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Study on mirror surface slicing of electronic element materials by multi-wire saw

Research Project

Project/Area Number 26420061
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

Allocation TypeMulti-year Fund
Section一般
Research Field Production engineering/Processing studies
Research InstitutionKanazawa Institute of Technology

Principal Investigator

Suwabe Hitoshi  金沢工業大学, 工学部, 教授 (40202139)

Project Period (FY) 2014-04-01 – 2017-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2016)
Budget Amount *help
¥5,070,000 (Direct Cost: ¥3,900,000、Indirect Cost: ¥1,170,000)
Fiscal Year 2016: ¥1,040,000 (Direct Cost: ¥800,000、Indirect Cost: ¥240,000)
Fiscal Year 2015: ¥1,040,000 (Direct Cost: ¥800,000、Indirect Cost: ¥240,000)
Fiscal Year 2014: ¥2,990,000 (Direct Cost: ¥2,300,000、Indirect Cost: ¥690,000)
Keywordsスライシング / マルチワイヤソー / Si / SiC / 鏡面加工 / 延性モード加工 / 切削・研削加工 / スライシング加工 / 遊離砥粒
Outline of Final Research Achievements

The multi-wire has two type of the slicing methods to be called a free abrasive method, a fixed abrasive method. In the recent years, the multi-wire saw that slices the silicon or the silicon carbide using the slurry suspended diamond abrasive grains and wire tool covered by special resin is developed. Therefore, this application was clear the relation between the slicing characteristics of efficiency or accuracy and the influence factor of slicing conditions. And, the results of this application showed the possibility of high slicing efficiency to reduce the slicing cost or the calf-loss.

Report

(4 results)
  • 2016 Annual Research Report   Final Research Report ( PDF )
  • 2015 Research-status Report
  • 2014 Research-status Report
  • Research Products

    (18 results)

All 2017 2016 2015 2014

All Journal Article (4 results) (of which Peer Reviewed: 3 results,  Open Access: 1 results) Presentation (14 results) (of which Invited: 1 results)

  • [Journal Article] 硬脆材料の延性モードスライシング加工2016

    • Author(s)
      諏訪部仁
    • Journal Title

      機械の研究

      Volume: 68 Pages: 922-928

    • NAID

      40020987146

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  • [Journal Article] マルチワイヤソーによるSiCの延性モードスライシング加工に関する研究2016

    • Author(s)
      諏訪部仁,大久保順平,松川和平,石川憲一
    • Journal Title

      砥粒加工学会誌

      Volume: 60 Pages: 91-96

    • NAID

      130005284465

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      2015 Research-status Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] 揺動振動を援用した固定砥粒マルチワイヤソーの加工特性に関する研究2015

    • Author(s)
      諏訪部仁,四田一高,石川憲一
    • Journal Title

      砥粒加工学会誌

      Volume: 59 Pages: 341-346

    • NAID

      130005097953

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  • [Journal Article] マルチワイヤソーの加工溝底部における砥粒挙動に関する研究2014

    • Author(s)
      諏訪部 仁,四田一高,石川憲一
    • Journal Title

      砥粒加工学会誌

      Volume: 58 Pages: 710-715

    • NAID

      130004835698

    • Related Report
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    • Peer Reviewed / Open Access
  • [Presentation] 樹脂コーティングワイヤ方式を用いたマルチワイヤソーによるガラスの延性モード加工2017

    • Author(s)
      諏訪部 仁,安岡岳俊,石川 憲一
    • Organizer
      精密工学会
    • Place of Presentation
      慶應義塾大学
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      諏訪部 仁,佐治季貴,石川 憲一
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      慶應義塾大学
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      諏訪部仁,大久保順平,石川憲一
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      東京理科大学
    • Place of Presentation
      東京理科大学
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      2016-03-17
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      諏訪部仁,安岡岳俊,石川憲一
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      東京理科大学
    • Place of Presentation
      東京理科大学
    • Year and Date
      2016-03-17
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      諏訪部 仁,大久保順平,石川 憲一
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      砥粒加工学会
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      兵庫県立大学
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  • [Presentation] 遊離砥粒加工の砥粒挙動が加工に与える影響に関する研究2016

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      諏訪部 仁,佐治季貴,石川 憲一
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      日本設計工学会
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      福井大学
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  • [Presentation] マルチワイヤソーによるSiCの延性モード加工2015

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      諏訪部仁,大久保順平,松川和平,石川憲一
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      ABTEC2015砥粒加工学会学術講演会
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      慶応大学
    • Year and Date
      2015-09-09
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  • [Presentation] 樹脂コーティングワイヤを用いた延性モード加工における加工速度が加工面性状に与える影響2015

    • Author(s)
      諏訪部仁,安岡岳俊,石川憲一
    • Organizer
      日本設計工学会北陸支部平成27年度研究発表講演会
    • Place of Presentation
      富山大学
    • Year and Date
      2015-06-27
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  • [Presentation] マルチワイヤソーによるSiCの延性モード加工に関する研究2015

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      松川和平,諏訪部 仁,石川憲一
    • Organizer
      2015年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Place of Presentation
      東洋大学(東京都文京区)
    • Year and Date
      2015-03-17 – 2015-03-19
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    • Author(s)
      山田大介,諏訪部仁,石川憲一
    • Organizer
      2015年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Place of Presentation
      東洋大学(東京都文京区)
    • Year and Date
      2015-03-17 – 2015-03-19
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  • [Presentation] 微粒ダイヤスラリーを利用したSiC の高速延性モードスライシング加工2015

    • Author(s)
      諏訪部仁
    • Organizer
      砥粒加工学会先端加工フォーラム
    • Place of Presentation
      富山大学(富山県富山市)
    • Year and Date
      2015-03-10
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      2014 Research-status Report
    • Invited
  • [Presentation] 揺動振動を利用したマルチワイヤソーによるシリコンの切断加工特性に関する研究2014

    • Author(s)
      松川和平,諏訪部 仁,石川憲一
    • Organizer
      2014年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • Place of Presentation
      鳥取大学(鳥取県鳥取市)
    • Year and Date
      2014-09-16 – 2014-09-18
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  • [Presentation] 遊離砥粒マルチワイヤソーの加工部における砥粒挙動に関する研究2014

    • Author(s)
      四田一高,諏訪部仁,石川憲一
    • Organizer
      2014年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • Place of Presentation
      鳥取大学(鳥取県鳥取市)
    • Year and Date
      2014-09-16 – 2014-09-18
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      2014 Research-status Report

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Published: 2014-04-04   Modified: 2018-03-22  

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