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1994 Fiscal Year Annual Research Report

超微粒子ビームによる機能性薄膜作製法の開発

Research Project

Project/Area Number 05452139
Research InstitutionEhime University

Principal Investigator

井出 敞  愛媛大学, 工学部, 教授 (20029276)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 豊田 洋通  愛媛大学, 工学部, 助手 (00217572)
八木 秀次  愛媛大学, 工学部, 助教授 (40036471)
Keywords超微粒子 / 静電加速 / ダイヤモンド / ダイヤモンド状膜 / TOF
Research Abstract

1 超微粒子の加速方法の開発
電界電子放射帯電加速、二次電子放射帯電加速、流体加速の三方式の超微粒子の加速法に基づいて装置を製作し、加速実験を行った。電界電子放射帯電法による加速実験では、グラファイトライクの超微粒子が基板への衝撃により、アモルファス構造(DLC)の膜として付着することが確認された。電界中の軌道計算により到達速度が9km/s程度であることがわかった。この速度の炭素原子の運動エネルギーはダイヤモンド中の炭素原子の凝集エネルギーに相当し、結果が納得できる。二次電子放射帯電法および流体加速法による加速実験では、超微粒子の衝撃加速による構造変化が認められなかった。これらの方式では十分に速度が得られなかったと考えられる。ただ、製膜の効率という点ではこの二方式が優れているので、今後も研究を続ける必要がある。
2 超微粒子の速度測定法の開発
加速された超微粒子の速度をTOF(飛行時間)法に基づいて測定できるシステムを製作し、速度測定実験を行った。粒子検出コンデンサーの容量を1pFとして、高感度化をめざした。その結果、超微粒子の輸送管噴出速度が1.7km/sと測定できた。この結果と、斜平行電極間での偏向実験から、二次電子放射帯電超微粒子の到達速度が20km/sと見積もれた。この値は電界電子放射帯電の結果と比較すると大きすぎる。これはTOFの測定誤差が大きいことが原因であると考えられる。今後は測定精度を向上させて測定する必要がある。

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Published: 1996-04-08   Modified: 2016-04-21  

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