Development of a fast and accurate VLSI diagnostic method with a VLSI fault localization system

• Project/Area Number: 21560353
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Section: 一般
• Research Field: Electron device/Electronic equipment
• Research Institution: Osaka University
• Principal Investigator: MIURA Katsuyoshi 大阪大学, 大学院・情報科学研究科, 准教授 (30263221)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): MIDOH Yoshihiro 大阪大学, 情報科学研究科, 助教 (00448094)
• Project Period (FY): 2009 – 2011
• Project Status: Completed (Fiscal Year 2011)
• Budget Amount: ¥4,290,000 (Direct Cost: ¥3,300,000、Indirect Cost: ¥990,000); Fiscal Year 2011: ¥1,300,000 (Direct Cost: ¥1,000,000、Indirect Cost: ¥300,000); Fiscal Year 2010: ¥780,000 (Direct Cost: ¥600,000、Indirect Cost: ¥180,000); Fiscal Year 2009: ¥2,210,000 (Direct Cost: ¥1,700,000、Indirect Cost: ¥510,000)
• Keywords: 大規模集積回路 / 故障診断 / 故障解析 / シミュレーション / 走査レーザSQUID顕微鏡法 / L-SQ法 / レーザテラヘルツ波顕微鏡法 / LTEM法 / LSI / レーザSQUID顕微鏡 / L-SQ / レーザ誘起テラヘルツ波顕微鏡 / LTEM / 故障絞り込み / レーザ誘起テラヘルツ波顕鏡 / SPICE

Research Abstract

We speeded up the scanning laser SQUID microscope(L-SQ) image simulator and the laser terahertz emission microscope(LTEM) image simulator and developed VLSI diagnostic methods utilizing these simulators. The L-SQ image simulator became more the 100 times faster and the LTEM image simulator became about 10 times faster. The developed diagnostic method based on the L-SQ image simulator successfully localized a fault at the first rank. The LTEM image simulator based diagnostic method localized a fault into 8% area from the whole circuit.

Research Products

• [Presentation] 走査レーザSQUID顕微鏡およびLTEM複合故障箇所解析装置の為の故障データベースと故障絞り込み支援ソフトウェアの開発 (2011)
  • Author(s): 三浦克介
  • Organizer: 第31回LSIテスティングシンポジウム
  • Place of Presentation: 千里ライフサイエンスセンター(大阪府豊中市)
  • Year and Date: 2011-11-10
• [Presentation] LSI故障解析のためのレーザーテラヘルツエミッション顕微鏡THz波検出信号シミュレーション(II) (2011)
  • Author(s): 御堂義博
  • Organizer: 第31回LSIテスティングシンポジウム
  • Place of Presentation: 千里ライフサイエンスセンター(大阪府豊中市)
  • Year and Date: 2011-11-10
• [Presentation] 走査レーザSQUID顕微鏡およびLTEM複合故障箇所解析装置の為の故障データベースと故障絞り込み支援ソフトウェアの開発 (2011)
  • Author(s): 三浦克介, 御堂義博, 山下将嗣, 松本徹, 二川清, 中前幸治
  • Organizer: 第31回LSIテスティングシンポジウム会議録
• [Presentation] LSI故障解析のためのレーザーテラヘルツエミッション顕微鏡THz波検出信号シミュレーション(II) (2011)
  • Author(s): 御堂義博, 山下将嗣, 松本徹, 二川清, 中前幸治
  • Organizer: 第31回LSIテスティングシンポジウム会議録
• [Presentation] LSI故障解析のためのレーザーテラヘルツエミッション顕微鏡THz波検出信号シミュレーション (2010)
  • Author(s): 御堂義博
  • Organizer: 第30回LSIテスティングシセポジウム
  • Place of Presentation: 千里ライフサイエンスセンター(大阪府豊中市)
  • Year and Date: 2010-11-12
• [Presentation] 電流密度分布シミュレーションを用いた走査レーザSQUID顕微鏡によるVLSI診断法 (2010)
  • Author(s): 三浦克介
  • Organizer: 第30回LSIテスティングシンポジウム
  • Place of Presentation: 千里ライフサイエンスセンター(大阪府豊中市)
  • Year and Date: 2010-11-11
• [Presentation] 走査レーザSQUID顕微鏡によるシミュレーションを活用したVLSI故障絞り込み法 (2010)
  • Author(s): 三浦克介
  • Organizer: 電子情報通信学会総合大会
  • Place of Presentation: 東北大学川内キャンパス (宮城県仙台市)
  • Year and Date: 2010-03-19
• [Presentation] LTEMによるLSI故障解析のためのTHz波シミュレーション(II) (2010)
  • Author(s): 御堂義博
  • Organizer: 第57回応用物理学会関係連合講演会
  • Place of Presentation: 東海大学湘南キャンパス (神奈川県平塚市)
  • Year and Date: 2010-03-19
• [Presentation] 電流密度分布シミュレーションを用いた走査レーザSQUID顕微鏡によるVLSI診断法 (2010)
  • Author(s): 三浦克介, 二川清, 中前幸治
  • Organizer: 第30回LSIテスティングシンポジウム会議録
• [Presentation] LSI故障解析のためのレーザーテラヘルツエミッション顕微鏡THz波検出信号シミュレーション (2010)
  • Author(s): 御堂義博, 山下将嗣, 松本徹, 二川清, 中前幸治
  • Organizer: 第30回LSIテスティングシンポジウム会議録
• [Presentation] LTEMによるLSI故障解析のためのTHz波シミュレーション(II) (2010)
  • Author(s): 御堂義博, 山下将嗣, 松本徹, 斗内政吉, 二川清, 中前幸治
  • Organizer: 第57回応用物理学会関係連合講演会
• [Presentation] 走査レーザSQUID顕微鏡によるシミュレーションを活用したVLSI故障絞り込み法 (2010)
  • Author(s): 三浦克介, 二川清, 中前幸治
  • Organizer: 電子情報通信学会総合大会
• [Presentation] 電流密度分布シミュレーションを用いた走査レーザSQUID顕微鏡によるVLSI診断法の検討 (2009)
  • Author(s): 三浦克介
  • Organizer: 第29回LSIテスティングシンポジウム
  • Place of Presentation: 千里ライフサイエンスセンター (大阪府豊中市)
  • Year and Date: 2009-11-12
• [Presentation] 電流密度分布シミュレーションを用いた走査レーザSQUID顕微鏡によるVLSI診断法の検討 (2009)
  • Author(s): 三浦克介, 中前幸治, 二川清
  • Organizer: 第29回LSIテスティングシンポジウム