1999 Fiscal Year Annual Research Report
共鳴トンネル電子源の放射電子のエネルギー計測に関する研究
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09305022
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| Research Institution | TOHOKU UNIVERSITY |
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Principal Investigator |
横尾 邦義 東北大学, 電気通信研究所, 教授 (60005428)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
嶋脇 秀隆 東北大学, 電気通信研究所, 助手 (80241587)
江上 典文 ATR, 環境適応通信研究所, 室長
石塚 浩 福岡工業大学, 工学部, 教授 (50015517)
佐藤 信之 東北大学, 電気通信研究所, 助手 (10178759)
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| Keywords | 共鳴トンネル / 冷陰極 / 単色電子源 / GaAs / AlAs超格子構造 / 量子井戸 / エネルギー計測 |
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| Research Abstract |
1.タングステンヘアピン型電子銃を用いて、製作したエネルギ-分析装置の校正を行った。エネルギー計測の結果、本エネルギー分析装置の最小分解能は10meV程度であることを確認した。
2.昨年度に引き続き、GaAs電子加速層を持つGaAs/AlAs超格子構造からなる単一量子井戸、2重量子井戸、3重量子井戸型共鳴トンネル陰極ならびにAl_xGa_<X-1>As電子加速層を持つ共鳴トンネル陰極を分子線エピタキシー(MBE)法により製作し、動作実験を行った。その結果、素子面積を10μm□と従来に比べ大幅に小さくすることで、ダイオード電流における負性抵抗特性が著しく改善された。今後、2次電子増倍管(MCP)を用いて放射電子の観測を行うと共に、共鳴トンネルに基づく放射電子のエネルギー分布の高精度計測をエネルギ-分析装置を用いで行う予定である。
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Research Products
(6 results)
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[Publications] H.Mimura,K.Yokoo: "Γ-X electron transfer in GaAs-AlAs type-I superlattices"Appl. Surf. Sci.. 142. 624-628 (1999)
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[Publications] H.Mimura,K.Yokoo: "Growth of aluminum on silicon using dimethyl-ethyl amine alane"Appl. Surf. Sci.. 142. 443-446 (1999)
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[Publications] K.Yokoo: "Functional Field Emission for High Frequency Wave Application"Tech. Digest of 12th Int. Vac. Microelectronics Conf.. 206-207 (1999)
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[Publications] K.Yokoo: "New Approach for High Frequency Electronics based on Field Emission Array"Proc. Of 2nd Int. Workshop on Vacuum Microelectronics Conf.. 38-40 (1999)
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[Publications] H.Mimura,H.Shimawaki,K.Yokoo: "Lateral GaAs field emitters fabricated by micromachining technique"Tech. Digest of 12th Int. Vac. Microelectronics Conf.. 146-147 (1999)
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[Publications] H.Mimura,H.Shimawaki,K.Yokoo: "Resonant tunneling emission from GaAs/AlAs quantum structures"Tech. Digest of 12th Int. Vac. Microelectronics Conf.. 378-379 (1999)
