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Preparation of CuInS_2 films by reactive-sputtering alternately Cu- and In-facing-targets

Research Project

Project/Area Number 20560292
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

Allocation TypeSingle-year Grants
Section一般
Research Field Electronic materials/Electric materials
Research InstitutionNiigata University

Principal Investigator

TSUBOI Nozomu  Niigata University, 自然科学系, 教授 (70217371)

Co-Investigator(Renkei-kenkyūsha) OISHI Koichirou  長岡工業高等専門学校, 機械工学科, 准教授 (90300558)
TANAKA Kuihiko  長岡技術科学大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 (30334692)
Project Period (FY) 2008 – 2010
Project Status Completed (Fiscal Year 2010)
Budget Amount *help
¥4,940,000 (Direct Cost: ¥3,800,000、Indirect Cost: ¥1,140,000)
Fiscal Year 2010: ¥650,000 (Direct Cost: ¥500,000、Indirect Cost: ¥150,000)
Fiscal Year 2009: ¥650,000 (Direct Cost: ¥500,000、Indirect Cost: ¥150,000)
Fiscal Year 2008: ¥3,640,000 (Direct Cost: ¥2,800,000、Indirect Cost: ¥840,000)
Keywords薄膜太陽電池 / カルコパイライト / スパッタ法 / 硫化銅インジウム / 太陽電池 / 薄膜 / 化合物半導体 / 多元系
Research Abstract

CuInS_2 films with various [Cu]/[In] ratios were deposited by sputtering alternatively Cu- and In-facing-targets under Ar-diluted CS_2 atmosphere. Composition of the films corresponded to the (Cu_xS)-(CuInS_2)-(CuIn_5S_8)-(In_2S_3) system line. Stoichiometric CuInS_2 films exhibited the absorption-edge corresponding to the energy-gap of CuInS_2. In CuInS_2 epitaxial films by multisource evaporation method, lattice strain as well as the [Cu]/[In] ratio was considered to be related with growth mechanism.

Report

(4 results)
  • 2010 Annual Research Report   Final Research Report ( PDF )
  • 2009 Annual Research Report
  • 2008 Annual Research Report
  • Research Products

    (38 results)

All 2011 2010 2009 2008

All Journal Article (5 results) (of which Peer Reviewed: 5 results) Presentation (33 results)

  • [Journal Article] Epitaxial Growth of Chalcopyrite-type CuInS2 Films on GaAs(001) Substrates by Evaporation Method with Elemental Sources2011

    • Author(s)
      N.Tsuboi, T.Tamogami, S.Kobayashi
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics Vol.50 in press.

    • NAID

      210000070514

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    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 50

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      status solidi (c) Vo1.6

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      R.M.Vequizo, N.Tsuboi, S.Kobayashi, K.Oishi, F.Kaneko
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      phys.Status solidi (c)c 6

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      Berlin Technical Univ.of Berlin.
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      春日井市,中部大学
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      春日井市, 中部大学
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      2008-09-02
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Published: 2008-04-01   Modified: 2016-04-21  

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