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人の触覚受容器構造を規範としたMEMS触覚センサ

研究課題

研究課題/領域番号 24656162
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 知能機械学・機械システム
研究機関東京大学

研究代表者

松本 潔  東京大学, IRT研究機構, 教授 (10282675)

研究期間 (年度) 2012-04-01 – 2015-03-31
研究課題ステータス 完了 (2014年度)
配分額 *注記
3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2014年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2013年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2012年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
キーワード触覚センサ / カンチレバー / マイクロデバイス / MEMS / 人間機械システム / せん断力
研究成果の概要

本研究では、人の触覚受容器の構造を規範とした、幅広いダイナミックレンジを持つMEMS触覚センサの研究開発を行った。シリコーンオイル中にピエゾ抵抗カンチレバーを封止した触覚センサは、力に対して微分的な応答を示し、微小な力の変動成分を高感度に検出することができた。ピラミッド構造やバンプ形状を持つ触覚センサでは、小さな力では高感度、大きな力に対しては低感度という特性を示した。これらの特性は人の触覚の特性と同様であり、力検出のダイナミックレンジの拡大に有効である。

報告書

(4件)
  • 2014 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2013 実施状況報告書
  • 2012 実施状況報告書
  • 研究成果

    (7件)

すべて 2015 2014 2013

すべて 学会発表 (7件)

  • [学会発表] FUSION OF CANTILEVER AND DIAPHRAGM PRESSURE SENSORS ACCORDING TO FREQUENCY CHARACTERISTICS2015

    • 著者名/発表者名
      Ryo Watanabe
    • 学会等名
      The 28th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2015
    • 発表場所
      Estoril, PORTUGAL
    • 年月日
      2015-01-18 – 2015-01-22
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] MULTI-AXIS FORCE SENSOR WITH DYNAMIC RANGE UP TOULTRASONIC2014

    • 著者名/発表者名
      Pham Quang-Khang
    • 学会等名
      MEMS2014
    • 発表場所
      San Francisco, USA
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] THREE-DIMENSIONAL TACTILE SENSOR WITH A CAVITY UNDERNEATH PIEZORESISTIVE CANTILERVERS FOR SENSITIVITY ENHANCEMENT2013

    • 著者名/発表者名
      Nguyen Thanh-Vinh
    • 学会等名
      センサ・マイクロマシンと応用システム
    • 発表場所
      仙台国際センター、宮城
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] イオン性液体を用いたフレキシブル三軸力センサ2013

    • 著者名/発表者名
      野田堅太郎
    • 学会等名
      センサ・マイクロマシンと応用システム
    • 発表場所
      仙台国際センター、宮城
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] HIGH SENSITIVE 3D TACTILE SENSOR WITH THE STRUCTURE OF ELASTIC PYRAMIDS ON PIEZORESISTIVE CANTILEVERS2013

    • 著者名/発表者名
      N. Thanh-Vinh, N. Binh-Khiem, K. Matsumoto, and I. Shimoyama
    • 学会等名
      The 26th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS '13)
    • 発表場所
      台北(中華民国)
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] STRETCHABLE FORCE SENSOR ARRAY USING CONDUCTIVE LIQUID2013

    • 著者名/発表者名
      K.Noda, K. Matsumoto, and I. Shimoyama
    • 学会等名
      The 26th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS '13)
    • 発表場所
      台北(中華民国)
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] HIGHLY SENSITIVE PRESSURE SENSOR USING A GOLD-COATED ELASTIC PYRAMID ARRAY PRESSING ON A RESISTOR2013

    • 著者名/発表者名
      N. Thanh-Vinh, K. Matsumoto, and I. Shimoyama
    • 学会等名
      The 26th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS '13)
    • 発表場所
      台北(中華民国)
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書

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公開日: 2013-05-31   更新日: 2019-07-29  

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