2015 Fiscal Year Research-status Report
表面層深さ方向の迅速評価が可能な回転楕円面鏡全反射ラマン散乱光学系の開発
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26420004
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| Research Institution | Akita University |
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Principal Investigator |
山口 誠 秋田大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (90329863)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
川手 悦男 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 文理学部, 研究員 (80344216) [Withdrawn]
相浦 義弘 国立研究開発法人産業技術総合研究所, その他部局等, 研究員 (80356328)
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| Project Period (FY) |
2014-04-01 – 2017-03-31
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| Keywords | ラマン散乱 / 全反射 / 楕円面鏡 / 加工変質層 / 分光分析 / 材料評価 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
様々な機能性を付与するための製膜技術の発展に伴い，極表面層の評価が課題としてあげられる．ラマン分光法は非破壊・非接触・大気中で測定可能という利点を有することから注目されているが，吸収係数の小さな試料ではラマン励起光が試料内部まで侵入することから，表面層のみからの信号を得ることが困難であることが課題である．ラマン分光法による深さ方向の情報を選択できる評価法の確立を目指している．本研究では，エバネッセント波の浸み出しを利用した極表層部のラマンスペクトルを測定する全反射法に着目し，複数の回転楕円体面鏡からなる入射・集光光学系により入射角度連続可変で全散乱角度同時計測可能な光学システムの作製を行う．今年度は，内部多重反射問題とMagnification問題を克服した構造の回転楕円面鏡光学系の評価として，金属ミラーおよびプリズムの反射率の偏光，入射角度依存性の測定を行った．さらに，ラマン分光測定のための，励起レーザの導入を行い，ラマン散乱測定のための光学系の構築に取り組んだ．光学系の構築と平行して，表面層に特徴的な構造をもつ試料として，イオン打ち込みを行ったダイヤモンド，機械的微小押し込みをした半導体表面をラマン散乱による評価を行った．
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.
Reason
回転楕円面鏡光学系の構築，基礎的検討，ラマン励起光の導入，楕円面鏡システムから分光系への設計，および表面層に構造のある試料の評価を行うことができた．
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| Strategy for Future Research Activity |
マルチチャンネル分光器接続とシステムの信頼性の評価，全反射ラマンスペクトルの解析法の確立を計画に従い遂行していく予定である．
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| Causes of Carryover |
予定していた研究打合せが延期となったため．
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| Expenditure Plan for Carryover Budget |
延期された打合せのための旅費として使用する計画である．
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