Development of High?precision and High-ef icient Finishing Process of Over Meter Size Photomask Substrate for LCD

• Project/Area Number: 18206017
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Section: 一般
• Research Field: Production engineering/Processing studies
• Research Institution: Osaka University
• Principal Investigator: MORI Yuzo Osaka University, 名誉教授 (00029125)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): YAMAMURSA Kazuya 大阪大学, 大学院工学研究科, 准教授 (60240074) ; SANO Yashuhisa 大阪大学, 大学院工学研究科, 准教授 (40252598)
• Project Period (FY): 2006 – 2008
• Project Status: Completed (Fiscal Year 2008)
• Budget Amount: ¥47,450,000 (Direct Cost: ¥36,500,000、Indirect Cost: ¥10,950,000); Fiscal Year 2008: ¥7,670,000 (Direct Cost: ¥5,900,000、Indirect Cost: ¥1,770,000); Fiscal Year 2007: ¥17,680,000 (Direct Cost: ¥13,600,000、Indirect Cost: ¥4,080,000); Fiscal Year 2006: ¥22,100,000 (Direct Cost: ¥17,000,000、Indirect Cost: ¥5,100,000)
• Keywords: 液晶 / フォトマスク基板 / ウエットエッチング / 平坦度 / ローカルウエットエッチング / 数値制御加工 / 石英ガラス / プラズマ加工 / 精密研磨 / リソグラフィー

Research Abstract

局所的な液相エッチング領域を加工対象物の表面上において速度制御して走査することにより、平面基板の平坦度を向上させる数値制御ローカルウエットエッチング法を開発した。本研究では、液晶ディスプレイ作製用の大型フォトマスク基板の高能率・高精度加工を目的として直径125mmの大口径ノズルヘッドならびに2段階修正加工プロセスを開発し、1辺の長さが1mを超える超大型基板を実用的な加工時間で目標とする10μm以内の平坦度を達成する目途を得た。

Research Products

• [Journal Article] Figuring of Elliptical Neutron Focusing Mirror Using Numerically Controlled Local Wet Etching (2009)
  • Author(s): Mikinori Nagano, Hiroyuki Takai, Kazu ya Yamamura, Dai Yamazaki, Ryuji Maruyama, Kazuhiko Soyama
  • Journal Title: Key Engineering Materials 407-408 Pages: 376-379
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Figuring of Elliptical Neutron Focusing Mirror Using Numerically Controlled Local Wet Etching (2009)
  • Author(s): Mikinori Nagano, et al.
  • Journal Title: Key Engineering Materials 407-408 Pages: 376-379
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Figuring of elliptical hard X-ray focusing mirror using 1-dimensional numerically controlled local wet etching (2008)
  • Author(s): Kazuya Yamamura, Hiroyuki Takai
  • Journal Title: Surf. Interface Anal. 40 Pages: 1014-1018
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Figuring of elliptical hard X-ray focusing mirror using 1-dimensional numerically controlled local wet etching (2008)
  • Author(s): K. Yamamura, et al.
  • Journal Title: Surf. Interface Anal. 40 Pages: 1014-1018
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Fabrication of Ultra Precisi on Optics by Numerically Controlled Local Wet Etching (2007)
  • Author(s): Kazuya Yamamura
  • Journal Title: Annals of the CIRP 56 Pages: 541-544
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Development of numeric ally controlled local wet etching (2007)
  • Author(s): Kazuya Yamamura
  • Journal Title: Science and Technology of Advanced Materials 8 Pages: 158-161
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Development of numerically controlled local wet etching (2007)
  • Author(s): Kazuya Yamamura
  • Journal Title: Science and Technology of Advanced Materials 8 Pages: 158-161
  • NAID: 130004658449
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Fabrication of Ultra Precision Optics by Numerically Controlled Local Wet Etching (2007)
  • Author(s): Kazuya Yamamura
  • Journal Title: Annals of the CIRP 56 Pages: 541-544
  • Peer Reviewed
• [Presentation] ローカルウエットエッチングにより加工した表面の評価-加工後表面の表面粗さ悪化の原因解明- (2008)
  • Author(s): 永野幹典, 他
  • Organizer: 2008年度精密工学会秋季大会学術講演会
  • Place of Presentation: 東北大学(仙台)
  • Year and Date: 2008-09-17
• [Presentation] Figuring of ultraprecision aspherical focusing mirror using numerically controlled local wet etching (2008)
  • Author(s): K. Yamamura, H. Takai
  • Organizer: 10th Anniversary International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology
  • Place of Presentation: Zurich, Switzerland
• [Presentation] 数値制御ローカルウエットエッチッングによる中性子集光用楕円面ミラー作製プロセスの開発 (2007)
  • Author(s): 高井宏之, 山村和也, 丸山龍治, 山崎大, 曽山和彦
  • Organizer: 日本中性子科学会第7回年回
  • Place of Presentation: 福岡市、福岡県
  • Year and Date: 2007-11-28
• [Presentation] Improvement of Thickness Distribution of SOI Using Numerically Controlled Local Wet Etching (2007)
  • Author(s): T. Mitani and K. Yamamura
  • Organizer: Asian Symposium for Precision Engineering and Nanotechnology 2007
  • Place of Presentation: Gwangju, Korea
  • Year and Date: 2007-11-07
• [Presentation] 数値制御ローカルウエットエッチング法を用いたSOIの膜厚均一化加工 -フッ硝酸を用いたSiの加工特性- (2007)
  • Author(s): 三谷卓朗, 山村和也
  • Organizer: 2007年度精密工学会秋季大会学術講演会
  • Place of Presentation: 旭川市、北海道
  • Year and Date: 2007-09-13
• [Presentation] 数値制御ローカルウエットエッチング法による高精度光学素子の作製 -5軸制御NC加工装置の試作- (2007)
  • Author(s): 高井宏之, 山村和也
  • Organizer: 2007年度精密工学会秋季大会学術講演会
  • Place of Presentation: 旭川市、北海道
  • Year and Date: 2007-09-13
• [Presentation] Fabrication of Ultra Precision Optics by Numerically Controlled Local Wet Etching (2007)
  • Author(s): K. Yamamura
  • Organizer: 57th CIRP General Assembly
  • Place of Presentation: Dresden, Germany
  • Year and Date: 2007-08-20
• [Presentation] 数値制御ローカルウエットエッチング(Numerically Controlled Local Wet Etching)法による高精度光学素子の作製 (2007)
  • Author(s): 高井宏之, 三谷卓朗, 山村和也
  • Organizer: 精密工学会2007年度関西地方定期学術講演会
  • Place of Presentation: 大東市、大阪府
  • Year and Date: 2007-08-09
• [Presentation] 数値制御ローカルウエットエッチング(Numerically Controlled Local Wet Etching)法を用いたSOIの膜厚均一化加工-エッチャント組成比の最適化- (2007)
  • Author(s): 三谷卓朗, 山村和也
  • Organizer: 精密工学会2007年度関西地方定期学術講演会
  • Place of Presentation: 大東市、大阪府
  • Year and Date: 2007-08-09
• [Presentation] Figuring of Elliptical Hard X-ray Focusing Mirror Using Numerically Controlled Local Wet Etching (2007)
  • Author(s): Hiroyuki Takai and Kazuya Ymamura
  • Organizer: Asian Symposium for Precision Engineering and Nanotechnology 2007
  • Place of Presentation: Gwangju, Korea
• [Presentation] Fabrication of Ultra Precisi on Optics by Numerically Controlled Local Wet Etching (2007)
  • Author(s): K. Yamamura
  • Organizer: 57th CIRP General Assembly
  • Place of Presentation: Dresden, Germany
• [Presentation] ローカルウエットエッチングにより加工した表面の評価 -加工後表面の表面粗さ悪化の原因解明-
  • Author(s): 永野幹典, 高井宏之, 是津信之, 山村和也
  • Organizer: 2008年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
• [Presentation] ローカルウエットエッチングにより加工した表面の評価 -加工後残留物による表面粗さへの影響-
  • Author(s): 永野幹典, 是津信行, 山村和也
  • Organizer: 精密工学会2008年度関西地方定期学術講演会講演論文集
• [Presentation] 数値制御ローカルウエットエッチング法による高精度光学素子の作製 -5軸制御NC加工装置の試作-
  • Author(s): 高井宏之, 山村和也
  • Organizer: 2007年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
• [Presentation] 数値制御ローカルウエットエッチング(Numerically Controlled Local Wet Etching)法による高精度光学素子の作製
  • Author(s): 高井宏之, 三谷卓朗, 山村和也
  • Organizer: 精密工学会2007年度関西地方定期学術講演会講演論文集
• [Book] 月刊ディスプレイ2009年1月号、ローカルウエットエッチング法による超精密非接触加工 (2009)
  • Author(s): 山村和也(分担執筆)
  • Total Pages: 5
  • Publisher: (株)テクノタイムズ社
• [Book] サイエンス&テクノロジー (2008)
  • Author(s): 山村和也
  • Publisher: 第1章第10節 ローカルウェットエッチング法による光学素子の高精度加工, ウエットエッチングのメカニズムと処理パラメータの最適化
• [Book] 第1章第10節 ローカルウエットエッチング法による光学素子の高精度加工, ウエットエッチングのメカニズムと処理パラメータの最適化 (2008)
  • Author(s): 山村和也(分担執筆)
  • Total Pages: 15
  • Publisher: サイエンス&テクノロジー(株)
• [Patent(Industrial Property Rights)] 加工ヘッドおよびこの加工ヘッドを用いた加工方法 (2007)
  • Inventor(s): 山村和也、岡村敏彦、浅野睦己
  • Industrial Property Rights Holder: 東ソー(株)
  • Industrial Property Number: 2007-157998
  • Filing Date: 2007-06-14
• [Patent(Industrial Property Rights)] 表面加工方法および表面加工装置 (2007)
  • Inventor(s): 山村和也、岡村敏彦、浅野睦己
  • Industrial Property Rights Holder: 東ソー(株)
  • Industrial Property Number: 2007-157999
  • Filing Date: 2007-06-14
• [Patent(Industrial Property Rights)] 表面加工方法および表面加工装置 (2007)
  • Inventor(s): 山村和也、岡村敏彦、浅野睦己
  • Industrial Property Rights Holder: 東ソー(株)
  • Industrial Property Number: 2007-158000
  • Filing Date: 2007-06-14
• [Patent(Industrial Property Rights)] 表面加工方法および表面加工装置 (2007)
  • Inventor(s): 山村和也、岡村敏彦、浅野睦己
  • Industrial Property Rights Holder: 国立大学法人大阪大学東ソー(株)
  • Industrial Property Number: 2007-184393
  • Filing Date: 2007-07-13
• [Patent(Industrial Property Rights)] 表面加工装置の平板状被加工物の垂直保持装置および表面加工装置 (2007)
  • Inventor(s): 山村和也、岡村敏彦、浅野睦己
  • Industrial Property Rights Holder: 東ソー(株)
  • Industrial Property Number: 2007-312538
  • Filing Date: 2007-12-03