1998 Fiscal Year Annual Research Report

完全表面の創成

Research Project

Project/Area Number	08CE2004
Research Institution	Osaka University
Principal Investigator	森勇藏大阪大学, 大学院工学研究科, 教授 (00029125)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	森田瑞穂大阪大学, 大学院工学研究科, 教授 (50157905) 広瀬喜久治大阪大学, 大学院工学研究科, 教授 (10073892) 青野正和大阪大学, 大学院工学研究科, 教授 (10184053) 片岡俊彦大阪大学, 大学院工学研究科, 教授 (50029328) 芳井熊安大阪大学, 大学院工学研究科, 教授 (30029152)
Keywords	完全表面 / 超精密加工 / EEM / 大気圧プラズマCVD / STM / 第一原理分子動力学シュミレーション / ウルトラクリーンテクノロジー
Research Abstract	本研究では、完全表面の創成を目的とした新しい超精密加工および成膜方法を確立するため、新しい加工プロセスの開発、加工プロセスの計測と制御、加工表面の評価と評価技術の開発、加工現象の理論的な解明という4項目の目標を達成しなければならない。各項目について、それぞれ特筆すべき研究の進展および新たに得られた知見について述べる。 1. 新しい加工プロセスの開発プラズマCVMでは、開発した数値制御プラズマCVM加工装置によって、加工速度がプラズマの滞在時間に対して正確に比例することを確認し、超精密形状加工を行う上で不可欠な制御性に優れた加工特性を得るとともに、加工面の表面粗さとしてPV1.5nm,Rrms0.3nmを得た。EEMでは、超高圧力ノズル型加工ヘッドの開発に成功し、超清浄数値制御EEM加工装置にこれを搭載した。Si(001)表面を加工して加工痕形状、加工速度の安定性と加工表面が原子レベルで平坦であることを確認した。大気圧プラズマCVDでは、電気・光学特性に優れた太陽電池用アモルファスSi薄膜を従来技術の100倍以上の成膜速度で、また均質かつ耐薬品性に優れたアモルファスSiC薄膜を従来技術の100倍以上の成膜速度(最大100nm/s)で、それぞれ形成することに成功した。さらに、エピタキシャルSiの高速形成を目的とした高清浄大気圧プラズマCVD装置を設計・製作し、基礎性能を評価した。超純水による電気化学的加工プロセスの開発では、超純水と反応する材料表面の第一原理分子動力学シミュレーションを行い、Si表面原子のバックボンドが切断されること、金属ではCu>Fe>Alの順に被加工性が良いことがわかった。基礎実験装置を製作し、触媒材料を用いて実験すると、常温・常圧水の1,000,000倍近い水酸イオン密度が得られ、通常の電解加工に匹敵する加工が可能であることを確認した。数A/cm^2までの電流密度において各種金属の加工実験を行い、被加工性がシミュレーションの結果と合致した。 2. 加工プロセスの計測と制御技術大気圧・高周波プラズマの計測では、加工・成膜プロセスを支配するラジカルの絶対数密度計測を目的として、赤外レーザー吸収分光システムを構築して性能確認した。プロセスの流れ解析では、高清浄大気圧プラズマCVD装置内のプロセスガスの流れ解析を基に発生するパーティクルを除去するための吸引ダクトを設計した。 EEMでは、超高圧力ノズル型加工ヘッドのノズル流路長さの影響について解析し、ノズル流路を長くすることにより出口での負圧の発生を抑制できることを明らかにした。加工プロセスにおける表面反応の観察では、ハロゲン分子のSi(001)表面での解離吸着過程をSTMにより原子レベルで観察し、第一原理分子動力学シミュレーション結果の妥当性を明らかにした。 3. 加工表面の評価と評価技術の開発形状計測において基準となるレーザービーム伝播軌跡を回折理論に基づき解析し、ビーム中心の直線性およびビーム中心追尾精度は、原理的には1nm/1m程度であることを示すとともに、外部共振器ミラーを低熱膨張ガラスで支持する方向安定化He-Neレーザーを試作して恒温雰囲気で真空光路中を用いた場合の方向安定性を評価した。 STMによる溶液洗浄後のSi(001)ウエハ水素終端化表面原子像観察に世界で初めて成功し、超精密加工表面や機能薄膜等の実用表面そのままの状態での原子構造評価を可能にした。また、STM探針を電子源として表面原子から発生する特性X線をエネルギー分析することで単一原子の元素分析を行うSTM-XMAの開発において、1nsec以下の極短パルスを発生する容量放電型高電圧発生回路の開発に成功した。さらに、新方式のレーザー光散乱法によってSiウエハ上の0.02μm微粒子の検出し、ウルトラクリーンルームの清浄度を0.1μm以下の微粒子で評価することに成功した。 4. 加工現象の理論的な解明高精度化と高速化のために、既存のシミュレーションプログラムの並列化を行った結果、一桁以上の高速化を実現できた。また、新しい計算手法である実空間差分法に基づくプログラムを開発し、二原子分子について、従来の計算方法に比べ、平衡原子間距離、結合エネルギーが実験値と良い一致をすることを確かめた。

Research Products

(70 results)

All Other

All Publications (70 results)

[Publications] K.Endo: "Atomic structures of hydrogen-terminated Si(001)surfaces after wet cleaning by scanning tunneling microscopy." Applied Physics Letters. 73,13. 1853-1855 (1998)
[Publications] 山内和人: "EEM(Elastic Emission Machining)に関する研究-加工液中の溶存酸素がS2ウエハ表面に与える影響-" 精密工学会誌. 64,6. 2140-2147 (1998)
[Publications] K.Yasutake: "Molecular Beam Epitaxial Growth of AIN Single Crystalline Film on Si (111) Using Radio-Frequency Plasma Assisted Nitrogen Radical Souece." J.Vac.Sci,Tech. A16,4. 2140-2147 (1998)
[Publications] A.Saito: "Normal-incidence x-raystanding-wave analysis of Si(111) 【square root】3x【square root】3-Au structure" Physical Review B. 58(7). 3541. (1998)
[Publications] Hideo Takino: "Computer numerically controlled plasma chemical vaporizaiton machining with a pipe electrode for optical farbrication" APPKTED OPTICS. 37,22. 5198-5210 (1998)
[Publications] Hideo TAKINO: "Plasma Chemical Vaporization Machining(CVM) for Fabrication of Optics" J.Vac.Sci,Tech. 37,7B. (1998)
[Publications] 清水正男: "半導体素子特性に対するコンタクトホール内部の残留有機物薄膜の影響" 精密工学会誌. 印刷中. (1999)
[Publications] 森田瑞穂: "半導体表面加工環境制御" 精密工学会超精密位置決め専門員会定例会講演前刷集. 98-2. 1-10 (1998)
[Publications] 中野真吾: "集積型a-Si太陽電池のプラズマCVMによるコウソクパターンニングに関する研究(第2報)-プラズマ発生領域の制御による加工領域の微小化-" 精密工学会1998年度関西地区定期学術講演会講演論文集. 3-4 (1998)
[Publications] 遠藤勝義: "大気圧・高周波プラズマの計測と制御-吸収分光法によるHe準安定原子密度の計測-" 精密工学会1998年度関西地方定期学術講演会講演論文集. 5-6 (1998)
[Publications] 山内和人: "EEM(Elastic Emission Machining)における加工物表面上への粒子付着過程の第一原理分子動力学シュミレーション" 精密工学会1998年度関西地方定期学術講演会講演論文集. 15-16 (1998)
[Publications] 広瀬喜久治: "水酸基と相互作用する金属表面の第一原理分子動力学シュミレーション" 精密工学会1998年度関西地方定期学術講演会講演論文集. 17-18 (1998)
[Publications] 有馬健太: "STMによる水素終端化Si(001)ウェーハ表面の観察" 精密工学会1998年度関西地方定期学術講演会講演論文集. 89-90 (1998)
[Publications] 岡田浩巳: "STM/STSによるハロゲン吸着Si(001)2×1表面の観察(第2報)" 精密工学会1998年度関西地方定期学術講演会講演論文集. 91-92 (1998)
[Publications] 遠藤勝義: "STMによる絶縁体表面計測法の開発" 精密工学会1998年度関西地方定期学術講演会講演論文集. 93-94 (1998)
[Publications] 六車義弘: "STM/XMA法に於けるX線発生過程のシュミレーション" 精密工学会1998年度関西地方定期学術講演会講演論文集. 95-96 (1998)
[Publications] 井上晴行: "レーザー光散乱によるSiウェーハ表面上の微粒子計測-標準粒子の粒子径分布測定-" 精密工学会1998年度関西地方定期学術講演会講演論文集. 99-100 (1998)
[Publications] 田原俊克: "超高精度光反射率スペクトル測定装置の開発" 精密工学会1998年度関西地方定期学術講演会講演論文集. 109-110 (1998)
[Publications] 藤本義隆: "光反射率スペクトルの第一原理電子状態計算法による解析" 精密工学会1998年度関西地方定期学術講演会講演論文集. 111-112 (1998)
[Publications] 片岡俊彦: "微小共振球をプロープとする走査型近接場光学顕微鏡の開発" 精密工学会1998年度関西地方定期学術講演会講演論文集. 115-116 (1998)
[Publications] 片岡俊彦: "エキシマレーザーによる基板表面凝集相の光化学反応を利用した成膜" 精密工学会1998年度関西地方定期学術講演会講演論文集. 119-120 (1998)
[Publications] 森勇藏: "回転電極を用いた大気圧プラズマCVDにより拘束形成したアモルファスSi薄膜の電気・光学特性" 精密工学会1998年度関西地方定期学術講演会講演論文集. 121-122 (1998)
[Publications] 竹内昭博: "紫外光半導体レーザー用AIN単結晶薄膜pn制御" 精密工学会1998年度関西地方定期学術講演会講演論文集. 123-124 (1998)
[Publications] 大参宏昌: "Li原子ビームのコリメーションとナノファブリケーションへの応用" 精密工学会1998年度関西地方定期学術講演会講演論文集. 125-126 (1998)
[Publications] 山崎一輝: "金属/固体電解質界面のX線定在波法による構造解析" 関西表面セミナー. (1998)
[Publications] 桑原裕司: "異種原子分子を使った有機分子の自己組織化表面秩序構造の制御" 量子効果等の物理現象第2回シンポジウム. (1998)
[Publications] H.Okada: "First-pronciples molecular dynamic sumlation for STM image of Si(001) surface" The Materials Reseach Society of Japan,第10回年次総会・学術シンポジウム、プログラム・要旨集. 117-117 (1998)
[Publications] K.Hirose: "Frist-principles molecular dynamics simulation of metal surfaces interacting with OH molecule." The Materials Reseach Society of Japan,第10回年次総会・学術シンポジウム、プログラム・要旨集. 118-118 (1998)
[Publications] R.Hosoi: "A sumulation of removal prosess in EEM(Elastic Emission Maching) by ab-initio molecular orbital method." The Materials Reseach Society of Japan,第10回年次総会・学術シンポジウム、プログラム・要旨集. 124-124 (1998)
[Publications] 押鐘寧: "大気圧・高周波プラズマ中の励起種密度の計測-ホロカソードランプを用いた吸収分光計測-" 1998年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. K13 (1998)
[Publications] 森勇藏: "金属・半導体と水酸イオンの電気化学反応及び超純水による加工への応用(第1報)" 1998年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 443-443 (1998)
[Publications] 押鐘寧: "大気圧・高周波プラズマ中の励起種密度の計測-ホロカソードランプを用いた吸収分光計測-" 1998年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. K13 (1998)
[Publications] 井上晴行: "レーザー光散乱によるSiウェーハ表面上の微粒子計測" 1998年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 513-513 (1998)
[Publications] 中川寛文: "微小共振球プローブを用いた走査型近接場工学顕微鏡の開発" 1998年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. J62 (1998)
[Publications] 有馬健太: "STMによる水素終端化Si(001)ウェーハ表面の観察" 1998年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 420 (1998)
[Publications] 岡田浩巳: "STM/STSによるハロゲン吸着Si(001)2×1表面の観察(第3報)" 1998年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 421 (1998)
[Publications] 小野倫也: "Simulatd Annealing による電子系エネルギーの最小化" 日本物理学会講演概要集. 53,2. 811 (1998)
[Publications] 齊藤彰: "Pt/YSZ表面のRHEED,AFMによる観察" 日本物理学会講演概要集. 53,2. (1998)
[Publications] 倉持宏実: "Si(100)表面上のA1細線形成における基板温度の影響" 第59回応用物理学会学術講演会講演予稿集. (1998)
[Publications] 真田周嗣: "HOPG上のクランエーテルの観察" 第59回応用物理学会学術講演会講演予稿集. (1998)
[Publications] 有馬健太: "STMによる溶液処理水素終端化Si(001)表面の原子構造の観察" 第59回応用物理学会学術講演会講演予稿集. 695 (1998)
[Publications] 押鐘寧: "狭帯域化半導体レーザーによるミクロンオーダの微小球内の進行波共振とその逝去" 第59回応用物理学会学術講演会講演予稿集. 917 (1998)
[Publications] 押鐘寧: "Whispering Gallery Modesにより微小球表面に発生する金近接場と物質との相互作用" 第59回応用物理学会学術講演会講演予稿集. 29pE19 (1998)
[Publications] T.Kataoka: "Scanning near-fiend Optical Microscope with a Small Protrusion Probe on a Micro-cavity" 文部省科学研究費・特定領域研究(A)ニアフィールド・ナノ光学研究会講演資料集. 2・2. 179-180 (1998)
[Publications] Y.Kuwahara: "Control of Periodicity of Self-Assembled Organic Molecules Assisted by Water Molecules" RIKEN Conference. (1998)
[Publications] 桑原裕司: "有機単分子膜の自己組織化の異種分子添加による制御" 理研シンポジウム「第5回原子スケール・サイエンジニアリング研究会」. (1998)
[Publications] 南部征一郎: "超洗浄数値制御EEM(Elastic Emission Machining)の開発(第1報)-超純水静圧軸受けを用いた数値制御ステージシステムの開発-" 1999年度精密工学学会春季大会学術講演会講演論文集. 418 (1999)
[Publications] 三村秀和: "超洗浄数値制御EEM(Elastic Emission Machining)の開発(第2報)-ノズル噴射流れを利用した加工ヘッドの開発-" 1999年度精密工学学会春季大会学術講演会講演論文集. 419 (1999)
[Publications] 稲垣耕司: "EEM(Elastic Emission Machining)における表面原子除去過程の第一原理分子動力学シュミレーション" 1999年度精密工学学会春季大会学術講演会講演論文集. 420 (1999)
[Publications] 森勇藏: "金属・半導体と水酸イオンの電気化学反応及び超純水による加工への応用(第2報)" 1999年度精密工学学会春季大会学術講演会講演論文集. 421 (1999)
[Publications] 瀧野日出雄: "マイクロ電極を用いたプラズマCVMによる複雑形状光学面の創成加工" 1999年度精密工学学会春季大会学術講演会講演論文集. 422 (1999)
[Publications] 西川和宏: "回転電極型プラズマCVM法におけるシリコンの加工速度向上に関するー検討" 1999年度精密工学学会春季大会学術講演会講演論文集. 423 (1999)
[Publications] 柴原正文: "プラズマCVMによる高融点金属材料の表面加工(第3報)" 1999年度精密工学学会春季大会学術講演会講演論文集. 424 (1999)
[Publications] 山村和也: "数値制御プラズマCVM加工装置の開発(第3報)" 1999年度精密工学学会春季大会学術講演会講演論文集. 425 (1999)
[Publications] 佐野泰久: "プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)における切断加工に関する研究(第4報)-加工ギャップ制御方法-" 1999年度精密工学学会春季大会学術講演会講演論文集. 426 (1999)
[Publications] 竹内博明: "プラズマCVM加工における電極/ワーク間ギャップセンサの開発" 1999年度精密工学学会春季大会学術講演会講演論文集. 427 (1999)
[Publications] 江畑裕介: "大気圧プラズマのインピーダンス測定(第1報)-測定原理、測定結果、及びその測定精度について-" 1999年度精密工学学会春季大会学術講演会講演論文集. 428 (1999)
[Publications] 遠藤勝義: "赤外線半導体レーザー吸収分光法による大気圧・高周波プラズマ中のラジカル計測" 1999年度精密工学学会春季大会学術講演会講演論文集. 429 (1999)
[Publications] 島田尚一: "直線基準のための方向安定化レーザの開発-ナノスケールの直線基準としてレーザ共振器の条件-" 1999年度精密工学学会春季大会学術講演会講演論文集. 456 (1999)
[Publications] 井上晴行: "レーザー光散乱によるSiウェーハ表面上の微粒子計測-Siウェーハ表面の観察-" 1999年度精密工学学会春季大会学術講演会講演論文集. 465 (1999)
[Publications] 有馬健太: "STMによる溶液処理水素終端化Si(001)表面の観察" 1999年度精密工学学会春季大会学術講演会講演論文集. 503 (1999)
[Publications] 中川寛文: "微小共振球の近接場光学顕微鏡プローブへの応用" 1999年度精密工学学会春季大会学術講演会講演論文集. 505 (1999)
[Publications] 大参宏昌: "単色Li原子ビームの生成" 第46回応用物理学関係連合講演会予稿集. 30aP6-10 (1999)
[Publications] 清水正男: "フッ素ラジカルビームのレーザーコリメーション" 第46回応用物理学関係連合講演会予稿集. 29pYE19 (1999)
[Publications] 有馬健太: "STMによる溶液処理水素終端化Si(001)表面の原子構造の観察(2)" 第46回応用物理学関係連合講演会講演予稿集. 28zZT8 (1999)
[Publications] 高見和宏: "Tic(001)表面のSTM観察" 第46回応用物理学関係連合講演会講演予稿集. 発表予定. (1999)
[Publications] 後藤英和: "シリコンおよび金属表面の水酸基によるエッチング現象の第一原理計算" 日本物理学会第54回年会予稿集. 発表予定. (1999)
[Publications] A.Saito.: "Preliminary Study for the X-ray Standing Wave Analysis of the Electrode/Ziroconia Interface" Spring-8 User Experiment Report. 106 (1999)
[Publications] W.Yahiro: "Modulation of CTR Scattering under Bragg Condition" Spring-8 User Experiment Peport. 104 (1999)
[Publications] Mizuho Morita: "Ultraclean Surface Processing of Sillcon Wafers 42.Native Oxide Film and Chemical Oxide Films." Springer, 16 (1998)

1998 Fiscal Year Annual Research Report

完全表面の創成

Principal Investigator

森 勇藏 大阪大学, 大学院工学研究科, 教授 (00029125)

Research Products

[Publications] K.Endo: "Atomic structures of hydrogen-terminated Si(001)surfaces after wet cleaning by scanning tunneling microscopy." Applied Physics Letters. 73,13. 1853-1855 (1998)

[Publications] 山内和人: "EEM(Elastic Emission Machining)に関する研究-加工液中の溶存酸素がS2ウエハ表面に与える影響-" 精密工学会誌. 64,6. 2140-2147 (1998)

[Publications] K.Yasutake: "Molecular Beam Epitaxial Growth of AIN Single Crystalline Film on Si (111) Using Radio-Frequency Plasma Assisted Nitrogen Radical Souece." J.Vac.Sci,Tech. A16,4. 2140-2147 (1998)

[Publications] A.Saito: "Normal-incidence x-raystanding-wave analysis of Si(111) 【square root】3x【square root】3-Au structure" Physical Review B. 58(7). 3541. (1998)

[Publications] Hideo Takino: "Computer numerically controlled plasma chemical vaporizaiton machining with a pipe electrode for optical farbrication" APPKTED OPTICS. 37,22. 5198-5210 (1998)

[Publications] Hideo TAKINO: "Plasma Chemical Vaporization Machining(CVM) for Fabrication of Optics" J.Vac.Sci,Tech. 37,7B. (1998)

[Publications] 清水正男: "半導体素子特性に対するコンタクトホール内部の残留有機物薄膜の影響" 精密工学会誌. 印刷中. (1999)

[Publications] 森田瑞穂: "半導体表面加工環境制御" 精密工学会超精密位置決め専門員会定例会講演前刷集. 98-2. 1-10 (1998)

[Publications] 中野真吾: "集積型a-Si太陽電池のプラズマCVMによるコウソクパターンニングに関する研究(第2報)-プラズマ発生領域の制御による加工領域の微小化-" 精密工学会1998年度関西地区定期学術講演会講演論文集. 3-4 (1998)

[Publications] 遠藤勝義: "大気圧・高周波プラズマの計測と制御-吸収分光法によるHe準安定原子密度の計測-" 精密工学会1998年度関西地方定期学術講演会講演論文集. 5-6 (1998)

[Publications] 山内和人: "EEM(Elastic Emission Machining)における加工物表面上への粒子付着過程の第一原理分子動力学シュミレーション" 精密工学会1998年度関西地方定期学術講演会講演論文集. 15-16 (1998)

[Publications] 広瀬喜久治: "水酸基と相互作用する金属表面の第一原理分子動力学シュミレーション" 精密工学会1998年度関西地方定期学術講演会講演論文集. 17-18 (1998)

[Publications] 有馬健太: "STMによる水素終端化Si(001)ウェーハ表面の観察" 精密工学会1998年度関西地方定期学術講演会講演論文集. 89-90 (1998)

[Publications] 岡田浩巳: "STM/STSによるハロゲン吸着Si(001)2×1表面の観察(第2報)" 精密工学会1998年度関西地方定期学術講演会講演論文集. 91-92 (1998)

[Publications] 遠藤勝義: "STMによる絶縁体表面計測法の開発" 精密工学会1998年度関西地方定期学術講演会講演論文集. 93-94 (1998)

[Publications] 六車義弘: "STM/XMA法に於けるX線発生過程のシュミレーション" 精密工学会1998年度関西地方定期学術講演会講演論文集. 95-96 (1998)

[Publications] 井上晴行: "レーザー光散乱によるSiウェーハ表面上の微粒子計測-標準粒子の粒子径分布測定-" 精密工学会1998年度関西地方定期学術講演会講演論文集. 99-100 (1998)

[Publications] 田原俊克: "超高精度光反射率スペクトル測定装置の開発" 精密工学会1998年度関西地方定期学術講演会講演論文集. 109-110 (1998)

[Publications] 藤本義隆: "光反射率スペクトルの第一原理電子状態計算法による解析" 精密工学会1998年度関西地方定期学術講演会講演論文集. 111-112 (1998)

[Publications] 片岡俊彦: "微小共振球をプロープとする走査型近接場光学顕微鏡の開発" 精密工学会1998年度関西地方定期学術講演会講演論文集. 115-116 (1998)

[Publications] 片岡俊彦: "エキシマレーザーによる基板表面凝集相の光化学反応を利用した成膜" 精密工学会1998年度関西地方定期学術講演会講演論文集. 119-120 (1998)

[Publications] 森勇藏: "回転電極を用いた大気圧プラズマCVDにより拘束形成したアモルファスSi薄膜の電気・光学特性" 精密工学会1998年度関西地方定期学術講演会講演論文集. 121-122 (1998)

[Publications] 竹内昭博: "紫外光半導体レーザー用AIN単結晶薄膜pn制御" 精密工学会1998年度関西地方定期学術講演会講演論文集. 123-124 (1998)

[Publications] 大参宏昌: "Li原子ビームのコリメーションとナノファブリケーションへの応用" 精密工学会1998年度関西地方定期学術講演会講演論文集. 125-126 (1998)

[Publications] 山崎一輝: "金属/固体電解質界面のX線定在波法による構造解析" 関西表面セミナー. (1998)

[Publications] 桑原裕司: "異種原子分子を使った有機分子の自己組織化表面秩序構造の制御" 量子効果等の物理現象第2回シンポジウム. (1998)

[Publications] H.Okada: "First-pronciples molecular dynamic sumlation for STM image of Si(001) surface" The Materials Reseach Society of Japan,第10回年次総会・学術シンポジウム、プログラム・要旨集. 117-117 (1998)

[Publications] K.Hirose: "Frist-principles molecular dynamics simulation of metal surfaces interacting with OH molecule." The Materials Reseach Society of Japan,第10回年次総会・学術シンポジウム、プログラム・要旨集. 118-118 (1998)

[Publications] R.Hosoi: "A sumulation of removal prosess in EEM(Elastic Emission Maching) by ab-initio molecular orbital method." The Materials Reseach Society of Japan,第10回年次総会・学術シンポジウム、プログラム・要旨集. 124-124 (1998)

[Publications] 押鐘 寧: "大気圧・高周波プラズマ中の励起種密度の計測-ホロカソードランプを用いた吸収分光計測-" 1998年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. K13 (1998)

[Publications] 森 勇藏: "金属・半導体と水酸イオンの電気化学反応及び超純水による加工への応用(第1報)" 1998年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 443-443 (1998)

[Publications] 押鐘 寧: "大気圧・高周波プラズマ中の励起種密度の計測-ホロカソードランプを用いた吸収分光計測-" 1998年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. K13 (1998)

[Publications] 井上晴行: "レーザー光散乱によるSiウェーハ表面上の微粒子計測" 1998年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 513-513 (1998)

[Publications] 中川寛文: "微小共振球プローブを用いた走査型近接場工学顕微鏡の開発" 1998年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. J62 (1998)

[Publications] 有馬健太: "STMによる水素終端化Si(001)ウェーハ表面の観察" 1998年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 420 (1998)

[Publications] 岡田浩巳: "STM/STSによるハロゲン吸着Si(001)2×1表面の観察(第3報)" 1998年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 421 (1998)

[Publications] 小野倫也: "Simulatd Annealing による電子系エネルギーの最小化" 日本物理学会講演概要集. 53,2. 811 (1998)

[Publications] 齊藤彰: "Pt/YSZ表面のRHEED,AFMによる観察" 日本物理学会講演概要集. 53,2. (1998)

[Publications] 倉持宏実: "Si(100)表面上のA1細線形成における基板温度の影響" 第59回応用物理学会学術講演会講演予稿集. (1998)

[Publications] 真田周嗣: "HOPG上のクランエーテルの観察" 第59回応用物理学会学術講演会講演予稿集. (1998)

[Publications] 有馬健太: "STMによる溶液処理水素終端化Si(001)表面の原子構造の観察" 第59回応用物理学会学術講演会講演予稿集. 695 (1998)

[Publications] 押鐘 寧: "狭帯域化半導体レーザーによるミクロンオーダの微小球内の進行波共振とその逝去" 第59回応用物理学会学術講演会講演予稿集. 917 (1998)

[Publications] 押鐘 寧: "Whispering Gallery Modesにより微小球表面に発生する金近接場と物質との相互作用" 第59回応用物理学会学術講演会講演予稿集. 29pE19 (1998)

[Publications] T.Kataoka: "Scanning near-fiend Optical Microscope with a Small Protrusion Probe on a Micro-cavity" 文部省科学研究費・特定領域研究(A)ニアフィールド・ナノ光学 研究会講演資料集. 2・2. 179-180 (1998)

[Publications] Y.Kuwahara: "Control of Periodicity of Self-Assembled Organic Molecules Assisted by Water Molecules" RIKEN Conference. (1998)

[Publications] 桑原裕司: "有機単分子膜の自己組織化の異種分子添加による制御" 理研シンポジウム「第5回原子スケール・サイエンジニアリング研究会」. (1998)

[Publications] 南部征一郎: "超洗浄数値制御EEM(Elastic Emission Machining)の開発(第1報)-超純水静圧軸受けを用いた数値制御ステージシステムの開発-" 1999年度精密工学学会春季大会学術講演会講演論文集. 418 (1999)

[Publications] 三村秀和: "超洗浄数値制御EEM(Elastic Emission Machining)の開発(第2報)-ノズル噴射流れを利用した加工ヘッドの開発-" 1999年度精密工学学会春季大会学術講演会講演論文集. 419 (1999)

[Publications] 稲垣耕司: "EEM(Elastic Emission Machining)における表面原子除去過程の第一原理分子動力学シュミレーション" 1999年度精密工学学会春季大会学術講演会講演論文集. 420 (1999)

[Publications] 森勇藏: "金属・半導体と水酸イオンの電気化学反応及び超純水による加工への応用(第2報)" 1999年度精密工学学会春季大会学術講演会講演論文集. 421 (1999)

[Publications] 瀧野日出雄: "マイクロ電極を用いたプラズマCVMによる複雑形状光学面の創成加工" 1999年度精密工学学会春季大会学術講演会講演論文集. 422 (1999)

[Publications] 西川和宏: "回転電極型プラズマCVM法におけるシリコンの加工速度向上に関するー検討" 1999年度精密工学学会春季大会学術講演会講演論文集. 423 (1999)

[Publications] 柴原正文: "プラズマCVMによる高融点金属材料の表面加工(第3報)" 1999年度精密工学学会春季大会学術講演会講演論文集. 424 (1999)

[Publications] 山村和也: "数値制御プラズマCVM加工装置の開発(第3報)" 1999年度精密工学学会春季大会学術講演会講演論文集. 425 (1999)

[Publications] 佐野泰久: "プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)における切断加工に関する研究(第4報)-加工ギャップ制御方法-" 1999年度精密工学学会春季大会学術講演会講演論文集. 426 (1999)

[Publications] 竹内博明: "プラズマCVM加工における電極/ワーク間ギャップセンサの開発" 1999年度精密工学学会春季大会学術講演会講演論文集. 427 (1999)

[Publications] 江畑裕介: "大気圧プラズマのインピーダンス測定(第1報)-測定原理、測定結果、及びその測定精度について-" 1999年度精密工学学会春季大会学術講演会講演論文集. 428 (1999)

[Publications] 遠藤勝義: "赤外線半導体レーザー吸収分光法による大気圧・高周波プラズマ中のラジカル計測" 1999年度精密工学学会春季大会学術講演会講演論文集. 429 (1999)

[Publications] 島田尚一: "直線基準のための方向安定化レーザの開発-ナノスケールの直線基準としてレーザ共振器の条件-" 1999年度精密工学学会春季大会学術講演会講演論文集. 456 (1999)

[Publications] 井上晴行: "レーザー光散乱によるSiウェーハ表面上の微粒子計測-Siウェーハ表面の観察-" 1999年度精密工学学会春季大会学術講演会講演論文集. 465 (1999)

[Publications] 有馬健太: "STMによる溶液処理水素終端化Si(001)表面の観察" 1999年度精密工学学会春季大会学術講演会講演論文集. 503 (1999)

[Publications] 中川寛文: "微小共振球の近接場光学顕微鏡プローブへの応用" 1999年度精密工学学会春季大会学術講演会講演論文集. 505 (1999)

[Publications] 大参宏昌: "単色Li原子ビームの生成" 第46回応用物理学関係連合講演会予稿集. 30aP6-10 (1999)

[Publications] 清水正男: "フッ素ラジカルビームのレーザーコリメーション" 第46回応用物理学関係連合講演会予稿集. 29pYE19 (1999)

[Publications] 有馬健太: "STMによる溶液処理水素終端化Si(001)表面の原子構造の観察(2)" 第46回応用物理学関係連合講演会講演予稿集. 28zZT8 (1999)

[Publications] 高見和宏: "Tic(001)表面のSTM観察" 第46回応用物理学関係連合講演会講演予稿集. 発表予定. (1999)

[Publications] 後藤英和: "シリコンおよび金属表面の水酸基によるエッチング現象の第一原理計算" 日本物理学会第54回年会予稿集. 発表予定. (1999)

[Publications] A.Saito.: "Preliminary Study for the X-ray Standing Wave Analysis of the Electrode/Ziroconia Interface" Spring-8 User Experiment Report. 106 (1999)

[Publications] W.Yahiro: "Modulation of CTR Scattering under Bragg Condition" Spring-8 User Experiment Peport. 104 (1999)

[Publications] Mizuho Morita: "Ultraclean Surface Processing of Sillcon Wafers 42.Native Oxide Film and Chemical Oxide Films." Springer, 16 (1998)

森勇藏大阪大学, 大学院工学研究科, 教授 (00029125)

[Publications] 押鐘寧: "大気圧・高周波プラズマ中の励起種密度の計測-ホロカソードランプを用いた吸収分光計測-" 1998年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. K13 (1998)

[Publications] 森勇藏: "金属・半導体と水酸イオンの電気化学反応及び超純水による加工への応用(第1報)" 1998年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 443-443 (1998)

[Publications] 押鐘寧: "大気圧・高周波プラズマ中の励起種密度の計測-ホロカソードランプを用いた吸収分光計測-" 1998年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. K13 (1998)

[Publications] 押鐘寧: "狭帯域化半導体レーザーによるミクロンオーダの微小球内の進行波共振とその逝去" 第59回応用物理学会学術講演会講演予稿集. 917 (1998)

[Publications] 押鐘寧: "Whispering Gallery Modesにより微小球表面に発生する金近接場と物質との相互作用" 第59回応用物理学会学術講演会講演予稿集. 29pE19 (1998)

[Publications] T.Kataoka: "Scanning near-fiend Optical Microscope with a Small Protrusion Probe on a Micro-cavity" 文部省科学研究費・特定領域研究(A)ニアフィールド・ナノ光学研究会講演資料集. 2・2. 179-180 (1998)