深さ方向非破壊分析のための相関光音響イメージング法の開発研究

1986 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 61840018
• Research Institution: University of Tsukuba
• Principal Investigator: 杉谷 嘉則 筑大, 化学系, 助教授 (80015552)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 渡辺 秀夫 東洋曹逹株式会社, 科学計測事業部, 企画開発部次長 ; 橋本 勉 東洋曹逹株式会社, 取締役研究副本部長, 取締役 ; 加藤 健次 化学技術研究所, 分析部, 研究員
• Keywords: 光音響分光法 / 相関技法 / イメージング / 非破壊分析

Research Abstract

本年度は当研究の初年度であり、主として測定装置系を充実する作業を行った。まず、空気バネ式の光学実験台を調達し(これは別の研究費によるもの)、この上でイメージングの実験が行えるようにすべての装置(光学系)を配列した。色素レーザーがやや遅れ気味ではあったが、無事納入され、既存のアルゴンイオンレーザー励起により発振することを確認した。アルゴンイオンレーザーは現在、シングルモード発振に調整されており、このままで使用すると負担が重く、レーザー管の寿命を短縮する畏れがあるので、これを近々にオールラインモード発振に調整しなおす予定である。
イメージングを実行するに当り、XYステージを設計し、電気的に制御する回路系を製作した。また、そのためのソフトウエアも準備し、ほぼ満足の行く段階にまで完成された。本来の計画ではこのソフトウエアをアセンブラー言語で作成する予定であったが、シグナルアナライザーを利用することにより、より簡便にFFTの相関演算を実行する(この装置による演算はハードウエア方式であり、計算速度が速い)方途を手にすることができたので、急拠こちらの方式を採用することにした。
モデル試料を用いて簡単なイメージングの実験を行った。分解能は約10μ(画素の一辺)程度で未だ十分とはいえないが、これでも、いろいろな実用試料に応用できると思われる。深さ方向の層別イメージングも、いくつかのモデル試料と鉱物試料について行い、良好な結果を得ることができた。

Research Products

• [Publications] E.Tokizaki;Y.Sugitani;K.Nagashima: Materials Research Bulletin. 21. 231-236 (1986)
• [Publications] A.Uejima;F.Itoga;Y.Sugitani: Analytical Sciences. 2. 113-117 (1986)
• [Publications] 秋本順二,上島晃智,杉谷嘉則: 鉱物学雑誌. 17. 159-168 (1986)
• [Publications] A.Uejima;M.Habiro;F.Itoga;Y.Sugitani;K.Kato: Analytical Sciences. 2. 389-340 (1986)
• [Publications] M.Habiro;Y.Sugitani: Analytical Sciences. 3. 3-5 (1987)
• [Publications] I.Nakai;J.Akimoto;M.Imafuku;R.Miyawaki;Y.Sugitani;K.Kato: Physics and Chemistry Of Minerals.