1995 Fiscal Year Annual Research Report
エキシマレーザーによるセラミックスの超微細加工に関する研究
| Project/Area Number |
07455295
|
|---|
| Research Category |
Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
|
| Research Institution | Aichi Institute of Technology |
|---|
Principal Investigator |
内田 悦行 愛知工業大学, 工学部, 教授 (20023187)
|
|---|
| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
比嘉 俊太郎 愛知工業大学, 工学部, 教授 (30064934)
林 二一 愛知工業大学, 工学部, 教授 (70074432)
渡辺 茂男 愛知工業大学, 工学部, 教授 (60064953)
古橋 秀夫 愛知工業大学, 工学部, 講師 (40229125)
山田 諄 愛知工業大学, 工学部, 教授 (30064950)
|
|---|
| Keywords | 微細加工 / レーザー加工 / レーザーアブレーション / エキシマレーザー / 酸化物高温超伝導体 / 傾斜機能材料 / 三次元形状計測 / 光音響診断 |
|---|
| Research Abstract |
超伝導セラミックスをはじめとする酸化物系,非酸化物系セラミックスを使用し,紫外線エキシマレーザーにより,ミクロンサイズの要求するパターン構造を製作することを目的としている.本年度の研究実績をまとめる.
1.エキシマレーザー加工システムの構築 マスク投影法による光学系,マスクなどの機械要素,コンピュータ制御のためのインターフェイスならびにプログラムソフト,などを設計製作し,加工システムを構築した.レーザー光の良質化に関する知見,試料位置決めの高精度化に関する技法,ならびにレーザーシステムの基本特性を蓄積した.
2.セラミックス材料の作製準備 YBaCuO系超伝導体として,薄膜を高周波マグネトロンスバッタリング装置を使用して作製し,バルクを固相反応法で作製した.カオリン-鉄の傾斜機能材料として,固液分離工学の手法を導入した段階的添加法により厚手材料の作製を可能とした.作製条件を変えた種々の試料を準備した.
3.セラミックスのレーザーアブレーション アブレーション速度に関わる加工パラメータの最適化実験を試みた.ストリークカメラ画像処理システムの構築をした.
4.エキシマレーザーによる超微細加工 レーザーパラメータの最適条件を探り,ミクロンサイズのスロットおよび穴の加工実験を行った.
5.キャラクタリゼーション 三次元形状計測システムを構築し,加工部の幾何学的形状,表面粗さ等の品質の検討を行った.電子顕微鏡で組成分布の解析を行った.光音響診断システムで形状ならびに材料組成診断を行った.検査ならびに計測の技法ならびにシステム開発に関して知見を得た.また,評価データを蓄積した.
|
-
[Publications] Shinji Nagai: "Formation dynamics of excited atoms in an ArF laser using He and Ne buffer gases" Journal of Applied Physics. 77. 2906-2911 (1995)
-
[Publications] A. K. Kanjilal: "Automatic Mask Alignment without a Microscope" IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement. 44. 806-809 (1995)
-
[Publications] 長田佳宣: "バナジルフタロシアニン蒸着薄膜の基板温度に対する配向特性" 日本真空協会誌真空. 38. 660-662 (1995)
-
[Publications] Jingnan Liu: "Automatic mask alignment in the Θ direction using moire sensors" Nanotechnology. 6. 135-138 (1995)
-
[Publications] 劉 京南: "回折モアレ光を用いた超精密位置決め技法とその精度" 電気学会論文誌 電子情報システム部門誌. 116C. 75-80 (1996)
