1998 Fiscal Year Annual Research Report
パルスYAGレーザーを用いたアルミニウムの表面パターニング
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08455326
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| Research Institution | HOKKAIDO UNIVERSITY |
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Principal Investigator |
高橋 英明 北海道大学, 大学院・工学研究科, 教授 (70002201)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
黒川 一哉 北海道大学, 大学院・工学研究科, 助教授 (00161779)
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| Keywords | アルミニウム / パルスYAGレーザー / 局部メッキ / レーザーアブレーション / 表面パターニング |
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| Research Abstract |
本研究は、アルミニウム基板上におけるパターニング技術の新しい方法の開発と確立を目的としており、本年度は、1)レーザー照射・無電解めっきによるパターニングの開発および2)光学系の工夫による極微細パターニングの形成について研究を行った。
1) レーザー照射・無電解めっきによるパターニングの開発:レーザー照射をPd^<2+>,Ni^<2+>,Cu^<2+>イオンを含む溶液中で行うと、いずれの場合にも、試料のレーザー照射部に金属微粒子が析出することをXPSおよび浸漬電位の測定により明らかにした。また、レーザー照射のさい析出したPd金属は、その後のNi-P無電解めっきの初期過程においてその析出速度を促進するが、Cu粒子は促進効果を有しないことがわかった。
2) 極微細パターニングの形成:レーザー照射を、レーザーパワー、絞り径および凸レンズ焦点距離の関数としてレーザー照射を行い、皮膜の破壊に伴う皮膜除去部のスポットサイズ(D)および走査線幅(W)を測定したところ、DおよびWの値を」15〜500μmまで調節することができることがわかった。また、有機絶縁基板との接着および素地金属の溶解除去などにより、微細回路をもつ模擬プリント配線基板を形成できた。
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[Publications] M.Sakairi: "Reformation of Anodic Oxide Films on Aluminum after Destruction by Pulsed-YAG Laser Irradiation" Proc.of Intern.Symp.on Passivity and Its Breakdown,Cosponsored by ECS and ISE,. 643-653 (1998)
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[Publications] S.Z.Chu: "Local Deposition of Ni-P Alloy on Aluminum by Laser Irradiation and Electroless-Plating" J.Electrochem.Soc.,. Vol 146.No2. in press (1999)
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[Publications] 坂入正敏: "レーザー照射および局部めっきによるAl表面のパターニング I.レーザー照射によるアノード酸化皮膜の破壊挙動" 表面技術. 49. 1220-1226 (1998)
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[Publications] 坂入正敏: "レーザー照射および局部めっきによるAl表面のパターニング II.レーザー照射部における局部Niめっきと微細パターン作製" 表面技術. 49. 1227-1232 (1998)
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[Publications] 高橋英明: "レーザー照射によるアルミニウムアノード酸化皮膜の破壊と再生挙動" 日本材料学会腐食防食専門委員会研究集会(資料). 47. 34-46 (1998)
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[Publications] 坂入正敏: "レーザー皮膜剥離法によるアルミニウムアノード酸化皮膜の解析" 材料科学. 34. 275-280 (1998)
