エキシマレーザーによるセラミックスの超微細加工に関する研究

1996 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 07455295
• Research Institution: AICHI INSTITUTE OF TECHNOLOGY
• Principal Investigator: 内田 悦行 愛知工業大学, 工学部, 教授 (20023187)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 比嘉 俊太郎 愛知工業大学, 工学部, 教授 (30064934) ; 林 二一 愛知工業大学, 工学部, 教授 (70074432) ; 渡辺 茂男 愛知工業大学, 工学部, 教授 (60064953) ; 古橋 秀夫 愛知工業大学, 工学部, 講師 (40229125) ; 山田 諄 愛知工業大学, 工学部, 教授 (30064950)
• Keywords: レーザーアブレーション / レーザー加工 / 微細加工 / エキシマレーザー / セラミックス加工 / 傾斜機能材料 / 三次元形状計測 / 光音響診断

Research Abstract

本研究の目的は,超伝導セラミックスをはじめとする酸化物系,非酸化物系セラミックスを使用し,紫外線エキシマレーザーにより,ミクロンサイズの要求するパターン構造を製作する技術を確立することである.
研究実績をまとめる。
1.セラミックスのレーザー加工 (1)エキシマレーザー加工システム レーザー光の良質化に関する知見,試料位置決めの高精度技法に関する知見ならびにレーザー加工システムの最適化に関する基本特性を蓄積した.(2)セラミックス材料の作製 YBaCuO系超伝導体ならびにセラミックス-金属系傾斜機能材料を作製した.作製条件を変えた種々の試料を準備した.(3)セラミックスのレーザーアブレーション ストリークカメラ画像処理システムによりアブレーション機構の解明を行い,アブレーション速度に関わる加工パラメータの最適化実験を試みた.(4)エキシマレーザーによる超微細加工 レーザー加工パラメータの最適条件を探り,ミクロンサイズの加工ならびに表面処理実験を行った.セラミックスの非熱光化学反応過程による微細加工をエキシマレーザーアブレーション加工で実現した.
2.総合キャラクタリゼーション 三次元形状計測システムを用いて加工部の幾何学的形状,表面粗さ等の品質の検討を行った.電子顕微鏡で組成分布の解析を行った.光音響診断システムで形状ならびに材料組成診断を行った.
3.成果のまとめ 研究成果を学会誌・国際会議・学会研究会で発表し,報告書を作成した.

Research Products

• [Publications] 服部肇: "ホログラムの実像再生を利用した光造形" レーザー学会誌レーザー研究. 24,4. 486-490 (1996)
• [Publications] niichi Hayashi: "Development of Functionally Gradient Matreials by Means of an Expression Operation" Proceedings of the 7th World Filtration Congress. 2. 850-854 (1996)
• [Publications] Yoshihisa Uchida: "Diagnosis of Functionally Gradient Materials by the Photoacoustic Effect" Proceedings of the 7th World Filtration Congress. 2. 855-859 (1996)
• [Publications] hideo Furuhashi: "Automatic Angular Alignment in Mask Aligner using Computer Controlled Moire Technique" Proceedings of the 22nd Annual International Conference of the IEEE Industrial Electronics. 2. 1318-1322 (1996)
• [Publications] J.Liu: "Fully Automatic Computer Controlled Mask Alignment Using Moire Technique" Proceedings of the Asian/Pacific International Symposium on Instrumentation,Measurement and Automatic Control. 211-217 (1996)
• [Publications] Shigeo Watanabe: "The Eletric Properties of an Iron-Kaolin Functionally Gradient Material" Priceedings of the Seventh International Conference on Dielectric Materials,Measurements and Applications. 430. 68-71 (1996)
• [Publications] Shinji Nagai: "Measurement of F-Ion Density in a Discharge-Pumped ArF Excimer Laser Plasma" Proceedings of the 9th IEEE Lasers and Electro-Optics Society Annual Meeting. 2. 397-398 (1996)
• [Publications] Yoshihisa Uchida: "Precision Micro-Material Processing by Excimer Laser Ablation" Proceedings of the Intrenational Conference on Photonics and Fibre Optics. 1. 71-76 (1996)
• [Publications] 親宮博康: "直流12V回路における導体接続部のホットゾーン" 電気学会論文誌基礎・材料・共通部門誌. 117A,2. 186-192 (1997)
• [Publications] Shigeo Watanabe: "Manufacture of Insulating Agents for Electric Field Relaxation Using Functionally Graded Materials,with Electric Field Calculations" Proceedings of the 5th International Conference on Protoperties and Applications of Dielectric Materials. (1997)
• [Publications] Yoshihisa Uchida: "Behaviour of Ablation Wave from functionally Graded Materials by Excimer Laser" Journal of Electrostatics. (1997)
• [Publications] Akihiro Torii: "Automatic prositioning using moire signals" Proceedings of the International Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment. (1997)
• [Publications] Yoshihisa Uchida: "Functionally Graded Materials" Elsevier Science B.V., (1997)