電子線プローブによるナノメーター精密構造解析

1995 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 06302022
• Research Institution: Nagoya University
• Principal Investigator: 田中 信夫 名古屋大学, 工学部, 助教授 (40126876)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 八木 克道 東京工業大学, 理学部, 教授 (90016072) ; 石田 洋一 東京大学, 工学部, 教授 (60013108) ; 弘津 禎彦 大阪大学, 産業科学研究所, 教授 (70016525) ; 進藤 大輔 東北大学, 素材工学研究所, 教授 (20154396) ; 平賀 賢二 東北大学, 金属材料研究所, 教授 (30005912)
• Keywords: 電子線プローブ / ナノメーター構造解析 / 先端材料 / HREM / イメージングプレート

Research Abstract

本総合研究“電子線プローブによるナノメーター精密構造解析"の研究班では、空間、時間平均化された情報の壁のうちの一方、すなわち空間平均化の壁を取り除くために、(1)ナノメーターサイズの電子線を用いた逆空間での精密な構造解析及び(2)平均操作の入らない実空間での高分解能電子顕微鏡を定量的に行うことによって、先端材料のナノメータースケールでの精密な構造解析法の開拓とそれを応用した成果を出すことを目的として研究を行った。
第2年度(平成7年度)は13名の班員と協力者が(1)電子線プローブを用いた新しい励起スペクトロスコピーの装置(チェレンコフ放射光、カソードルミネッサンス光)を用いた研究、(2)本研究の重要な研究課題である電子顕微鏡用の新しい検出器を用いた研究(IP,slow scan CCD)、(3)ナノプローブ電子線を用いた構造及び電子状態のイメージング、(4)極細探針からのナノプローブ電子線を用いた(STM,BEEM)の研究、(5)最新電子顕微鏡法による、先端材料の高分解能電子顕微鏡観察(ゼオライト、金属内包フラーレン)、及び(6)新しい試料作製技術(FIB)を用いた界面構造の原子レベルでの研究などを精力的に行った。この成果は平成7年11月に東北大学で行われた研究会で班員から報告され、熱心な討論がなされた。本科研費の報告書にその研究会の要約を掲載した。
さらにこの電子線ナノプローブ法及び最新電子顕微鏡法を用いた構造解析の研究の現状を総括するために、この総合研究班員の仕事を中心として、それに外国の先導的な研究者7名からのレヴュ-を含めて、日本電子顕微鏡学会欧文誌“J.Electron Microscopy"の特集号を編集した。この特集号の編集には本総合研究班の3名(飯島、田中、弘津)があたった。このような企画は、我が国のこの方面の研究の全体を見通し、かつ自己評価をする意味でも重要であり、かつこの報告書が国際的にも配布されることを考えると今後の国際交流にもそれなりの役を果たすと考えられる。
最終年度の平成8年度はこのような2年間の成果を十分総括し、数個の重点項目について集中的に研究と討論がなされるように代表者としても努めたいと考えている。

Research Products

• [Publications] 田中信夫、木本浩司: "コセアレントナノビーム、電子回折とその多層膜への応用" 日本金属学会報. 34. 837-842 (1995)
• [Publications] W.Sun,K.Yubuta & K.Hiraga: "The crystal structure of a new crystalline phase in Al-Pd-Cr alloys" philosophical Magazine. B71. 71-80 (1995)
• [Publications] D.Shindo,J.Spence,A.Gomya: "Evalution of electron deffuse scatteving by energy filteving" proc 2nd pacific coufevence of advanced matevials. 1. 1077-1080 (1995)
• [Publications] M.Matsushita,Y.Hirotsu: "Electron diffrection intensity analysis of anovphous Pd Si alloys" Materials Transaction JlM. 36. 822-827 (1995)
• [Publications] K.Yagi,Y.Tanishiro: "Studies of surface phase transition by electron microscopy" phase fransitions. 53. 197-214 (1995)