電子線プローブによるナノメーター精密構造解析

1994 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 06302022
• Research Category: Grant-in-Aid for Co-operative Research (A)
• Research Institution: Nagoya University
• Principal Investigator: 田中 信夫 名古屋大学, 工学部, 助教授 (40126876)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 八木 克道 東京工業大学, 理学部, 教授 (90016072) ; 石田 洋一 東京大学, 工学部, 教授 (60013108) ; 弘津 禎彦 大阪大学, 産業科学研究所, 教授 (70016525) ; 進藤 大輔 東北大学, 素材研究所, 教授 (20154396) ; 平賀 賢二 東北大学, 金属材料研究所, 教授 (30005912)
• Keywords: ナノプローブ電子線 / 精密構造解析 / 原子クラスター / 表面・界面 / イメージングプレート / CCDカメラ

Research Abstract

本総合研究"電子線プローブによるナノメーター精密構造解析"の研究班では、空間、時間平均化された情報の壁のうちの一方、すなわち空間平均化の壁を取り除くために、(1)ナノメーターサイズの電子線を用いた逆空間での精密な構造解析および(2)平均操作の入らない実空間での高分解能電子顕微鏡観察を定量的に行うことによって、先端材料のナノメータースケールでの精密な構造解析法の開拓とそれを応用した成果を出すことを目的として研究を行った。
初年度(平成6年度)の具体的な研究課題としては、エネルギーフィルター、イメージングプレート及びスロースキャンCCDカメラを用いた電子線の定量測定法の確立、ナノメーター領域の精密解析法の確立、C_<60>、ナノチューブ、アトムクラスターに代表される新ナノ素材の作成とその構造の解明とシリコン等半導体の表面、界面、アモルファス合金の局所構造、セラミックス材料の格子欠陥などの非周期構造の精密解析などを、各研究分担者が行った。

Research Products

• [Publications] N.Tanaka et al.: "High spatial vesolution analysis of interface of semiconductor supevlatlice by using nm‐sized electron probe" Control of Semiconductor Interfaces. 1. 315-320 (1994)
• [Publications] K.Harada et al.: "Realtime observation of the interaction between Flax lial and defects in superconductor by Loventz Microscopy" Jpn.J.Appl.Phys.33. 2534-2540 (1994)
• [Publications] S.Iijima: "Carbon nanotube" MRS Bulletin. 10. 43-49 (1994)
• [Publications] K.Hiraga et al.: "Structures of two types of Al‐Ni‐Co decagonal quasicrystals studued by HREM" Material Trans.JIM. 35. 657-662 (1994)
• [Publications] D.Shindo et al.: "Quantitative HREM of a high Tc superconductor TlBaCuO with imaging platc" Ultramicrosc.54. 221-228 (1994)
• [Publications] T.Suzuki et al.: "Strnctrue of high index clean Si surfoce studed by REM" phys stat sol. 146a. 243-249 (1994)
• [Publications] N.Tanaka: "Metal/Semicondactor Interface ed.by A.Hiraki" オーム社, 400 (1995)
• [Publications] 田中信夫: "表面分析図鑑(真下編)" 共立出版, 162 (1994)