1996 Fiscal Year Annual Research Report

エキシマレーザーによるセラミックスの超微細加工に関する研究

Research Project

Project/Area Number	07455295
Research Institution	AICHI INSTITUTE OF TECHNOLOGY
Principal Investigator	内田悦行愛知工業大学, 工学部, 教授 (20023187)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	比嘉俊太郎愛知工業大学, 工学部, 教授 (30064934) 林二一愛知工業大学, 工学部, 教授 (70074432) 渡辺茂男愛知工業大学, 工学部, 教授 (60064953) 古橋秀夫愛知工業大学, 工学部, 講師 (40229125) 山田諄愛知工業大学, 工学部, 教授 (30064950)
Keywords	レーザーアブレーション / レーザー加工 / 微細加工 / エキシマレーザー / セラミックス加工 / 傾斜機能材料 / 三次元形状計測 / 光音響診断
Research Abstract	本研究の目的は,超伝導セラミックスをはじめとする酸化物系,非酸化物系セラミックスを使用し,紫外線エキシマレーザーにより,ミクロンサイズの要求するパターン構造を製作する技術を確立することである. 研究実績をまとめる。 1.セラミックスのレーザー加工 (1)エキシマレーザー加工システムレーザー光の良質化に関する知見,試料位置決めの高精度技法に関する知見ならびにレーザー加工システムの最適化に関する基本特性を蓄積した.(2)セラミックス材料の作製 YBaCuO系超伝導体ならびにセラミックス-金属系傾斜機能材料を作製した.作製条件を変えた種々の試料を準備した.(3)セラミックスのレーザーアブレーションストリークカメラ画像処理システムによりアブレーション機構の解明を行い,アブレーション速度に関わる加工パラメータの最適化実験を試みた.(4)エキシマレーザーによる超微細加工レーザー加工パラメータの最適条件を探り,ミクロンサイズの加工ならびに表面処理実験を行った.セラミックスの非熱光化学反応過程による微細加工をエキシマレーザーアブレーション加工で実現した. 2.総合キャラクタリゼーション三次元形状計測システムを用いて加工部の幾何学的形状,表面粗さ等の品質の検討を行った.電子顕微鏡で組成分布の解析を行った.光音響診断システムで形状ならびに材料組成診断を行った. 3.成果のまとめ研究成果を学会誌・国際会議・学会研究会で発表し,報告書を作成した.

Research Products
(13 results)

All Other

All Publications (13 results)

[Publications] 服部肇: "ホログラムの実像再生を利用した光造形" レーザー学会誌レーザー研究. 24,4. 486-490 (1996)
[Publications] niichi Hayashi: "Development of Functionally Gradient Matreials by Means of an Expression Operation" Proceedings of the 7th World Filtration Congress. 2. 850-854 (1996)
[Publications] Yoshihisa Uchida: "Diagnosis of Functionally Gradient Materials by the Photoacoustic Effect" Proceedings of the 7th World Filtration Congress. 2. 855-859 (1996)
[Publications] hideo Furuhashi: "Automatic Angular Alignment in Mask Aligner using Computer Controlled Moire Technique" Proceedings of the 22nd Annual International Conference of the IEEE Industrial Electronics. 2. 1318-1322 (1996)
[Publications] J.Liu: "Fully Automatic Computer Controlled Mask Alignment Using Moire Technique" Proceedings of the Asian/Pacific International Symposium on Instrumentation,Measurement and Automatic Control. 211-217 (1996)
[Publications] Shigeo Watanabe: "The Eletric Properties of an Iron-Kaolin Functionally Gradient Material" Priceedings of the Seventh International Conference on Dielectric Materials,Measurements and Applications. 430. 68-71 (1996)
[Publications] Shinji Nagai: "Measurement of F-Ion Density in a Discharge-Pumped ArF Excimer Laser Plasma" Proceedings of the 9th IEEE Lasers and Electro-Optics Society Annual Meeting. 2. 397-398 (1996)
[Publications] Yoshihisa Uchida: "Precision Micro-Material Processing by Excimer Laser Ablation" Proceedings of the Intrenational Conference on Photonics and Fibre Optics. 1. 71-76 (1996)
[Publications] 親宮博康: "直流12V回路における導体接続部のホットゾーン" 電気学会論文誌基礎・材料・共通部門誌. 117A,2. 186-192 (1997)
[Publications] Shigeo Watanabe: "Manufacture of Insulating Agents for Electric Field Relaxation Using Functionally Graded Materials,with Electric Field Calculations" Proceedings of the 5th International Conference on Protoperties and Applications of Dielectric Materials. (1997)
[Publications] Yoshihisa Uchida: "Behaviour of Ablation Wave from functionally Graded Materials by Excimer Laser" Journal of Electrostatics. (1997)
[Publications] Akihiro Torii: "Automatic prositioning using moire signals" Proceedings of the International Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment. (1997)
[Publications] Yoshihisa Uchida: "Functionally Graded Materials" Elsevier Science B.V., (1997)

1996 Fiscal Year Annual Research Report

エキシマレーザーによるセラミックスの超微細加工に関する研究

Principal Investigator

内田 悦行 愛知工業大学, 工学部, 教授 (20023187)

Research Products

[Publications] 服部肇: "ホログラムの実像再生を利用した光造形" レーザー学会誌レーザー研究. 24,4. 486-490 (1996)

[Publications] niichi Hayashi: "Development of Functionally Gradient Matreials by Means of an Expression Operation" Proceedings of the 7th World Filtration Congress. 2. 850-854 (1996)

[Publications] Yoshihisa Uchida: "Diagnosis of Functionally Gradient Materials by the Photoacoustic Effect" Proceedings of the 7th World Filtration Congress. 2. 855-859 (1996)

[Publications] hideo Furuhashi: "Automatic Angular Alignment in Mask Aligner using Computer Controlled Moire Technique" Proceedings of the 22nd Annual International Conference of the IEEE Industrial Electronics. 2. 1318-1322 (1996)

[Publications] J.Liu: "Fully Automatic Computer Controlled Mask Alignment Using Moire Technique" Proceedings of the Asian/Pacific International Symposium on Instrumentation,Measurement and Automatic Control. 211-217 (1996)

[Publications] Shigeo Watanabe: "The Eletric Properties of an Iron-Kaolin Functionally Gradient Material" Priceedings of the Seventh International Conference on Dielectric Materials,Measurements and Applications. 430. 68-71 (1996)

[Publications] Shinji Nagai: "Measurement of F-Ion Density in a Discharge-Pumped ArF Excimer Laser Plasma" Proceedings of the 9th IEEE Lasers and Electro-Optics Society Annual Meeting. 2. 397-398 (1996)

[Publications] Yoshihisa Uchida: "Precision Micro-Material Processing by Excimer Laser Ablation" Proceedings of the Intrenational Conference on Photonics and Fibre Optics. 1. 71-76 (1996)

[Publications] 親宮博康: "直流12V回路における導体接続部のホットゾーン" 電気学会論文誌基礎・材料・共通部門誌. 117A,2. 186-192 (1997)

[Publications] Shigeo Watanabe: "Manufacture of Insulating Agents for Electric Field Relaxation Using Functionally Graded Materials,with Electric Field Calculations" Proceedings of the 5th International Conference on Protoperties and Applications of Dielectric Materials. (1997)

[Publications] Yoshihisa Uchida: "Behaviour of Ablation Wave from functionally Graded Materials by Excimer Laser" Journal of Electrostatics. (1997)

[Publications] Akihiro Torii: "Automatic prositioning using moire signals" Proceedings of the International Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment. (1997)

[Publications] Yoshihisa Uchida: "Functionally Graded Materials" Elsevier Science B.V., (1997)

内田悦行愛知工業大学, 工学部, 教授 (20023187)