| Project/Area Number |
16K06041
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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| Allocation Type | Multi-year Fund |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Design engineering/Machine functional elements/Tribology
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| Research Institution | Tokyo Institute of Technology |
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Principal Investigator |
Eom Sang In 東京工業大学, 科学技術創成研究院, 助教 (20551576)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
吉田 和弘 東京工業大学, 科学技術創成研究院, 教授 (00220632)
金 俊完 東京工業大学, 科学技術創成研究院, 准教授 (40401517)
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| Project Period (FY) |
2016-04-01 – 2019-03-31
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2018)
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| Budget Amount *help |
¥4,680,000 (Direct Cost: ¥3,600,000、Indirect Cost: ¥1,080,000)
Fiscal Year 2018: ¥1,040,000 (Direct Cost: ¥800,000、Indirect Cost: ¥240,000)
Fiscal Year 2017: ¥2,210,000 (Direct Cost: ¥1,700,000、Indirect Cost: ¥510,000)
Fiscal Year 2016: ¥1,430,000 (Direct Cost: ¥1,100,000、Indirect Cost: ¥330,000)
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| Keywords | 誘電エラストマーアクチュエータ / 蠕動マイクロポンプ / 能動マイクロミキサー / MEMS / UV硬化性 / 機械要素 |
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| Outline of Final Research Achievements |
A peristaltic micropump using dielectric elastomer (DE) actuators is proposed and a DE actuator is developed. In this research, we propose a novel MEMS process that enables us to place multiple DE actuators on the microchannel. In order to fabricate a DE actuator using a MEMS technology, UV curable materials for both compliant electrodes and DE were selected. We fabricated a diaphragm-type DE actuator using UV curable PEDOT:PSS and PDMS and its performances were evaluated.
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| Academic Significance and Societal Importance of the Research Achievements |
MEMS技術を応用して積層ダイヤフラム形誘電エラストマーアクチュエータを製作することで，マイクロ化したアクチュエータの大量生産が可能になる．また，積層して多段階化したアクチュエータを用いて蠕動マイクロポンプと高機能能動マイクロミキサーを実現し，μ-TASデバイスに内蔵することで安価で高性能のμ-TAS用デバイスが実現可能になり，生化学分野等の発展への貢献が期待できる．
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