1996 Fiscal Year Annual Research Report

分子線法による触媒並びに半導体表面反応の素過程及び動力学の研究

Research Project

Project/Area Number	07404033
Research Institution	NAGOYA UNIVERSITY
Principal Investigator	正畠宏祐名古屋大学, 工学部, 教授 (60132726)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	木村豊明名古屋大学, 工学部, 助手 (70106631) 沢邊恭一名古屋大学, 工学部, 講師 (80235473) 服部忠名古屋大学, 工学部, 教授 (50023172)
Keywords	分子線法 / エッチング反応 / シンクロトロン放射 / 触媒反応 / 速度分布 / 固体表面 / 化学反応動力学 / 半導体表面
Research Abstract	1)カナダのOCI社製の(BDL600型)の低速電子線回折装置を設置し、固体表面のキャラクタリゼーションできるようになった。2)真空下でサンプルを交換するためのロードロックチェンバーを取り付けた。サンプル室に取り付けているサンプルマニピュレータとのサンプルのやりとりができ、小電力で加熱できるものは良好に作動することが分かった。3)質量分析器を設置した回転検出器室の電動機構を設置し、検出器の電動回転が可能となった。4)O_2、Ne、Ar、Krとグラファイト表面の散乱過程を分子線、飛行時間法を用いて研究し、衝突によるエネルギー移動および動力学に関する詳しい知見を得た。4)Si(111)面の超熱塩素分子線によるエッチング反応の促進の実験を行い、反応速度が衝突エネルギーによって著しく上昇することを見い出した。5)Si(100)面とXeF_2のエッチング反応のシンクロトロン放射光励起効果を、質量分析検出起、飛行時間法、昇温脱離法を組み合わせて研究し、中性反応生成物の同定およびその速度分布の測定を行った。その結果、熱反応よりも8倍も厚いフッ化シリル層ができていることを見い出した。6)酸素、水蒸気雰囲気下で放射光励起することによってダイヤモンド表面のエッチング反応について研究した。7)金属表面吸着種のレーザー励起による反応過程の動力学的研究をした。8)各種触媒表面の各種触媒反応の活性と表面状態との関連について明らかにした。

Research Products

(12 results)

All Other

All Publications (12 results)

[Publications] A.Satsuma: "Factors Controlling Catalytic Achirty of H-form Zeolites for the Selective Recluction of NO with CH_4" Studies in Surface Science and Catalysis. 105. 1533-1540 (1997)
[Publications] Y.Matsumoto: "Laser-induced photochemistry of methane on Pt(111) : Excitation mechanism and dissociation dynamics" Journal of Chemical Physics. 105. 4775-4788 (1996)
[Publications] F.Tanaka: "Effects of Clustering of rare-gas atoms on the rate of S_1-T_2 intersystem crossing for 9-methylanthracene" Chemical Physics Letters. 252. 258-262 (1996)
[Publications] H.Kato: "Adsorbed states and thermal reactions of N_2O on Si(100) below room temperature : desorption induced by dissociation" Surface Science. 351. 43-52 (1996)
[Publications] E.Ishiguro: "Synchrotron radiation etching of diamond surfaces in the low pressure atmosphere of O_2 and SF_6" J.of Electron Spectroscopy and Related Phenomena. 80. 77-80 (1996)
[Publications] H.Ohashi: "Synchrotron radiation excited etching of silicon surfaces studied by velocity distribution measurements of desorbed species" J.of Electron Spectroscoy and Related Phenomena. 80. 73-76 (1996)
[Publications] H.Ohashi: "Synchrotron radiation etching of diamond" Applied Physics Letters. 68. 3713-3715 (1996)
[Publications] Y.Yasumatsu: "Absorption spectrum of C_<60> in the gas phase : Formation and Recombination of Electron-Hole Pair" Journal of Chemical Physics. 104. 899-902 (1996)
[Publications] H.Yoshida: "Fine structure in phosphorescence spectra of silica-alumina" Chemical Communications. 1996. 1153-1154 (1996)
[Publications] K.Nishi: "Effect of Carbon Dioxide on Aromatization of Ethane over Metal-loaded HZSM-5 Catalysts" Sekiya Gallaishi. 39. 260-266 (1996)
[Publications] 沢邊恭一: "表面吸着種の光励起反応" 表面. 34(5). 27-37 (1996)
[Publications] K.Shobatake: "Springer Series in Solid-State Science,Vol.121,Elementary Processes in Excitation of Reactions on Solid Surfaces,Springer-Verlag Eds.A.Okiji,H.Kasai,K.Makoshi" Dynamics and Energy Transfer in Scattering and Xe,O_2 and Cl_2 from Graphite Surface, 10 (1996)

1996 Fiscal Year Annual Research Report

分子線法による触媒並びに半導体表面反応の素過程及び動力学の研究

Principal Investigator

正畠 宏祐 名古屋大学, 工学部, 教授 (60132726)

Research Products

[Publications] A.Satsuma: "Factors Controlling Catalytic Achirty of H-form Zeolites for the Selective Recluction of NO with CH_4" Studies in Surface Science and Catalysis. 105. 1533-1540 (1997)

[Publications] Y.Matsumoto: "Laser-induced photochemistry of methane on Pt(111) : Excitation mechanism and dissociation dynamics" Journal of Chemical Physics. 105. 4775-4788 (1996)

[Publications] F.Tanaka: "Effects of Clustering of rare-gas atoms on the rate of S_1-T_2 intersystem crossing for 9-methylanthracene" Chemical Physics Letters. 252. 258-262 (1996)

[Publications] H.Kato: "Adsorbed states and thermal reactions of N_2O on Si(100) below room temperature : desorption induced by dissociation" Surface Science. 351. 43-52 (1996)

[Publications] E.Ishiguro: "Synchrotron radiation etching of diamond surfaces in the low pressure atmosphere of O_2 and SF_6" J.of Electron Spectroscopy and Related Phenomena. 80. 77-80 (1996)

[Publications] H.Ohashi: "Synchrotron radiation excited etching of silicon surfaces studied by velocity distribution measurements of desorbed species" J.of Electron Spectroscoy and Related Phenomena. 80. 73-76 (1996)

[Publications] H.Ohashi: "Synchrotron radiation etching of diamond" Applied Physics Letters. 68. 3713-3715 (1996)

[Publications] Y.Yasumatsu: "Absorption spectrum of C_<60> in the gas phase : Formation and Recombination of Electron-Hole Pair" Journal of Chemical Physics. 104. 899-902 (1996)

[Publications] H.Yoshida: "Fine structure in phosphorescence spectra of silica-alumina" Chemical Communications. 1996. 1153-1154 (1996)

[Publications] K.Nishi: "Effect of Carbon Dioxide on Aromatization of Ethane over Metal-loaded HZSM-5 Catalysts" Sekiya Gallaishi. 39. 260-266 (1996)

[Publications] 沢邊恭一: "表面吸着種の光励起反応" 表面. 34(5). 27-37 (1996)

[Publications] K.Shobatake: "Springer Series in Solid-State Science,Vol.121,Elementary Processes in Excitation of Reactions on Solid Surfaces,Springer-Verlag Eds.A.Okiji,H.Kasai,K.Makoshi" Dynamics and Energy Transfer in Scattering and Xe,O_2 and Cl_2 from Graphite Surface, 10 (1996)

正畠宏祐名古屋大学, 工学部, 教授 (60132726)