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2016 Fiscal Year Annual Research Report

Development of 300GHz FW-TWT using MEMS technology

Research Project

Project/Area Number 26289101
Research InstitutionShizuoka University

Principal Investigator

三村 秀典  静岡大学, 電子工学研究所, 教授 (90144055)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 根尾 陽一郎  静岡大学, 電子工学研究所, 准教授 (50312674)
長尾 昌善  国立研究開発法人産業技術総合研究所, その他部局等, 研究員 (80357607)
Project Period (FY) 2014-04-01 – 2017-03-31
Keywords進行波管 / 300GHz / FoldedWaveguide遅波回路 / MEMS
Outline of Annual Research Achievements

FWG-TWTの開発:平成27年度は大信号動作解析によるFWG-TWTの設計手法を確立するとともに、目標仕様(周波数帯域280~300GHz、出力1Wクラス、利得20dB以上)を満足できる広帯域FWG-TWTの詳細設計を行った。また、設計したFolded Waveguide 遅波回路(FWG-SWC)のシミュレーションを行い、目標仕様を満足することを確認した。平成28年度は、外部機関の協力を得て、LIGAプロセスによりFWG-SWCを試作し、FWG-SWCに周期磁界装置(PPM)を取り付け、そのcold評価(電子ビームを通さない評価)を行った。その結果、次の重要な結果が得られた。1.FWG-SWCの設計は正しい。2.製作の容易さから矩形型のビームホールを採用したが、これによりRF損失が大きい。また、設計したビームホールが大きすぎて、電磁波と電子ビームの相互作用が弱い。さらに遅波回路と出力導波管の間のインピーダンス不整合を生じている。これらのことより円形型のビームホールを用いて、また可能な限りビームホールを小さくした、FWG-SWCの再設計を行った。LIGAプロセスによる新しいFWG-SWCの試作を行った。300GHzの増幅実験を行う。
カソードの研究:熱カソードを用いた300GHz FWG-TWTより高効率、超小型、高周波を目指した、FWG-TWTの開発のため新規カソードの開発を行っている。レーザ光を用いた光励起による超高速変調電子ビームを発生できるカソードで、負性親和力GaAsカソードとアルカリ光電面カソードを製作した。この2つの冷陰極に加えSi電界放出カソードにレーザ励起により発生させた超高速電子ビームのビーム診断を行った。また、電子ビームの集束が可能な火山構造ダブルゲートスピント型電子源の電子ビーム集束特性を測定し、その特性からFWG-TWTのカソードの設計を行った。

Research Progress Status

28年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

28年度が最終年度であるため、記入しない。

Causes of Carryover

28年度が最終年度であるため、記入しない。

Expenditure Plan for Carryover Budget

28年度が最終年度であるため、記入しない。

Research Products

(9 results)

All 2016

All Journal Article (3 results) (of which Peer Reviewed: 3 results,  Acknowledgement Compliant: 1 results) Presentation (6 results) (of which Int'l Joint Research: 3 results)

  • [Journal Article] Design of a 300 GHz Band TWT with a Folded Waveguide Fabricated by Microelectromechanical Systems2016

    • Author(s)
      K. Tsutaki, Y. Neo, H. Mimura, N. Masuda, and M. Yoshida
    • Journal Title

      J. Infrared Milli, Terahz. Waves

      Volume: 37 Pages: 1166-1172

    • DOI

      10.1007/s10762-016-0306-5

    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Beam profile measurement of volcano-structured double-gate Spindt-type field emitter arrays2016

    • Author(s)
      M. Nagao, Y. Gotoh, Y. Neo, and H. Mimura
    • Journal Title

      J. Vac. Sci. Technol. B

      Volume: 34 Pages: 02G108-1-6

    • DOI

      10.1116/1.4944453

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Electron emission properties of gated silicon field emitter array driven by laser pulses2016

    • Author(s)
      H. Shimawaki, Y. Neo, H. Mimura, M. Nagao, F. Wakaya, and M. Takai
    • Journal Title

      Appl. Phys. Lett.

      Volume: 109 Pages: 183106-1-3

    • DOI

      10.1063/1.4967008

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] シリコンフィールドエミッタの光応答特性の評価(その2)2016

    • Author(s)
      嶋脇秀隆、長尾昌善、根尾陽一郎、三村秀典、若家冨士夫、高井幹夫
    • Organizer
      電子情報通信学会技術報告
    • Place of Presentation
      三重大学(三重県津市)
    • Year and Date
      2016-10-25 – 2016-10-26
  • [Presentation] NEA-GaASホトカソードからのパルスビーム診断2016

    • Author(s)
      吉武亮、光野圭吾、増澤 智昭、畑中 義式、細田誠、根尾 陽一郎、三村 秀典
    • Organizer
      電子情報通信学会技術研究報告
    • Place of Presentation
      三重大学(三重県津市)
    • Year and Date
      2016-10-25 – 2016-10-26
  • [Presentation] Characterization of GaAs photocathode utilizing negative electron affinity2016

    • Author(s)
      T. Matsuzawa, K. Mitsuno, Y. Hatanaka, Y. Neo, and H. Mimura
    • Organizer
      15th International Conference Global Research and Education
    • Place of Presentation
      Warsaw University of Technology(Warsaw, Poland)
    • Year and Date
      2016-09-26 – 2016-09-28
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Fast pulse electron beam generated from NEA-GaAs photocathode2016

    • Author(s)
      R. Yoshitake, Y. Neo, Y. Hatanaka, M. Hosoda, and H. Mimura
    • Organizer
      15th International Conference Global Research and Education
    • Place of Presentation
      Warsaw University of Technology(Warsaw, Poland)
    • Year and Date
      2016-09-26 – 2016-09-28
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] GaAs負性親和力カソードの応答特性2016

    • Author(s)
      光野圭吾、増澤智昭、畑中義式、根尾陽一郎、三村秀典
    • Organizer
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      朱鷺メッセ(新潟県新潟市)
    • Year and Date
      2016-09-13 – 2016-09-16
  • [Presentation] Field emission from gated silicon field emitter array induced by sub-nanosecond laser pulses2016

    • Author(s)
      H. Shimawaki, Y. Neo, H. Mimura, M. Nagao, F. Wakaya, and M. Takai
    • Organizer
      29th International Vacuum Nanoelectronics Conference
    • Place of Presentation
      University of British Columbia(Vancouver, Canada)
    • Year and Date
      2016-07-11 – 2016-07-15
    • Int'l Joint Research

URL: 

Published: 2018-01-16  

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