1996 Fiscal Year Annual Research Report
Project/Area Number |
07044117
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Research Institution | Tohoku University |
Principal Investigator |
谷 順二 東北大学, 流体科学研究所, 教授 (30006192)
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Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
GEBHARD U. カールスルーエ研究センター, 研究員
KOHL M. カールスルーエ研究センター, 研究員
BACHER W. カールスルーエ研究センターマイクロストラクチャー, 工学部, 副リーダー
MENZ W. カールスルーエ大学, 機械工学部, 教授
裘 進浩 東北大学, 流体科学研究所, 助手 (60241585)
高木 敏行 東北大学, 流体科学研究所, 助教授 (20197065)
林 叡 東北大学, 流体科学研究所, 教授 (10021982)
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Keywords | インテリジェント材料 / 知的化 / マイクロシステム / マイクロフルイディクス / LIGAテクニック / 磁性形状記憶合金 / アクチュエータ / センサー |
Research Abstract |
マイクロシステムの開発が盛んに進められており、半導体加工技術や機械加工技術を用いることによってマイクロマシンが作製され実用化をめざした研究が行われている。 本研究は、圧電フィルム、形状記憶合金、電気粘性流体、磁性流体等の電磁機能材料をセンサー、アクチュエータ、あるいは動力源として用い、基本的な構造特性を検討する。これにより、インテリジェントなマイクロシステムを創製することが可能となる。 インテリジェント材料を用いたマイクロシステムについて調査を進め、ドイツ側のLIGA技術と日本側の流体解析技術や流体応用アクチュエータ作製の経験を生かして、共同研究のターゲットを、1)マイクロ流体発振素子の作製、2)機能性発現メカニズムの解明、3)インテリジェントアクチュエータ応用、及び4)磁性形状記憶合金の物理的特性とマイクロシステムへの応用とし、研究を進めることにした。 平成8年度は、このうち、1)流体発振素子を作成し実験を行い、流量と発振周波数の関係を得た。2)有限要素法を用いた数値解析法により発振素子内の流動現象を明らかにした。3)双安定形マイクロフルイディクスの負荷特性、効率を数値解析により求めた。4)磁性形状記憶合金Ni_2MnGaの変態温度の組成依存性を明らかにした。 今年度の成果の一部が、電気学会のマグネティックス研究会において次のタイトルのもと発表された。“マイクロフルイディクスのアクチュエータ応用への基礎的検討"、電気学会MAG-96-75 また、実験的結果も含み平成9年9月に開催されるFifth Triennial International Symposium on Fluid Control,Measurement and Visualizationにおいて、"Simulation and experiment on the dynamic behavior of microfluidic devices for actuator application"として発表する予定である。
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Research Products
(7 results)
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[Publications] J.Tani,T.Takagi,H.Nakaniwa,K.Ohtomo,K.Kosugo: "Vibration Suppression Effect of Liquid Crystal under Electromagnetic Field" Journal of Intelligent Material Systems and Structures. 7-5. 272-277 (1996)
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[Publications] 谷順二: "インテリジェント複合材料システム" 機能材料. 16-4. 17-22 (1996)
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[Publications] M.Kohl,K.D.Skrobanek,C.M.Goh,D.M.Allen: "Mechanical characterisation of shape memory micromaterials" SPIE. 2880. 108-118 (1996)
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[Publications] 松本寛、谷順二、高木敏行、A.N.Vasil'ev: "強磁性形状記憶合金Ni_2MnGaの特性と応用" Proceedings of Fifth MAGDA Conference JSAEM. 99-102 (1996)
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[Publications] 高木敏行、谷順二、林叡、田中洋彦、Ute Gebhard: "マイクロフルイディクスのアクチュエータ応用への基礎的検討" 電気学会 マグネティックス研究会資料. 37-44 (1996)
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[Publications] 林叡: "流体制御技術の最近の動向" 計測と制御. 32-2. 99-105 (1996)
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[Publications] 谷順二、古屋泰文、江田弘、森下信、名取通弘、樋口健: "知的複合材料と知的適応構造物" 養賢堂, 198 (1996)