地下マイクロセンシングのためのマイクロセンサーの開発

1998 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 09305068
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
• Research Institution: Tohoku University
• Principal Investigator: 新妻 弘明 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (90108473)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 森谷 祐一 東北大学, 大学院・工学研究科, 助手 (60261591) ; 浅沼 宏 東北大学, 大学院・工学研究科, 助教授 (50250717) ; 江刺 正喜 東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 教授 (20108468)
• Keywords: マイクロセンサー / 地下マイクロセンシング / 加速度センサー / 光干渉型振動計 / マイクロゾンデ / シリコンプロセス / マイクロマシニング / 弾性波センサー

Research Abstract

821801
本研究は,マイクロマシン技術を駆使した地下マイクロセンサーの開発と,それを用いた地下計測法の研究により地下マイクロセンシングの基礎を築くことを目的としている。
今年度の研究実績は下記の通りである。
1. (a)弾性波センサーの開発:広帯域・高感度静電容量型加速度センサーおよび光干渉型振動センサーについて,、前年度に引き続き,(a)センサーの試作と方式上・製作上の問題点の抽出,(b)室内およびミニフィールドでの性能評価,(c)再製作,を行なった。静電容量型加速度センサーについては,センサーを製作し性能評価を行なうとともに,3軸化のための検討および設計・製作を行なった。さらに電子回路部分についても検討を行なった。光干渉型振動センサーについては,センサーの試作・性能評価を行なった。また,ファイバーグレーティングを用いたアレイ計測を検討するとともに,実際にファイバーグレーティングを製作しその特性を評価した。さらに,ハイドロフォンについてもセンサーの設計・試作を開始した。
2.(b)マイクロゾンデの開発:圧カセンサと一体型のゾンデについて,(a)ゾンデの試作と方式上・製作上の問題点の抽出,(b)室内性能試験,を行なった。これにより圧カセンサと一体型のゾンデを実現可能であることを確認した。
3. 地下マイクロセンシングに関する検討:学会・研究会および実フィールドにおいて,地下マイクロセンシングに対する社会的ニーズ,産業界のニーズ,ならびに関連技術につについて調査・検討を行なった。
以上のことより,本年度は概ね当初計画通りに研究を遂行でき,順調に研究が進展していると考える。

Research Products

• [Publications] Niitsuma and Nishizawa: "Potential of subsurface micro-sensing for HDR/HWR developmant" Proc.4th International HDR Forum. (1998)
• [Publications] Nishizawa,Niituma,et al.: "Development of silicon capacitive micro accelerometer for subsurface seismic measurement" Proc.4th Well Logging Symposium of Japan. V1-V7 (1998)
• [Publications] 平田,新妻,江刺: "シリコン振動子の光ファイバ先端への取り付けと光干渉型マイクロ加速度計の開発" 物理探査学会第98回学術講演会講演論文集. 106-110 (1998)
• [Publications] 西澤,林,新妻,江刺: "マイクロマシニングによるシリコン容量型加速度センサの製作とその特性評価" 物理探査学会第98回学術講演会講演論文集. 101-105 (1998)
• [Publications] 宮澤,新妻,江刺: "地下マイクロセンシングのためのマイクロゾンデの設計と製作" 物理探査学会第99回学術講演会講演論文集. 61-65 (1998)