Direct pattering of oxide films by surface discharge technique

• Project/Area Number: 19560725
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Section: 一般
• Research Field: Material processing/treatments
• Research Institution: Shizuoka University
• Principal Investigator: OKUYA Masayuki Shizuoka University, 工学部, 准教授 (00293605)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): MURAKAMI Kenji 静岡大学, 電子工学研究所, 准教授 (30182091)
• Project Period (FY): 2007 – 2008
• Project Status: Completed (Fiscal Year 2008)
• Budget Amount: ¥4,680,000 (Direct Cost: ¥3,600,000、Indirect Cost: ¥1,080,000); Fiscal Year 2008: ¥1,820,000 (Direct Cost: ¥1,400,000、Indirect Cost: ¥420,000); Fiscal Year 2007: ¥2,860,000 (Direct Cost: ¥2,200,000、Indirect Cost: ¥660,000)
• Keywords: 沿面放電 / プラズマ / ダイレクトパターニング / 酸化亜鉛 / 薄膜 / プラズマ処理 / レーザー加工

Research Abstract

本研究では平面プラズマを利用したナノ構造物の形成および薄膜のダイレクトパターニング形成を試みる。プラズマは局所的に平面状に照射させることができ、基板自体は加熱されない特徴があるため、プラスチック等の低融点基板への適用も可能である。具体的には、有機・無機金属塩やコロイドをテンプレート用基板に塗布後、放電電極と重ねてプラズマを照射することで、照射部分のみを結晶化させる。未反応部分を水で洗浄後、電極と同じパターン化された膜が残留してダイレクトパターニング製膜が完成する。

Research Products

• [Journal Article] Comparative Evolved Gas Analyses of Crystalline and Amorphous Titanium (IV) oxohydroxo- acetylacetates by TG-FTIR and TG/DTA-MS (2009)
  • Author(s): J.Madarasz、S.Kaneko、M.Okuya、G.Pokol
  • Journal Title: Thermochemica Acta Vol.489 Pages: 37-44
• [Journal Article] Photocatalytic Ability of TiO_2 Porous Film Prepared by Modified Spray Pyrolysis Deposition Technique (2009)
  • Author(s): O.Sugiyama、M.Okuya、S.Kaneko
  • Journal Title: J. Ceram. Soc. Jpn. Vol.117 Pages: 203-207
  • NAID: 110007044057
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Comparative Evolved Gas Analyses of Crystalline and Amorphous Titanium(IV)oxo-hydroxo-acetylacetates by TG-FTIR and TG/DTA-MS (2009)
  • Author(s): J. Madarasz, 他
  • Journal Title: Thermochemica Ada 489 Pages: 37-44
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Photocatalytic Ability of TiO_2 Porous Film Prepared by Modified Spray Pyrolysis Deposition Technique (2009)
  • Author(s): O. Sugiyama, 他
  • Journal Title: J. Ceram. Soc. Jpn. 117 Pages: 203-207
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Preparation of SnO_2 Transparent Conducting Films for Dye-Sensitized Solar Cells by SPD Technique (2008)
  • Author(s): M.Okuya、 K.Ohashi、T.Yamamoto、J.Madarasz
  • Journal Title: Electrochemistry Vol.76 Pages: 132-135
  • NAID: 10019916226
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Preparation of SnO_2 Transparent Conducting Films for Dye-Sensitized Solar Cells by SPD Technique (2008)
  • Author(s): M. Okuya, 他
  • Journal Title: Electrochemistry 76 Pages: 132-135
  • NAID: 10019916226
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] ITO thin films prepared by a microwave heating (2007)
  • Author(s): M.Okuya、N.Ito、K.Shiozaki
  • Journal Title: Thin Solid Films Vol.515 Pages: 8656-8659
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] TG/DTA-EGA-MS studies on titania precursors with low content of organics for porous thin films of TiO_2 (2007)
  • Author(s): J.Madarasz、M.Okuya、P.Varga、S.Kaneko、G.Pokol
  • Journal Title: J. Anal. Appl. Pyrol Vol.79 Pages: 479-483
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Preparation of oxide films by surface discharge technique (2007)
  • Author(s): Y.Sonohara、Y.Shibayama、K.Kusama、M.Okuya
  • Journal Title: Proc. The 24 Japan-Korea International Seminar on Ceramics Pages: 445-448
  • NAID: 130006979279
• [Journal Article] ITO thin film prepared by a microwave heating (2007)
  • Author(s): K.Shinohara、K.Shiozaki、M.Okuya
  • Journal Title: Proc. The 24 Japan-Korea International Seminar on Ceramics Pages: 449-452
• [Journal Article] PreParation of oxide films by surface discharge technique (2007)
  • Author(s): Y.Sonohara, 他
  • Journal Title: Proc.The 24 Japan-Korea International Seminar on Ceramics Pages: 445-448
• [Journal Article] ITO thin films prepared by a microwave heating (2007)
  • Author(s): MOkuya, 他
  • Journal Title: Thin Solid Films 515 Pages: 8656-8659
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] ITO thin film prepared by a microwave heating (2007)
  • Author(s): K.Shinohara, 他
  • Journal Title: Proc.The 24 Japan-Korea International Seminar on Ceramics Pages: 449-452
• [Presentation] コプラナー型沿面放電による酸化物薄膜の形成 (2009)
  • Author(s): 柴山, 他
  • Organizer: 第56回応用物理学関連連合講演会
  • Place of Presentation: 筑波大
  • Year and Date: 2009-04-02
• [Presentation] 沿面プラズマによる酸化物薄膜の作製 (2009)
  • Author(s): 奥谷, 他
  • Organizer: 静岡大学薄膜基板研究懇話会第12回研究発表会
  • Place of Presentation: 静岡大
  • Year and Date: 2009-02-06
• [Presentation] コプラナープラズマ放電による酸化物薄膜の形成 (2009)
  • Author(s): 柴山, 他
  • Organizer: 第47回セラミックス基礎科学討論会
  • Place of Presentation: 大阪市
  • Year and Date: 2009-01-09
• [Presentation] 沿面プラズマによる常温大気圧下での酸化物薄膜のダイレクトパターニング (2009)
  • Author(s): 柴山, 他
  • Organizer: 第56回応用物理学関連連合講演会
  • Place of Presentation: 筑波大
• [Presentation] TG-FTIR およびTG/DTA-MSによる結晶及びアモルファスのチタン(IV)オキソアセチルアセテートの熱分解反応に関する考察 (2009)
  • Author(s): Madarasz, 他
  • Organizer: 日本化学会第89回春季年会
  • Place of Presentation: 日大船橋
• [Presentation] コプラナー型プラズマ電極の最適化と酸化物薄膜の形成 (2009)
  • Author(s): 柴山, 他
  • Organizer: 日本セラミックス協会2009年年会
  • Place of Presentation: 東理大
• [Presentation] 沿面プラズマによる酸化物薄膜の作製 (2009)
  • Author(s): 奥谷
  • Organizer: 静岡大学薄膜基板研究懇話会第12回研究発表会
  • Place of Presentation: 浜松
• [Presentation] マイクロ波加熱による透明導電性薄膜の作製 (2009)
  • Author(s): 高橋, 他
  • Organizer: 第47回セラミックス基礎科学討論会
  • Place of Presentation: 大阪
• [Presentation] コプラナープラズマ放電による酸化物薄膜の形成 (2009)
  • Author(s): 柴山, 他
  • Organizer: 第47回セラミックス基礎科学討論会
  • Place of Presentation: 大阪
• [Presentation] Preparation of ZnO films by a coplanar plasma discharge technique (2008)
  • Author(s): Y. Shibayama, 他
  • Organizer: IUMRS-ICA 2008
  • Place of Presentation: 名古屋市
  • Year and Date: 2008-12-11
• [Presentation] コプラナー放電による酸化物薄膜の形成 (2008)
  • Author(s): 柴山, 他
  • Organizer: 日本セラミックス協会第21回秋季シンポジウム
  • Place of Presentation: 北九州市
  • Year and Date: 2008-09-18
• [Presentation] 沿面放電による酸化物薄膜の大気圧低温形成 (2008)
  • Author(s): 園原 揚介, 他
  • Organizer: 第55回応用物理学関係連合講演会
  • Place of Presentation: 日大船橋
  • Year and Date: 2008-03-27
• [Presentation] 沿面放電の制御と酸化物薄膜の低温形成への応用 (2008)
  • Author(s): 園原 揚介, 他
  • Organizer: 日本セラミックス協会2008年年会
  • Place of Presentation: 長岡技科大
  • Year and Date: 2008-03-20
• [Presentation] Preparation of ZnO films by a coplanar plasma discharge technique (2008)
  • Author(s): Shibayam, 他
  • Organizer: IUMRS-ICA 2008
  • Place of Presentation: Nagoya、Japan
• [Presentation] ZnO thin film prepared by a microwave heatinge (2008)
  • Author(s): Takahashi, 他
  • Organizer: IUMRS-ICA 2008
  • Place of Presentation: Nagoya、Japan
• [Presentation] コプラナー放電による酸化物薄膜の形成 (2008)
  • Author(s): 柴山, 他
  • Organizer: 日本セラミックス協会第21回秋季シンポジウム
  • Place of Presentation: 北九州
• [Presentation] 沿面放電による常温大気圧下での酸化物薄膜のダイレクトパターンニング (2008)
  • Author(s): 鹿谷, 他
  • Organizer: 2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会
  • Place of Presentation: 中部大
• [Presentation] 沿面放電による酸化物薄膜の大気圧低温形成 (2008)
  • Author(s): 園原, 他
  • Organizer: 2008 年春季第55回応用物理学関係連合講演会
  • Place of Presentation: 日大船橋
• [Presentation] 沿面放電の制御と酸化物薄膜の低温形成への応用 (2008)
  • Author(s): 園原, 他
  • Organizer: 日本セラミックス協会2008年年会
  • Place of Presentation: 長岡技大
• [Presentation] reparation of oxide films by surface discharge technique (2007)
  • Author(s): Y.Sonohara, 他
  • Organizer: The 24 Japan-Korea International Seminar on Ceramics
  • Place of Presentation: つま恋(掛川市)
  • Year and Date: 2007-11-20
• [Presentation] ITO thin film prepared by a microwave heating (2007)
  • Author(s): K.Shinohara, 他
  • Organizer: The 24 Japan-Korea International Seminar on Ceramics
  • Place of Presentation: っま恋(掛川市)
  • Year and Date: 2007-11-20
• [Presentation] 沿面放電を利用した酸化物透明導電膜の作製 (2007)
  • Author(s): 園原 揚介, 他
  • Organizer: 日本セラミックス協会第20回秋季シンポジウム
  • Place of Presentation: 名古屋工大
  • Year and Date: 2007-09-12
• [Presentation] ITO thin film prepared by a microwave heating (2007)
  • Author(s): Shinohara, 他
  • Organizer: The 24 Japan-Korea International Seminar on Ceramics
  • Place of Presentation: Kakegawa、Japan
• [Presentation] Preparation of oxide films by surface discharge technique (2007)
  • Author(s): Sonohara, 他
  • Organizer: The 24 Japan-Korea International Seminar on Ceramics
  • Place of Presentation: Kakegawa、Japan
• [Presentation] 沿面放電を利用した酸化物透明導電膜の作製 (2007)
  • Author(s): 園原, 他
  • Organizer: 日本セラミックス協会第20回秋季シンポジウム
  • Place of Presentation: 名工大
• [Presentation] マイクロ波加熱による薄膜作製 (2007)
  • Author(s): 篠原, 他
  • Organizer: 日本セラミックス協会関東支部第23回研究発表会
  • Place of Presentation: 山梨
• [Book] 色素増感太陽電池の最新情報 II 基礎編 第4章色素増感太陽電池の導電性基板(2) (2007)
  • Author(s): 奥谷, 他
  • Publisher: (株)シーエムシー
• [Remarks]
  • URL: http://www.h4.dion.ne.jp/~okuya/
• [Remarks]
  • URL: http://www.h4.dion.ne.jp/~okuya/
• [Remarks]
  • URL: http://www.h4.dion.ne.jp/~okuya/
• [Patent(Industrial Property Rights)] 溶液層の処理方法 (2007)
  • Inventor(s): 八木績、奥谷昌之
  • Industrial Property Rights Holder: 株式会社河合楽器製作所
  • Industrial Property Number: 2007-232212
  • Filing Date: 2007-09-07
• [Patent(Industrial Property Rights)] 透明導電層の形成方法及び積層構造体の形成方法 (2007)
  • Inventor(s): 八木績、奥谷昌之
  • Industrial Property Rights Holder: 株式会社河合楽器製作所
  • Industrial Property Number: 2007-210769
  • Filing Date: 2007-08-13
• [Patent(Industrial Property Rights)] 透明導電層の形成方法及び積層構造体の形成方法 (2007)
  • Inventor(s): 八木 績, 奥谷 昌之
  • Industrial Property Rights Holder: (株)河合楽器製作所
  • Industrial Property Number: 2007-210769
  • Filing Date: 2007-08-13
• [Patent(Industrial Property Rights)] 溶液層の処理方法 (2007)
  • Inventor(s): 八木 績, 奥谷 昌之
  • Industrial Property Rights Holder: (株)河合楽器製作所
  • Industrial Property Number: 2007-232212
  • Filing Date: 2007-09-07