357607)
Project Period (FY) 2014-04-01 – 2017-03-31
Keywords進行波管 / 300GHz / Folded Waveguide遅波回路 / MEMS
Outline of Annual Research Achievements

FWG-TWTの設計:平成26年度は、MEMS(Micro Electro Mechanical System)技術を用いたFolded Waveguide遅波回路(FWG-SWC)を用いた300GHz帯FWG-TWT(進行波管)の概略設計を行った。平成27年度は、大信号動作シミュレーションによるFWG-TWTの設計手法を確立するとともに、目標仕様(周波数帯域280~300GHz、出力1Wクラス、利得20dB以上)を満足できる広帯域FWG-TWTの詳細設計を行った。平成26年度に設計したFolded Waveguide遅波回路の形状、FWGの横幅0.651mm、FWGの高さ0.097mm、ピッチ0.182mm、ビームホール半径0.123mm、ストレート部の半分の長さ0.137mm、1ピッチの管路長0.560mmを用い、大信号動作シミュレーションを行い、動作ビーム電圧12.6kV、ビーム電流8.3mAで、280-300GHz帯の20GHzの帯域に渡って、電子ビーム効率1%以上(出力1W以上)でほぼ20dBの利得が得られることを確認した。
FWG-TWTの試作:FWG-SWCに関し、LIGAプロセスによるFWG-SWC試作を引き続き行った。周期磁界装置(PPM)で使われるマグネットの設計を行った。また、Integral Pole Piece およびカソードの概略設計を行った。
研究分担者により、Volcano構造ダブルゲートスピント型微小電子源の製作が行われ、電子放出特性と集束特性の最適化がなされた。エミッタティップは引き出し電極から低く、また先端の角度は小さい方が、放出電流量の減少を抑えながら電子ビームをより集束できることがわかった。
光カソード:GaAs表面をセシウム処理した負性電子親和力GaAs光カソードの光パルス応答性を測定した。その結果、負性電子親和力GaAs光カソードの光パルス応答は数nsecより高速である可能性がわかった。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.

Reason

Folded Waveguide遅波回路(FWG-SWC)を用いた300GHz帯TWT(Travelling Wave Tube)の設計は終了した。大信号動作シミュレーションを行った結果、設計はほぼ妥当であることがわかった。また、継続してLIGAプロセスによるFWG-SWC試作している。周期磁界装置(PPM)で使われるマグネットの設計、Integral Pole Piece、カソードの概略設計を行った。研究分担者により、Volcano構造ダブルゲートスピント型微小電子源の製作が行われ、電子放出特性と集束特性の最適化がなされた。また、GaAs表面をセシウム処理した負性電子親和力GaAs光カソードの光パルス応答性は数nsecより高速である可能性がわかった。

Strategy for Future Research Activity

LIGAプロセスによるFWG-SWCの試作を続け、損失特性等を測定することにより、改良を行う。FWG-SWCを採用した300GHz帯TWTを試作し、実際に動作させる。FWG-TWTに利用できる、10mA以上の電流駆動能力を有するVolcano構造ダブルゲートスピント型微小電子源を開発し、FWG-TWTへの適応を検討する。電子源から直接バンチ電子ビームを発生できる新しい光カソードのマイクロ波管への有用性を実証する。

Research Products

(6 results)

All 2016 2015

All Presentation (6 results) (of which Int'l Joint Research: 3 results)

  • [Presentation] GaAs 負性電子親和力カソードの応答速度について2016

    • Author(s)
      光野圭悟、増澤智昭、畑中義式、根尾陽一郎、三村秀典
    • Organizer
      第63回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      東京工業大学(東京都目黒区)
    • Year and Date
      2016-03-19 – 2016-03-22
  • [Presentation] Revised Fabrication of Volcano-Structured Double-Gate Spindt-Type FEA2015

    • Author(s)
      M. Nagao, Y. Goto, T. Matsuzawa, Y. Neo and H. Mimura
    • Organizer
      22th International Display Workshop
    • Place of Presentation
      大津プリンスホテル(滋賀県大津市)
    • Year and Date
      2015-12-09 – 2015-12-11
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 300GHz帯MEMS-FWG-TWTの設計検討(その2)2015

    • Author(s)
      蔦木邦夫、根尾陽一郎、三村秀典、吉田満、増田則夫、松岡順一
    • Organizer
      電子情報通信学会技術報告
    • Place of Presentation
      名城大学名古屋駅サテライト(愛知県名古屋市)
    • Year and Date
      2015-10-22 – 2015-10-23
  • [Presentation] ボルケーノ構造ダブルゲートスピント型フィールドエミッタアレイのビーム集束特性2015

    • Author(s)
      長尾昌善, 後藤康仁, 増澤智昭, 根尾陽一郎, 三村秀典
    • Organizer
      第76回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      名古屋国際会議場(愛知県名古屋市)
    • Year and Date
      2015-09-13 – 2015-09-16
  • [Presentation] Design of a 300GHz band TWT with a folded waveguide fabricated by micro electro mechanical systems2015

    • Author(s)
      K. Tsutaki, Y. Neo, H. Mimura, Y. Fujisita, M. Yoshida and J. Matsuoka
    • Organizer
      2nd International Symposium on Frontiers in Thz Technology 2015
    • Place of Presentation
      アクトシティ(静岡県浜松市)
    • Year and Date
      2015-08-30 – 2015-09-02
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Beam profile measurement of vocano-structured double-gated Spint-type field emitter arrays2015

    • Author(s)
      M, Nagao, Y. Gotoh, Y. Neo and H. Mimura
    • Organizer
      28th International Vacuum Nanoelectronics Conference
    • Place of Presentation
      Yingbin Hotel (Guangzhou, China)
    • Year and Date
      2015-07-13 – 2015-07-17
    • Int'l Joint Research

URL: 

Published: 2017-01-06  

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