1997 Fiscal Year Annual Research Report
地下マイクロセンシングのためのマイクロセンサーの開発
| Project/Area Number |
09305068
|
|---|
| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
|
| Research Institution | Tohoku University |
|---|
Principal Investigator |
新妻 弘明 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (90108473)
|
|---|
| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
森谷 祐一 東北大学, 大学院・工学研究科, 助手 (60261591)
浅沼 宏 東北大学, 大学院・工学研究科, 助教授 (50250717)
江刺 正喜 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (20108468)
|
|---|
| Keywords | マイクロセンサー / 地下マイクロセンシング / 加速度センサー / 光干渉型振動計 / マイクロゾンデ / シリコンプロセス / マイクロマシニング / 弾性波センサー |
|---|
| Research Abstract |
本研究は,マイクロマシン技術を駆使した地下マイクロセンサーの開発と,それを用いた地下計測法の研究により地下マイクロセンシングの基礎を築くことを目的としている。
今年度の研究実績は下記の通りである。
1.弾性波センサーの開発:広帯域・高感度静電容量型加速度センサーおよび光干渉型振動センサーについて,(a)設計,(b)シリコンプロセス,(c)センサーの製作と方式上・製作上の問題点の抽出,(d)室内性能試験,を行なった。また,静電容量型加速度センサーについては,サーボコントロール回路の設計・製作を行なった。光干渉振動センサーについては,光干渉計測システムの設計・製作を行なった。これらにより,弾性波センサーのプロトタイプを製作しその特性を評価できた。
2.マイクロゾンデの開発:マイクロゾンデについて,(a)概念設計,(b)有限要素法による強度計算,(c)シリコン・ガラス陽極接合部の強度試験,を行なった。これらの結果から,マイクロゾンデの製作法について具体的に検討を行なった。
3.地下マイクロセンシングに関する検討:学会・研究会および実フィールドにおいて,地下マイクロセンシングに対する社会的ニーズ,産業界のニーズ,ならびに関連技術につについて調査・検討を行なった。
以上のことより,本年度は概ね当初計画通りに研究を遂行でき,順調に研究が進展していると考える。
|
-
[Publications] 新妻: "地下情報のマイクロセンシング" 物理探査学会第96回学術講演会講演論文集. 33-34 (1997)
-
[Publications] 西澤, 新妻, 江刺: "マイクロマシニングによる地下弾性波検出のためのシリコン容量型加速度センサの製作" 物理探査学会第96回学術講演会講演論文集. 35-38 (1997)
-
[Publications] 平田, 新妻, 江刺: "マイクロマシニングによる地下弾性波計測のための光干渉型加速度センサの開発" 物理探査学会第97回学術講演会講演論文集. 165-168 (1997)
-
[Publications] 西澤, 林, 新妻, 江刺: "マイクロマシニングによる地下弾性波検出のためのシリコン容量型加速度センサの製作(第2報)" 物理探査学会第97回学術講演会講演論文集. 169-172 (1997)
-
[Publications] 西澤, 林, 新妻, 江刺: "地下弾性波検出のための高感度・広帯域容量型加速度センサの開発" 電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会. PS97-22. 13-17 (1997)
-
[Publications] 平田, 新妻, 江刺: "地下弾性波検出のための光干渉型マイクロセンサの開発" 電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会. PS97-23. 19-22 (1996)
