1998 Fiscal Year Annual Research Report
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09355003
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| Research Institution | Kyoto University |
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Principal Investigator |
木村 健二 京都大学, 工学研究科, 教授 (50127073)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
中嶋 薫 京都大学, 工学研究科, 助手 (80293885)
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| Keywords | 高分解能 / ラザフォード後方散乱法 / 超小型 / 組成分析 / 結晶性評価 |
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| Research Abstract |
昨年度に開発した小型加速器と超高真空散乱槽を結ぶビームトランスポート系の設計・組み立てを行った。更に、磁場型高分解能スペクトロメーターを散乱槽に接続して超小型高分解能RBS装置を完成させた。この装置の性能評価を行い、設計通り原子レベルの分解能を有することを確認した。この装置を用いて、Si(001)上のGeのエピタキシャル成長の初期過程を観察し、IML以下の成長初期にGeとSiが相互拡散していることを明確に確認することが出来た。(Phys.Rev.Lettに投稿中)
更にこれらの研究と平行して、4MVヴァンデグラーフ加速器に接続して使用している従来型の高分解能RBS装置を用いて、ダイアモンド様炭素膜の直接フッ素化過程の観察(Carbon,36(1998)1399)や、極低エネルギーイオン注入によるシリコン表面の非晶質化過程の観察(Nucl.Instr and Meth.B 148(1999)284)、SI(001)に吸着した水素原子のイオン衝撃脱離の研究(論文準備中)をおこなった。
これらの研究とともに、(株)神戸製鋼所と共同で超小型高分解能RBS装置の商品化のための開発研究を行い、更に小型化した装置の開発に成功した。(The 15th
International Conference on the Application of Accelerators in Research and Industry, Nov 4-7,1998, Denton,USAにて招待講演で発表)この装置は「HRBS500」という商品名で既に新聞発表を行い、販売が開始されている。
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Research Products
(5 results)
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[Publications] K.Nakajima,K.Kimura,M.Mannami: "The(III)surface of PbTe observed by high-resolution RBS" Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. 135. 350-354 (1998)
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[Publications] K.Kimura,K.Nakajima,M.Mannami: "Some applocations of high-resolution RBS and ERD using a magnetic spectrometer" Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. 136/138. 1196-1202 (1998)
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[Publications] Y.Hattori,K.Kobayashi,S.Kawasaki,et al: "Direct thermal fluorination of DLC surfaces" Carbon. 36. 1399-1401 (1998)
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[Publications] K.Kimura,K.Nakajima,H.Imura: "Hydrogen depth profiling with sub-nmresolution in high-resolution ERD" Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. 140. 397-401 (1998)
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[Publications] K.Kimura,A.Agarwal,H.Toyofuku,K.Nakajima,et al: "Amorphization of Si(001) by ultra low energy(0.5 to 5 keV) ion implantation observed with high-" Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. 148. 284-288 (1999)
